ENSEMBLE DESTINE A REDONNER LES CONDITIONS INITIALES DE PROPRETE DANS UN TUBE DE QUARTZ UTILISE COMME CHAMBRE DE REACTION POUR LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES

Description

[0001] La présente invention concerne un ensemble destiné à redonner les conditions initiales de propreté dans un tube de quartz utilisé comme chambre de réaction pour la fabrication des circuits intégrés.

[0002] L'invention trouve son application en particulier dans les unités de production en série de circuits intégrés.

[0003] Dans de telles unités, l'une des conditions essentielles à respecter est la propreté absolue de l'air ambiant. Cette propreté est évaluée par la détection d'un nombre très faible de particules de dimension supérieure à 0,5 Micron dans un volume unitaire d'air, et par l'absence pratiquement totale de gaz corrosif dans cet air. De telles salles, appelées "salles blanches", sont d'un coût de réalisation et de fonctionnement très élevé. En conséquence, il convient de limiter les facteurs suivants:

- le volume ou la surface au sol occupé par les machines contenues dans la salle blanche;

- la quantité d'air extrait de force de la salle blanche, parce que cela implique l'introduction dans la salle d'une quantité égale d'air traité et filtré par des filtres absolus, donc très onéreux; une telle extraction d'air provient principalement des hottes aspirantes des machines produisant des émanations polluantes;

- la quantité d'air s'échappant de la salle durant son ouverture, en particulier lors de l'introduction dans la salle de pièces de grandes dimensions, puisque la salle est en surpression:

- la fréquence d'ouverture de la salle, parce qu'à chaque fois, cela fait chuter la surpression et provoque des mouvements introduisant des poussières;

- la quantité de liquide ou de gaz corrosif pouvant s'echapper dans l'air de la salle.

[0004] Par ailleurs, certaines machines telles que les fours de dépôt sont présentes dans la salle blanche. Un four de dépôt comporte essentiellement un tube de quartz qui sert de chambre de réaction et qu'il faut périodiquement extraire et traiter afin de retirer de sa surface les dépôts qui s'y constituent. Cette opération de nettoyage ou plus exactement de remise aux conditions initiales de propreté consiste à immerger le tube dans un bain agité de produits chimiques extrêmement corrosifs, généralement un mélange de HF et HN0₃ concentré et chaud. On peut de la sorte enlever les dépôts de tungstène qui sont particulièrement résistants.

[0005] Comme les tubes de quartz sont très fragiles et longs d'environ deux à trois mètres, l'opération de nettoyage est délicate. Un traitement du tube dans la salle blanche prend de la place, nécessite une extraction d'air importante pour limiter la contamination de l'air par les émanations corrosives, et n'élimine pas totalement ce risque.

[0006] Un traitement hors de la salle blanche implique une manutention du tube pour le sortir et le rentrer dans la salle, avec le risque de dépôt de poussières ou matières polluantes sur le tube lors de son séjour hors de la salle. D'autre part, dans ce cas, les manutentions du tube pour sa sortie et son entrée dans la salle blanche nécessitent l'ouverture importante de la salle et par conse- quent une consommation d'air filtré et une chute de pression dans la salle.

[0007] Bien sûr, il est connu du domaine de décontamination microbiologique (voir DE-A-2 818 895) de disposer d'un ensemble pour rinçage d'objets qui sont transférés d'un premier milieu d'un niveau de propreté moyen à un deuxième milieu d'un niveau de propreté maximum en utilisant une cabine en forme de sas fixée dans une paroi séparant les deux milieux, la cabine étant équipée de moyens de remplissage d'un liquide stérilisateur. Le principal inconvénient de cet ensemble est qu'il ne remplit pas la fonction de rinçage ni celle de séchage.

[0008] La présente invention concerne un ensemble de nettoyage des tubes de quartz qui permet d'éviter à la fois l'inconvénient précité et les inconvénients d'un traitement du tube dans la salle blanche et hors de la salle blanche.

