(19)
(11) EP 0 084 086 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
22.02.1984 Bulletin 1984/08

(43) Date of publication A2:
27.07.1983 Bulletin 1983/30

(21) Application number: 82109634

(22) Date of filing: 19.10.1982
(84) Designated Contracting States:
DE FR GB NL

(30) Priority: 16.01.1982 DE 3201264

(71) Applicant: Leybold-Heraeus GmbH
 ()

(72) Inventors:
  • Heinen, Hans-Josef, Dr.
     ()
  • Meier, Stefan
     ()
  • Vogt, Henning
     ()

   


(54) Laser microsensor


(57) Bei einer Lasermikrosonde mit einem Pulslaser zur Anregung von Proben (1) und mit einem eine Flugstrecke (4) umfassenden Flugzeit-Massenspektrometer (4, 5) ist der Flugzeitstrecke (4) ein Elektrodensystem (9) vorgelagert, welches der Formung eines zeitlich definierten lonenpulses aus dem durch die Anregung der Probe (1) entstehenden Plasma dient (Fig. 1).






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