(19)
(11) EP 4 816 585 A1

(12)

(43) Date de publication:
07.10.2026  Bulletin  2026/41

(21) Numéro de dépôt: 24817210.8

(22) Date de dépôt:  27.11.2024
(51) Int. Cl.: 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/34(2006.01)
G01J 5/20(2006.01)
C23C 14/08(2006.01)
C23C 14/46(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
G01J 5/20; C23C 14/0042; C23C 14/083; C23C 14/46; C23C 14/3414; C23C 14/3492; C23C 14/0036
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2024/083786
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2025/114373 (05.06.2025 Gazette  2025/23)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
GE KH MA MD TN

(30) Priorité: 30.11.2023 FR 2313374

(71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • BRELLIER, Delphine
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)
  • PELENC, Denis
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)
  • HIDA, Rachid
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)
  • JULLIEN, Tony
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)
  • VIALLE, Claire
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)

(74) Mandataire: Santarelli 
Tour Trinity 1 bis Place de la Défense
92400 Courbevoie
92400 Courbevoie (FR)

   


(54) PROCEDE DE DEPOT D'UNE COUCHE A BASE D'OXYDE DE VANADIUM