(19)
(11) EP 0 098 931 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
21.03.1984 Bulletin 1984/12

(43) Date of publication A2:
25.01.1984 Bulletin 1984/04

(21) Application number: 83104465

(22) Date of filing: 06.05.1983
(84) Designated Contracting States:
AT CH FR GB IT LI NL SE

(30) Priority: 14.07.1982 DE 3226297

(71) Applicant: Dr. Johannes Heidenhain GmbH
 ()

(72) Inventor:
  • Kraus, Heinz
     ()

   


(54) Process for the production of self-supporting texturized foils


(57) Bei diesem Herstellungsverfahren für freitragende, präzise Teilungsstrukturen aufweisende Folien wird die fotolithografisch aufgebrachte Maske nach dem Anätzen als partieller Ätzschutz verwendet, indem man die Folie erhitzt und an der unterätzten Partie die Maske umschmilzt, so daß sich an der unterätzten Kante ein Schutzfilm bildet. So dann wird weitergeätzt bis die Struktur durchgeätzt ist. Die dabei wieder entstehende Unterätzung ist ohne Belang, da die teilungsbildende Kante ja zuvor abgedeckt wurde.






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