[0009] Selon l'invention, l'ensemble de nettoyage comporte un panneau vertical de séparation délimitant, d'un côté une zone dans l'atelier de fabrication des circuits intégrés dont l'air est filtré pour obtenir un niveau de propreté moyen, et de l'autre côté une zone dans l'atelier de fabrication dont l'air est filtré pour obtenir un niveau de propreté maximum, zone appelée salle blanche, cette zone étant celle dans laquelle sont effectuées les opérations principales de fabrication et comprenant les machines de fabrication utilisant lesdits tubes de quartz, une cuve allongée ouverte en partie su périeure, située contre le panneau dans la première zone et contenant le ou les produits chimiques destinés à éliminer les éléments indésirables recouvrant lesdits tubes de quartz, une ouverture ménagée dans le panneau, dans laquelle est insérée de façon étanche une enceinte parallélépipédique de forme allongée, disposée verticalement et destinée à recevoir un tube de quartz et effectuer sur lui une opération de rinçage par aspersion et de séchage, ladite enceinte comprenant en outre une porte s'ouvrant sur la zone de propreté moyenne et une porte s'ouvrant sur la zone de propreté maximum, ces deux portes étant en regard l'une de l'autre et d'une hauteur supérieure à la longueur du tube de quartz. De préférence, le panneau, la cuve et l'enceinte sont réalisés séparément et assemblés rigidement pour former l'installation de nettoyage complète.

[0010] Selon une autre caractéristique de l'invention, ladite cuve est fixe, de forme cylindrique et est surmontée d'un arbre horizontal d'axe confondu avec l'axe géométrique de la cuve, muni de deux arceaux liés rigidement à lui, ces deux arceaux ayant une courbure dont le centre est confondu avec l'axe de la cuve, le tube de quartz venant s'immerger dans le liquide de traitement chimique contenu dans la cuve en reposant sur les deux arceaux, l'agitation du tube étant obtenue en faisant osciller l'arbre entraînant ainsi par roulement sur les arceaux l'oscillation du tube de quartz. Ladite cuve et l'arbre sont entourés par une enceinte de protection comportant à sa partie supérieure une hotte d'aspiration des vapeurs et comportant à l'extérieur de sa partie latérale un mécanisme à moteur électrique destiné à donner le mouvement d'oscillation à l'arbre.

[0011] Selon un mode de réalisation de l'invention, l'enceinte de rinçage et séchage est encastrée dans le panneau de manière à dépasser de part et d'autre du panneau d'une distance sensiblement identique; la cuve est disposée à proximité de l'enceinte de rinçage et de séchage et l'axe de cette cuve est disposé perpendiculairement au plan vertical du panneau.

[0012] Selon une autre caractéristique de l'invention, l'enceinte de rinçage et séchage comporte une paroi sensiblement plane et horizontale séparant ladite enceinte en un compartiment inférieur et un compartimént supérieur, le tube de quartz pouvant reposer sur cette paroi en position verticale lorsqu'il est dans le compartiment supérieur, ladite paroi comportant au moins un orifice débouchant à l'intérieur du tube et au moins un orifice découchant à l'extérieur du tube lorsque ce dernier repose sur cette paroi en position verticale.

[0013] Dans ce cas, l'enceinte de rinçage et séchage peut comporter en outre:

- une canalisation d'arrivée d'un gaz de séchage du tube, débouchant dans ledit compartiment inférieur, et

- une canalisation d'évacuation du gaz de séchage communiquant avec le compartiment supérieur.

[0014] Selon une autre caractéristique de l'invention, l'enceinte de rinçage et séchage comprend un tube de rinçage ayant une première extrémité reliée à une conduite d'arrivée d'un liquide de rinçage du tube de quartz et une deuxième extrémité reliée à une douche comportant une première partie apte à projeter le liquide de rinçage radialement à l'intérieur du tube de quartz et une deuxième partie apte à projeter le liquide de rinçage radialement sur l'extérieur du tube de quartz lorsque ce dernier est en position verticale à l'intérieur de l'enceinte.

[0015] De préférence, dans ce cas, ledit tube de rinçage est monté de manière à coulisser longitudinalement suivant son axe à l'intérieur de l'enceinte.

