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EP 0 115 791 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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01.06.1988 Patentblatt 1988/22 |
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Anmeldetag: 13.01.1984 |
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Verfahren und Vorrichtung zur Regenerierung einer kupferhaltigen Ätzlösung
Process and apparatus for regenerating a copper-containing etching solution
Procédé et appareil pour la régénération d'une solution de décapage contenant du cuivre
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Benannte Vertragsstaaten: |
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DE FR GB IT |
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Priorität: |
03.02.1983 DE 3303594
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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15.08.1984 Patentblatt 1984/33 |
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Patentinhaber: ROBERT BOSCH GMBH |
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70442 Stuttgart (DE) |
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Erfinder: |
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- Ott, Rudi, Dr., Dipl.-Chem.
D-7145 Markgröningen (DE)
- Reith, Heribert
D-7000 Stuttgart 31 (DE)
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Entgegenhaltungen: :
DD-A- 45 299 DE-B- 1 223 653 FR-A- 2 156 249
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DE-A- 2 650 912 FR-A- 1 213 119 US-A- 3 825 484
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- CHEMICAL ABSTRACTS, Band 98, Nr. 2, 10. Januar 1983, Seiten 160,161, Nr. 7189a, Columbus,
Ohio, USA;V.P. Bazalei et al: "Regeneration of copper (II) chloride pickling solutions"
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
Stand der Technik
[0001] Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Regenerierung einer kupferhaltigen
Ätzlösung nach der Gattung des Anspruchs 1 sowie von einer Vorrichtung zur Durchführung
des Verfahrens nach Anspruch 3. Aus der DE-A-2 942 504 ist es bekannt, zum Ätzen von
Kupfer eine kupfer(II)-chloridhaltige Ätzlösung einzusetzen, die als Komplexbildner
ein Alkalichlorid, insbesondere Kaliumchlorid, enthält. Eine solche Ätzlösung, die
insbesondere bei der Leiterplattenfertigung eingesetzt wird, hat gegenüber den herkömmlichen
Ätzlösungen, die Salzsäure als Komplexbildner enthalten, den Vorteil, dass sie eine
höhere Ätzgeschwindigkeit aufweist, dass keinerlei Salzsäurenebel in der Abluft und
keine Korrosionserscheinungen an den Maschinen auftreten. Sie lässt sich sowohl in
einem Sprühautomaten als auch in einem Tauchprozess, der in einen Galvanisierautomaten
integriert ist, einsetzen. Eine solche Ätzlösung lässt sich zwar durch Einleiten von
Luft regenerieren, was den sonst üblichen Einsatz von Wasserstoffperoxid überflüssig
macht, jedoch erfordert diese Luftoxidation ein Filtrieren des dabei gebildeten Kupfer(II)-Hydroxids,
aus dem schliesslich durch Lösen in Säure und anschliessende Elektrolyse Kupfer in
metallischer Form gewonnen werden kann. Dieses Verfahren lässt sich indessen nicht
in einem geschlossenen Kreislauf verwirklichen, da das in Form von Kupferhydroxid
anfallende Kupfer aus der Ätzlösung schlecht filtrierbar ist.
[0002] Die DE-A-2 650 912 beschreibt ein Verfahren zur Regeneration eines Ätzmittels, bei
welchem an den beiden Elektroden die gleiche Stromdichte herrscht, bei welchem die
in der Zeiteinheit der Anode zugeführte Menge des Ätzmittels abhängig ist von der
jeweiligen Konzentration der Kupfer-I-Ionen sowie auch der den Elektroden zugeführten
Elektrizitätsmenge und bei dem das Redoxpotential des zu regenerierenden Ätzmittels
etwa 400 bis 460 mV beträgt. Bei dem zu regenerierenden Ätzmittel handelt es sich
um ein solches, das als Komplexbildner Salzsäure, HCI, einsetzt, da von einer Salzsäurekonzentration
von etwa 200 mI/I die Rede ist, was einer etwa 20%igen Salzsäure entspricht, die einen
pH-Wert von etwa - 0,3 aufweist.
[0003] Die Steuerung des Verfahrens wird sowohl über die Menge des zugeführten Ätzmittels
als auch über das Redoxpotential durchgeführt. Der Behälter der bekannten Anlage ist
durch eine poröse Trennwand in eine Anodenkammer und eine Kathodenkammer unterteilt,
wobei die Trennwand 11 eine Diaphragma-Funktion auszuüben hat.
