Method of producing a microvalve device and application of this method for obtaining a light modulator

(19)

(11)

EP 0 143 079 A3

(12)	EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88)	Date of publication A3:
	30.07.1986 Bulletin 1986/31

(43)	Date of publication A2:
	29.05.1985 Bulletin 1985/22

(21)	Application number: 84810556

(22)	Date of filing: 15.11.1984

(84)	Designated Contracting States:
	DE FR GB IT NL

(30)

Priority:

18.11.1983 CH 619983

(71)	Applicant: CENTRE ELECTRONIQUE HORLOGER S.A.
	()

(72)	Inventors:
	Perret, André () Vuilleumier, Raymond ()

(54)	Method of producing a microvalve device and application of this method for obtaining a light modulator

(57) @ Le procédé de l'invention comporte les étapes suivantes.

- réalisation d'une première grille (4) présentant des alvéoles (2);

- obtention d'un support plan par dépôt d'une couche de matière organique (5);

réalisation d'une deuxième grille (20) sur la couche (5);

dépôt d'une fine couche métallique (26) et gravure dans cette couche des volets (23); et

- élimination de la couche (5) dans les alvéoles (2), en vue de libérer les volets (23).