[0016] Enfin, selon une dernière caractéristique de l'invention, l'enceinte de rinçage et séchage comporte des moyens de maintien du tube en position verticale, ces moyens de maintien comprenant:

- un premier ensemble de supports de forme allongée et situés sensiblement dans un premier plan horizontal, et

- un deuxième ensemble de supports de forme allongée et situés sensiblement dans un deuxième plan horizontal différent du premier.

[0017] De préférence, dans ce cas, l'un au moins desdits supports est fixe et l'un au moins desdits supports traverse une paroi de l'enceinte et est monté coulissant longitudinalement.

[0018] D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lumière de la description de l'exemple de réalisation qui va suivre, illustré par les dessins annexes.

La figure 1 représente en vue perspective le schéma général de l'ensemble;

la figure 2 représente en coupe selon AA de la figure 3 la partie de l'ensemble de nettoyage correspondant aux opérations de rinçage et séchage;

la figure 3 est une vue en coupe suivant la ligne BB de la figure 2;

la figure 4 représente en vue perspective la partie de l'ensemble de nettoyage correspondant à l'opération de traitement chimique; et

la figure 5 représente la partie selon la figure 4 en coupe transversale.

[0019] En se reportant à la figure 1, on distingue un ensemble destiné au nettoyage des tubes de quartz. Cet ensemble est monté dans un espace correspondant à une salle blanche d'un atelier de fabrication des circuits intégrés. Dans un tel atelier (non représenté), se trouve un ensemble de machines destinées chacune à effectuer une des opérations de traitement des plaquettes en matériau semi-conducteur afin de réaliser sur ces plaquettes des circuits intégrés. Parmi ces machines se trouvent des fours comportant comme pièce essentielle un tube de quartz servant de chambre de réaction. Dans un tel tube, on peut par exemple effectuer un dépôt de tungstène sur les plaquettes. Au bout d'un certain nombre d'opérations, le tube est extrait du four et est amené pour remise en état dans l'ensemble de nettoyage conforme à l'invention. L'ensemble conforme à l'invention comporte un panneau 1 servant de séparation entre deux zones 2, 3 de l'atelier, une zone 2 dans laquelle l'air est d'une propreté moyenne et l'autre zone 3 dans laquelle l'air est d'une propreté maximum et est maintenu à une légère surpression par rapport à la zone 2. Bien entendu, les deux zones 2 et 3 de l'atelier sont délimitées non seulement par le panneau 1 mais aussi par un ensemble de cloisons et de portes étanches (non représentées). Du côté du panneau 1 correspondant à la zone 2 est fixée une cuve 4 de forme allongée, de longueur intérieure supérieure à celle des tubes de quartz et contenant successivement le ou les bains de produits chimiques destinés au décapage et au prérinçage du tube qui repose dans la cuve et qui est soumis à une agitation. Dans le panneau 1 est ménagée une ouverture 5 que vient obstruer une enceinte 6 de forme parallélépipédique, allongée verticalement et dont la hauteur est supérieure à la longueur des tubes de quartz. Cette enceinte 6 comporte une porte 7 de hauteur supérieure à la longueur des tubes, cette porte étant disposée sur la paroi de l'enceinte 6 située face à la zone 2. L'enceinte comporte une autre porte identique 8 située face à la zone 3. Ces deux portes 7, 8 peuvent se fermer de façon étanche, et de la même façon l'enceinte 6 est étanche ainsi que sa liaison avec le panneau 1. De cette manière, lorsque les deux portes 7, 8 sont fermées, les deux zones 2 et 3 sont isolées l'une de l'autre, ce qui permet de maintenir sans difficulté la surpression dans la zone 3. L'enceinte 6 permet de recevoir en position verticale un tube de quartz après son lavage et prérinçage dans la cuve 4 et permet d'effectuer sur lui une opération de rinçage complet et de séchage.