[0004] Aus den Druckschriften DD-A-45299, DE-B-1 223653 und US-A-3 825 484 sind Vorrichtungen
zur Regenerierung von Ätzlösungen bekannt, die als Kathoden kreisrunde, rotierende
Scheiben aufweisen. Diese stellen aber lediglich einen Teilaspekt der hier zu beschreibenden
Vorrichtung dar. Vorteile der Erfindung
[0005] Das erfindungsgemässe Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs
hat demgegenüber den Vorteil, dass die CuCl
2/KCI-Ätzlösung mit Hilfe einer Elektrolysezelle in ihrer Zusammensetzung in optimaler
Weise konstant gehalten wird, d.h. es wird im Prinzip nur das abgeätzte Metall aus
der Lösung entfernt bei gleichzeitiger Konstanthaltung des Cul/II-Redoxpotentials.
Es tritt kein Chemikalienverbrauch auf, es wird kein elementares Chlor freigesetzt,
die Regenerieranlage lässt sich sehr kompakt bauen und ist daher sehr gut für die
Einbeziehung in eine Fertigungsstrasse geeignet.
[0006] Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Massnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen
und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Verfahrens möglich. Besonders
vorteilhaft ist es, im Falle des Ätzens von Legierungen, die neben Kupfer unedlere
Metalle wie z.B. Zink enthalten, wenn man die Regenerieranlage mit einer kathodischen
Stromdichte zwischen 100 und 400 A/dm
2 und bei einem pH-Wert über 1,0 betreibt, da in diesem Falle nicht nur das Kupfer
in Pulverform, sondern gleichzeitig auch das Zink in Pulverform abgeschieden wird.
[0007] Die erfindungsgemässe Vorrichtung zur Durchführung des obengenannten Verfahrens mit
den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 3 hat den Vorteil, dass sie sich in einer
kompakten Einheit bauen lässt und dass durch die Anbringung einer den Elektrolytaustausch
nicht behindernden, porösen Trennwand zwischen Anode und Kathode, die keine Diaphragma-Funktion
hat, die durch die Umwälzpumpe erzeugte Strömung an der Anode beruhigt.
Zeichnung
[0008] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der
nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Figur 1 eine perspektivische
Darstellung der Regenerieranlage und Figur 2 einen Teilschnitt durch die scheibenförmige
Kathode.
Beschreibung des Ausführungsbeispiels
[0009] Die Regenerieranlage besteht aus einem Behälter 1 aus Kunststoff oder isoliertem
Metall mit einem Zulauf 14 und einem Ablauf 15 an die Ätzanlage sowie zwei Anschlüssen
7 und 8 für eine Umwälzpumpe 16. In dem Behälter 1 läuft eine kreisrunde, fest mit
einer als kathodische Stromzuführung dienende Kupferwelle 2 verbundene Kupferscheibe
3, die als Kathode dient. Gemäss Figur 2 trägt die Kupferscheibe 10 an ihrem Umfang
einen Kupferring 12, das Ganze ist mit einer Isolierung 11 aus PVC überzogen und auf
die nicht isolierte Stirnfläche ein Titanreif 13 als Kontaktwerkstoff zur Ätzlösung
aufgeschrumpft worden. Kupfer kann hier nicht als Kontaktwerkstoff dienen, da dieses
sich in dem Ätzmedium auflöst. Die Kupferwelle 2 ist auf dem Behälterrand, wie in
der Figur angedeutet, drehbar gelagert. Der Antrieb der Scheibe erfolgt über ein auf
der Kupferwelle befestigtes, nicht dargestelltes Kunststoffzahnrad als elektrische
Isolierung, während die Stromzuführung zur Kathodenoberfläche über ebenfalls nicht
dargestellte Kohlebürsten auf die sich drehende Kupferwelle und von da über die isolierte
Kupferscheibe auf die Stirnfläche aus Titan erfolgt. In dem Behälter 1 ist parallel
zur Stirnfläche der Scheibe 3 und mit geringem Abstand zur Stirnfläche die Anode 4
angeordnet, die aus Titan, Niob oder Tantal besteht, das mit Platin, Iridium oder
nichtstöchiometrischen Platinmetalloxidverbindungen beschichtet ist, wobei entweder
Vollmaterial oder Streckmetall eingesetzt werden kann. - Zwischen der als Kathode
dienenden Kupferscheibe 3 und der Anode 4 befindet sich eine poröse Zwischenwand 5
aus elektrisch nicht leitendem Material wie einem grobporigen Kunststoffmaterial aus
Polypropylen oder Polyäthylen, die dazu dient, die durch die Umwälzpumpe 16 verursachte
starke Badbewegung von der Kathode 3 fernzuhalten, ohne den Elektrolytaustausch zu
behindern, die Zwischenwand hat also keine Diaphragma-Funktion, sondern dient lediglich
als Strömungsberuhiger. - Am Behälterrand befestigt, mit losem Kontakt zur Stirnfläche
der Kathode 3 befindet sich eine Abstreifvorrichtung 6. Bei der drehenden Bewegung
der Scheibe 3 wird so der an der Kathode abgeschiedene Kupferschlamm abgestreift und
rutscht mit Hilfe einer Wasserspritzspülung in einen nicht dargestellten Auffangbehälter.
