(19)
(11) EP 4 798 531 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.09.2026  Patentblatt  2026/36

(21) Anmeldenummer: 24782469.1

(22) Anmeldetag:  23.09.2024
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/00(2006.01)
H01L 21/683(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B81C 1/00896; B81C 2203/032
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2024/076660
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2025/087636 (01.05.2025 Gazette  2025/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
GE KH MA MD TN

(30) Priorität: 26.10.2023 DE 102023210603

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • TOMASCHKO, Jochen
    71126 Gaeufelden (DE)
  • PRITSCHOW, Marcus
    72622 Nuertingen (DE)
  • HEUCK, Friedjof
    70193 Stuttgart (DE)
  • STIEDL, Jan
    72124 Pliezhausen (DE)
  • SCHULER, Raphael
    72074 Tuebingen (DE)
  • FRIEDL, Joachim
    72770 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM VERARBEITEN EINES WAFERS