(19)
(11) EP 4 770 853 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.07.2026  Patentblatt  2026/28

(21) Anmeldenummer: 24730641.8

(22) Anmeldetag:  29.05.2024
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B29C 64/124(2017.01)
B29C 64/282(2017.01)
B33Y 10/00(2015.01)
 B29C 64/273(2017.01)
B29C 64/135(2017.01)
B33Y 30/00(2015.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B29C 64/124; B29C 64/282; B29C 64/273; B33Y 30/00; B29C 64/135; B33Y 10/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2024/064713
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2025/045401 (06.03.2025 Gazette  2025/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
GE KH MA MD TN

(30) Priorität: 31.08.2023 DE 102023123552

(71) Anmelder: Nanoscribe Holding GmbH
76344 Eggenstein-Leopoldshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • BLAICHER, Matthias
    76297 Stutensee (DE)
  • XU, Yilin
    72827 Wannweil (DE)

(74) Vertreter: DREISS Patentanwälte PartG mbB 
Friedrichstraße 6
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) LASERLITHOGRAFIE-VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINER DREIDIMENSIONALEN STRUKTUR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER LASERLITHOGRAFIE-VORRICHTUNG