Das Spritzspülwasser wird im Kreislauf eingesetzt. Nach Erreichen einer vorgegebenen
Kupferschlamm-Menge und einer bestimmten Salzkonzentration im Spülwasser wird der
Inhalt des Auffangbehälters zur Fest-Flüssigabtrennung (Dekanter, Filter) weitergepumpt.
[0010] Die zu regenerierende Ätzlösung wird aus der Ätzanlage über den Zulauf 14 der Regenerieraniage
zugeführt und fliesst über den Ablauf 15 der Ätzanlage wieder zu. In der Regenerieranlage
bildet sich bei Stromdurchgang an der Kathode 3 durch Entladung der Kupferionen bei
sehr hohen Stromdichten metallisches Kupfer als sehr feinkristalliner Kupferschlamm.
An der Anode bildet sich durch Entladung der Chloridionen Chlor, das sich in Wasser
gut löst und durch die von der Umwälzpumpe 16 verursachte starke Badbewegung schnell
im ganzen Behälter verteilt wird. Dieses Chlor oxidiert vorhandenes Kupfer(I)-Chlorid
zu Kupfer(II)-Chlorid. Um zu verhindern, dass mehr Chlor gebildet als für die Oxidation
benötigt wird, erfolgt eine Steuerung des elektrochemischen Vorgangs durch Erfassen
der Kupfer(I)-lonen mit Hilfe des Redoxpotentials und Abschaltung des Stroms bei einem
Grenzwert, der bei etwa 390 mV liegt.
[0011] Es folgen jetzt Beispiele zur Regenerierung einer Ätzlösung, die beim Sprühätzen
mit den folgenden Parametern eingesetzt wird:
Cu: 50 g/I
KCI: 150 g/I
Redoxpotential: 390 mV
Temperatur: 45 °C
Druck: 2 bar
Ätzgeschwindigkeit: 38 pm/min
pH-Wert: 2,3
[0012] Die Regenerieranlage, wie sie hier benutzt wurde, besitzt ein Volumen von 210 I,
die Kathode 3 einen Scheibendurchmesser von 500 mm mit einer eingetauchten Kathodenoberfläche
von 2 dm
2 während die Anodenoberfläche 25 dm
2 beträgt. Die Umwälzpumpe 16 pumpt das gesamte Behältervolumen 25mal in der Stunde
um. In der Regenerieranlage wurden mit der beschriebenen Ätzlösung bei kathodischen
Stromdichten zwischen 50 und 150 A/dm
2 und Temperaturen zwischen 30 und 50°C Stromausbeuten zwischen 0,9 und 1,15 g/Ah Kupfer
in Pulverform erzielt.
[0013] Im folgenden Beispiel wurde eine Ätzlösung regeneriert, die abgeätztes Zink neben
Kupfer enthält:
Cu: 50 g/I
KCI: 100 g/1
Zn: 20 g/I
Temperatur: 22 °C
pH-Wert: 1,5.
[0014] Bei einer kathodischen Stromdichte von 300 A/dm
2 wurde ein Metallpulver erhalten, das zu 58% aus Kupfer und zu 42% aus Zink besteht.