[0020] L'ensemble est utilisé de la manière suivante: Un tube de quartz dont l'état de surface interne n'est plus satisfaisant est extrait du four qui se trouve dans la zone 3, encore appelée salle blanche. Le tube est transporté dans l'autre zone 2, encore appelée salle grise, en le faisant passer par l'enceinte 6 qui sert de sas, c'est-à-dire que l'on place d'abord le tube dans l'enceinte 6 en ouvrant seulement la porte 8, puis on ferme la porte 8, on ouvre la porte 7 et on sort le tube de l'enceinte 6 il se retrouve donc dans la zone 2. On place alors ce tube dans la cuve 4, on met dans cette cuve une certaine quantité de produit liquide destiné à dissoudre les dépôts indésirables sur la face interne du tube. Ensuite, on vidange la cuve et on la remplit d'eau pour effectuer un prérinçage du tube. On vidange à nouveau, puis on replace le tube en position verticale dans l'enceinte 6 en ouvrant seulement la porte 7. Après avoir refermé cette porte 7, l'autre porte étant restée fermée, on procède au rinçage du tube à l'aide d'une douche qui envoie de l'eau désionisée simultanément sur la paroi interne et externe du tube. Ensuite on coupe l'arrivée d'eau à la douche et on fait circuler depuis le bas vers le haut de l'enceinte de l'air sec et chaud qui sèche le tube. Cet air provient de l'arrivée d'air de la salle blanche, c'est-à-dire qu'il est filtré à travers des filtres absolus. Quand le tube est sec, on ouvre seulement la porte 8 et on sort le tube pour le replacer dans la machine correspondante.

[0021] On voit que l'enceinte 6 sert à la fois d'armoire de rinçage et séchage du tube ainsi que de sas pour le passage du tube de la salle blanche à la salle grise et vice versa, sans consommation significative d'air ultra pur de la salle blanche autre que la quantité d'air nécessaire au séchage du tube. On voit aussi que la salle blanche 3 est restée toujours en surpression et isolée de la salle grise 2, et que les vapeurs polluantes provenant de la cuve 4 n'ont pu rentrer dans la salle blanche durant l'opération de nettoyage du tube. Par ailleurs, il est possible d'installer au-dessus de la cuve 4 une hotte aspirante de fort débit qui provoque un renouvellement d'air seulement dans la salle grise 2, c'est-à-dire un air peu filtré et bon marché, sans provoquer de consommation d'air dans la salle blanche, air qui est beaucoup plus cher puisqu'ultra pur.

[0022] En se reportant aux figures 2 et 3, on distingue la partie de l'ensemble de nettoyage destinée aux opérations de rinçage et séchage du tube de quartz. On voit que l'enceinte étanche 6 est disposée en forme de sas pour le passage en position verticale du tube 29 entre les deux zones 2 et 3. Le tube 29 est placé verticalement au centre de l'enceinte 6 et repose ainsi à mi- hauteur sur une paroi 17 plane et horizontale, formant cloison de séparation dans l'enceinte 6. Cette paroi 17 comporte un orifice central 22 et des orifices 21 répartis autour et à l'extérieur du tube 29. Le tube 29 est maintenu en position verticale grâce à deux ensembles de trois supports 18, 19 et 20 dont, pour chaque ensemble, l'un des trois supports 18 est fixe et est disposé horizontalement dans le prolongement du panneau 1, le deuxième support 19 est horizontal et traverse la paroi latérale de l'enceinte 6 pour déboucher dans la zone 3, le troisième support 20 est dans une position symétrique de celle du support 19 par rapport au plan du panneau 1 et débouche donc dans la zone 2. Les deux supports 19 et 20 sont en outre montés coulissants longitudinalement. Le dispositif comporte encore une arrivée d'eau filtrée désionisée raccordée à un tube rigide vertical 23 dans l'enceinte 6, coulissant longitudinalement et raccordé à son extrémité à une douche en deux parties, la première partie 24 venant projeter l'eau radialement à l'intérieur du tube, et la deuxième partie 25 venant projeter l'eau radialement sur l'extérieur du tube.

