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EP 4 817 090 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 07.10.2026  Patentblatt  2026/41 (21) Anmeldenummer: 24812776.3 (22) Anmeldetag:  22.11.2024

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) B65G 49/06(2006.01) H01J 37/32(2006.01) H01L 21/677(2006.01) C23C 16/46(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/46; H01J 37/32431; H10P 72/0434; H10P 72/0436; H10P 72/3308; H10P 72/3314 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2024/083265 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2025/114151 (05.06.2025 Gazette  2025/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: GE KH MA MD TN (30) Priorität: 27.11.2023 DE 102023133038 (71) Anmelder: ELEMENT 3-5 GMBH 52499 Baesweiler (DE)	(72) Erfinder: ROST, Dirk 09322 Penig OT Arnsdorf (DE) ROST, Monika 09322 Penig OT Arnsdorf (DE) DIKME, Yilmaz 52499 Baesweiler (DE) (74) Vertreter: Cornet, Simon  ABP Burger Rechtsanwaltsgesellschaft mbH Herzog-Wilhelm-Straße 17 80331 München 80331 München (DE)