1. Verfahren zur Regenerierung einer kupferhaltigen Ätzlösung, die Kupfer(II)-Chlorid
sowie Alkalichlorid als Komplexbildner enthält und durch eine Regenerieranlage geleitet
wird, die eine Kathode (3) und eine Anode (4) aufweist, an die eine Gleichspannung
angelegt wird, so dass an der Kathode (3) metallisches Kupfer als feinkristalliner
Schlamm abgeschieden wird, während sich an der Anode (4) Chlor bildet, das Kupfer(I)-Chlorid
zu Kupfer(II)-Chlorid oxidiert, dadurch gekennzeichnet, dass an der Kathode (3) eine
Stromdichte von 40 bis 400 A/dmz und an der Anode (4) eine Stromdichte von 1 bis 100 A/dm2 herrscht, dass zur Verhinderung der Bildung eines Chlorüberschusses an der Anode
(4) der Strom bei einem Grenzwert von 390 mV des Redoxpotentials abgeschaltet wird
und dass der pH-Wert der Ätzlösung zwischen 1 und 3 liegt, wobei Mittel vorgesehen
werden, die an der Anode (4) für eine hohe Turbulenz der Flüssigkeitsbewegung, an
der Kathode (3) dagegen für eine nur schwache Flüssigkeitsbewegung sorgen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur gleichzeitigen Abscheidung
von Kupfer und Zink im Falle des Ätzens von Messing oder Tombak die kathodische Stromdichte
zwischen 100 und 400 A/dm2 liegt.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, mit einem Behälter
(1) aus einem elektrisch isolierenden Material, auf dessen oberem Rand eine kreisrunde,
durch eine als Stromzuführung dienende Achse (2) getragene, scheibenförmige Kathode
(3) aufgesetzt ist, eine im Behälter (1) parallel zur Stirnfläche der Kathode (3)
angebrachte Anode (4), eine am oberen Behälterrand befestigte Abstreifvorrichtung
(6), die eine lose Verbindung zur Stirnfläche der Kathode (3) aufweist, sowie Anschlüssen
(7) und (8) für eine Umwälzpumpe (16), gekennzeichnet durch eine zwischen Anode (4)
und Kathode (3) angebrachte, den Elektrolytaustausch nicht behindernde poröse Trennwand
(5), die keine Diaphragma-Funktion hat und die an der Kathode (3) lediglich für eine
Beruhigung der Strömung sorgt, die während der Verwendung der Vorrichtung durch die
Umwälzpumpe (16) erzeugt wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathode (3) aus einer
Kupferscheibe (10) besteht, die eine Isolierung (11) trägt, dass in die Stirnseite
der Isolierung (11) ein Kupferring (12) mit Kontakt zur Kupferscheibe (10) eingelassen
ist und dass die aus dem Kupferring (12) und der Isolierung (11) bestehende Stirnseite
der Kathode (3) einen Ring (13) aus Titan, Niob oder Tantal als Kontaktwerkstoff trägt
(Figur 2).
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anode (4) aus Titan,
Niob oder Tantal in Form eines Bleches, Stabes oder eines Streckmetalles besteht und
eine Oberflächenbeschichtung aus Platin, Iridium oder nichtstöchiometrischen Platinmetalloxidverbindungen
trägt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die poröse Trennwand
(5) aus einem grobporigen Gewebe oder perforierten Vollmaterial aus Polypropylen oder
Polyäthylen besteht.
1. Process for regenerating a cupriferous etching solution which contains copper (II)
chloride and alkali chloride as the complexing agent and is passed through a regeneration
unit which has a cathode (3) and an anode (4) to which a direct voltage is applied
with the result that metallic copper is deposited at the cathode (3) as fine crystalline
sludge while at the anode (4) chlorine is formed which oxidizes copper (I) chloride
to copper (11) chloride, characterized in that a current density of 40 to 400 A/dm2 prevails at the cathode (3) and a current density of 1 to 100 A/dm2 prevails at the anode (4), in that the current is switched off at a limiting value
of 390 mV of the redox potential to prevent formation of excess chlorine at the anode
(4) and in that the pH value of the etching solution lies between 1 and 3, means being
provided which ensure highly turbulent liquid agitation at the anode (4) but only
weak liquid agitation at the cathode (3).
2. Process according to Claim 1, characterized in that, when etching brass or tombac,
the cathodic current density lies between 100 and 400 A/dm2 to give simultaneous deposition of copper and zinc.
