| (19) |
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(11) |
EP 0 144 851 A3 |
| (12) |
EUROPEAN PATENT APPLICATION |
| (88) |
Date of publication A3: |
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17.07.1985 Bulletin 1985/29 |
| (43) |
Date of publication A2: |
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19.06.1985 Bulletin 1985/25 |
| (22) |
Date of filing: 19.11.1984 |
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| (84) |
Designated Contracting States: |
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DE FR GB |
| (30) |
Priority: |
24.11.1983 DE 3342533
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| (71) |
Applicant: Siemens Aktiengesellschaft |
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() |
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| (72) |
Inventors: |
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- Pötzlberger, Hans-Werner, Dipl.-Ing.
()
- Bock, Siegfried
()
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| (54) |
Sputtering of a permalloy layer |
(57) Es wird ein Permalloy-Aufstäubverfahren beschrieben, das es ermöglicht, mehrere Mikrometer
dicke Schichten durch Kathodenzerstäubung reproduzierbar mit kleinem H
c aufzustäuben. Dies wird durch gezielte Zugabe von Restgas, zum Beispiel von Stickstoff,
zum Aufstäubgas erreicht.