(19)

(11)

EP 4 739 637 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.05.2026  Patentblatt  2026/20 (21) Anmeldenummer: 24732617.6 (22) Anmeldetag:  10.06.2024

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C03C 23/00(2006.01) G02B 5/08(2006.01) C03B 32/00(2006.01) C03C 27/06(2006.01) C03B 23/22(2006.01) G03F 7/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G02B 5/0891; C03C 23/007; C03C 27/06; C03B 2201/42; C03B 23/20; C03B 25/02; C03B 32/00; G03F 7/70891; G02B 7/181 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2024/065995 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2025/008137 (09.01.2025 Gazette  2025/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: GE KH MA MD TN (30) Priorität: 06.07.2023 DE 102023206431 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHELLHORN, Uwe 73447 Oberkochen (DE) (74) Vertreter: Raunecker, Klaus Peter  Raunecker Patent Frauenstraße 11 89073 Ulm 89073 Ulm (DE)