3. Device for carrying out the process according to Claim 1 or 2, with a container
(1) made of an electrically insulating material, on the upper edge of which is mounted
a circular, disc-shaped cathode (3) carried on an axle (2) serving as a current conductor,
an anode (4) installed in the container (1) parallel to the face of the cathode (3),
a stripping device (6), fixed at the upper edge of the container, which is in loose
contact with the face of the cathode (3), and connections (7) and (8) for a circulation
pump (16), characterized by a porous partition (5) installed between anode (4) and
cathode (3) which does not impede the exchange of electrolyte and which has no diaphragm
function and only ensures that the flow, which is generated by the circulation pump
(16) during the use of the device, is calmed at the cathode (3).
4. Device according to Claim 3, characterized in that the cathode (3) consists of
a copper disc (10) which has an insulation (11), in that a copper ring (12) is let
into the face of the insulation (11) in contact with the copper disc (10) and in that
the face of the cathode (3) consisting of the copper ring (12) and the insulation
(11) carries a ring (13) made of titanium, niobium or tantalum which acts as the contact
material (Fig. 2).
5. Device according to Claim 3, characterized in that the anode (4) consists of titanium,
niobium or tantalum in the shape of a sheet, bar or of expanded metal and carries
a surface coating made of platinum, iridium or non-stoichiometric platinum metal oxide
compounds.
6. Device according to Claim 3, characterized in that the porous partition (5) consists
of a coarse- pored woven material or perforated solid material made of polypropylene
or polyethylene.
1. Procédé pour la régénération d'une solution de décapage contenant du cuivre, qui
contient comme complexant un chlorure de cuivre (II), ainsi qu'un chlorure alcalin
et est guidé à travers une installation de régénération, qui possède une cathode (3)
et une anode (4), à laquelle est appliquée une tension constante, de telle sorte que
le cuivre métallique est séparé à la cathode (3), en une boue de fine cristallinité,
alors que du chlore se forme à l'anode (4), qui oxyde le chlorure de cuivre (I) en
chlorure de cuivre (II), caractérisé en ce qu'une densité de courant de 40 à 400 A/dm2
règne à la cathode (3) et à l'anode (4), une densité de 1 à 100 A/dm2, que le courant est déclenché pour une valeur limite de 390 mV du potentiel Redox,
pour empêcher la formation d'un excès de chlore à l'anode et que le pH de la solution
de décapage se situe entre 1 et 3, un moyen étant prévu à cette occasion, qui en cas
de fort mouvement de turbulence à l'anode (4), veille par contre à ce que n'existe
seulement qu'un faible mouvement de liquide à la cathode (3).
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'intensité de courant
cathodique se situe entre 100 et 400 A/dm2, pour la séparation simultanée de Cuivre et de Zinc, dans le cas de décapage de laiton
ou de tombac.
3. Appareil pour l'exécution du procédé selon la revendication 1 ou 2, avec un réservoir
(1) en un matériau électriquement isolant, sur le bord supérieur duquel est placée
une cathode (3) en forme de disque, portée par un axe (2) servant d'amenée de courant
et une anode (4) adjointe dans le réservoir, parallèlement à la surface frontale de
la cathode (3), un dispositif racleur (16) fixé au bord supérieur du réservoir, qui
possède une liaison libre avec la surface frontale de la cathode (3), ainsi que des
raccordements (7) et (8) pour une pompe de circulation (16), caractérisé en ce qu'une
paroi de séparation (5) poreuse, qui est adjointe entre anode (4) et cathode (3),
n'empêchant pas l'échange d'électrolyte, n'ayant pas de fonction de diaphragme, et
qui ne veille simplement qu'à calmer l'écoulement à la cathode, qui est produit par
la pompe de circulation (16), pendant l'utilisation de l'appareil.
4. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que la cathode est composée
d'un disque de cuivre (10), qui porte une isolation (11), qu'une bague de cuivre (12)
est introduite dans le côté frontal de l'isolation (11) en contact avec le disque
de cuivre et que le côté frontal de la cathode (3), qui est composé de la bague de
cuivre (12) et de l'isolation (11), porte une bague (13) en Titane, Niobium ou bien
Tantale, pour matériau de contact (figure 2).
5. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'anode (4) est composée
de Titane, Niobium ou bien Tantale, sous forme d'une tôle, d'un barreau ou bien d'un
métal déployé et porte un revêtement de surface en Platine, Irridium ou bien en liaisons
d'oxydes métalliques de platine non stoechiométriques.
6. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que la paroi de séparation
(5) poreuse se compose d'un tissu à grande porosité ou bien d'un matériau plein perforé
en polypropylène ou bien en polyéthylène.
