(19)

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EP 4 824 907 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 21.10.2026  Patentblatt  2026/43 (21) Anmeldenummer: 24813419.9 (22) Anmeldetag:  27.11.2024

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01S 3/134(2006.01) H01S 3/10(2006.01) H01S 3/041(2006.01) H01S 3/13(2006.01) H01S 3/00(2006.01) H01S 3/23(2006.01) H01S 3/101(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01S 3/0014; H01S 3/0071; H01S 3/005; H01S 3/101; H01S 3/10069; H01S 3/1003; H01S 3/1305; H01S 3/1306; H01S 3/134; H01S 3/2308; H01S 3/2366; H01S 3/041 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2024/083784 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2025/124902 (19.06.2025 Gazette  2025/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: GE KH MA MD TN (30) Priorität: 15.12.2023 DE 102023135411 (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: CARSTENS, Kai 73230 Kirchheim (DE) WEINZETL, Christian 55118 Mainz (DE) KIENINGER, Clemens 70182 Stuttgart (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  TRUMPF SE + Co. KG Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)