[0023] Pour traiter un tube, on ouvre la porte 7, on met la douche en position haute, on fait glisser les deux supports 20 vers l'extérieur, on installe le tube 29, on ramène les supports 20 en contact avec le tube de sorte que le tube est maintenu par le contact latéral des deux ensembles de supports 19, 20, 21, on fait descendre la douche 24, 25 de façon à ce qu'elle entoure par l'intérieur et par l'extérieur l'extrémité haute du tube, on ferme la porte 7, on ouvre l'arrivée d'eau pour rincer le tube, l'eau s'évacuant par gravité à travers les orifices 21 et 22 dans la partie inférieure de l'enceinte 6 dont le fond est incliné, puis dans la canalisation de vidange 28. Quand le rinçage est achevé, l'eau est coupée et, par la canalisation 26, on introduit dans la partie basse de l'enceinte 6 de l'air sec ultrafiltré et chaud qui passe dans un mouvement ascendant par les orifices 21 et 22 dans et autour du tube 29 pour ressortir de l'enceinte 6 dans sa partie haute par une canalisation d'évacuation 27. Quand le tube est sec, on ferme les canalisations 26 et 27, on ouvre la porte 8, on tire vers l'extérieur les supports 19, on remonte la douche pour la dégager de la partie haute du tube 29, on sort le tube et on referme la porte 8.

[0024] En se reportant aux figures 4 et 5, on distingue la partie de l'ensemble de nettoyage des tubes de quartz destinée au décapage chimique du tube. Cette partie comporte un bâti 12, éventuellement fixé au panneau 1 par sa partie latérale, à sa partie supérieure une cuve 4 de forme cylindrique, ouverte vers le haut, d'axe horizontal situé plus haut que les bords latéraux de la cuve, et un arbre 11 centré sur l'axe de la cuve 4 et sur lequel sont fixés rigidemenent deux arceaux 9, 10, qui s'étendent radialement depuis l'arbre puis en forme d'arc de cercle centré sur l'axe confondu de l'arbre 11 et de la cuve 4 et de rayon légèrement inférieur à celui de la cuve. La machine comporte encore une hotte aspirante 13 reliée par un conduit 14 au système d'extraction d'air, et un moteur 15 destiné à imprimer à l'arbre 11 un mouvement périodique oscillant.

[0025] Le tube à traiter 29 est disposé dans la cuve 4 sur les arceaux 9 et 10. On remplit alors partiel- lementa cuve 4 à partir d'un réservoir 30 par des canalisations 16 et des pompes (non représentées), puis on met en route le moteur 15: l'arbre oscille et entraîne par les arceaux le tube dans un mouvement d'oscillation. Ensuite on vidange la cuve 4, puis on la remplit et on la vide d'eau pour faire un pré-rinçage du tube. On retire alors le tube pour l'amener dans l'armoire de rinçage et séchage 6 dont l'agencement et le mode d'emploi ont été décrits plus haut.

Revendications

1. Ensemble destiné à redonner les conditions initiales de propreté dans un tube de quartz utilisé comme chambre de réaction pour la fabrication des circuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend un panneau vertical de séparation (1) délimitant, d'un côté une zone (2) dans l'atelier de fabrication des circuits intégrés, dont l'air est filtré pour obtenir un niveau de propreté moyen, et de l'autre côté une zone (3) dans l'atelier de fabrication, dont l'air est filtré pour obtenir un niveau de propreté maximum, cette zone (3) étant celle dans laquelle sont effectuées les opérations principales de fabrication et comprenant les machines de fabrication utilisant ledit tube de quartz, une cuve allongée (4) ouverte en partie supérieure, située contre le panneau (1) dans la zone (2) et contenant le ou les produits chimiques destinés à éliminer les éléments indésirables recouvrant ledit tube de quartz, une ouverture (5) ménagée dans le panneau (1) dans laquelle est insérée de façon étanche une enceinte parallélépipédique (6) de forme allongée, disposée verticalement et destinée à recevoir le tube de quartz et effectuer sur lui une opération de rinçage par aspersion et de séchage, ladite enceinte (6) comprenant en outre une porte (7) s'ouvrant sur la zone (2) et une porte (8) s'ouvrant sur la zone (3), ces deux portes étant en regard l'une de l'autre et d'une hauteur supérieure à la longueur du tube de quartz.

2. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que le panneau (1), la cuve (4) et l'enceinte (6) sont réalisés séparément et assemblés rigidement pour former l'installation de nettoyage complète.

3. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite cuve (4) est fixe, de forme cylindrique et est surmontée d'un arbre horizontal (11) d'axe confondu avec l'axe géométrique de la cuve, muni de deux arceaux (9, 10) liés rigidement à lui, ces deux arceaux ayant une courbure dont le centre est confondu avec l'axe de la cuve, le tube de quartz venant s'immerger dans le liquide de traitement chimique contenu dans la cuve en reposant sur les deux arceaux (9, 10) et en ce que l'agitation du tube est obtenue en faisant osciller l'arbre (11) entraînant ainsi par roulement sur les arceaux (9, 10) l'oscillation du tube de quartz.

4. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite cuve (4) et l'arbre (11) sont entourés par une enceinte de protection (12) comportant à sa partie supérieure une hotte d'aspiration des vapeurs et comportant à l'extérieur de sa partie latérale un mécanisme à moteur électrique destiné à donner le mouvement d'oscillation à l'arbre (11).

5. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte de rinçage et séchage (6) est encastrée dans le panneau (1) de manière à dépasser de part et d'autre du panneau d'une distance sensiblement identique et en ce que la cuve (4) est disposée à proximité de l'enceinte de rinçage et séchage (6) et que l'axe de cette cuve (4) est disposé perpendiculairement au plan vertical du panneau (1).

6. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte de rinçage et séchage (6) comporte une paroi (17) sensiblement plane et horizontale séparant ladite enceinte (6) en un compartiment inférieur et un compartiment supérieur, le tube (29) pouvant reposer sur cette paroi (17) en position verticale lorsqu'il est dans le compartiment supérieur, ladite paroi (17) comportant au moins un orifice (22) débouchant à l'intérieur du tube (29) et au moins un orifice (21) débouchant à l'extérieur du tube (29) lorsque ce dernier repose sur cette paroi en position verticale.

7. Ensemble selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'enceinte de rinçage et séchage (6) comporte en outre:

- une canalisation (26) d'arrivée d'un gaz de séchage du tube, débouchant dans ledit compartiment inférieur, et

- une canalisation (27) d'évacuation du gaz de séchage communiquant avec le compartiment supérieur.

8. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte de rinçage et séchage (6) comprend un tube de rinçage (23) ayant une première extrémité reliée à une conduite d'arrivée d'un liquide de rinçage du tube de quartz (29) et une deuxième extrémité reliée à une douche comportant une première partie (24) apte à projeter le liquide de rinçage radialement à l'intérieur du tube de quartz (29) et une deuxième partie (25) apte à projeter le liquide de rinçage radialement sur l'extérieur du tube de quartz (29) lorsque ce dernier est en position verticale à l'intérieur de l'enceinte (6).

9. Ensemble selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit tube de rinçage (23) est monté de manière à coulisser longitudinalement suivant son axe à l'intérieur de l'enceinte (6).

10. Ensemble selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte de rinçage et séchage (6) comporte des moyens de maintien du tube (29) en position verticale, ces moyens de maintien comprenant:

- un premier ensemble de supports (18, 19, 20) de forme allongée et situés sensiblement dans un premier plan horizontal, et

- un deuxième ensemble de supports (18, 19, 20) de forme allongée et situés sensiblement dans un deuxième plan horizontal différent du premier.

11. Ensemble selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'un au moins (18) desdits supports est fixe et l'un au moins (19) desdits supports traverse une paroi de l'enceinte (6) et est monté coulissant longitudinalement.

Ansprüche

1. Vorrichtung zum Wiederherstellen der ursprünglichen Reinheitsbedingungen in einem Quarzrohr, das als Reaktionskammer für die Herstellung von integrierten Schaltungen verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß sie enthält: eine vertikale Trennplatte (1), die auf der einen Seite eine Zone (2) in der Herstellungswerkstatt der integrierten Schaltungen, deren Luft gefiltert wird, um ein mittleres Reinheitsniveau zu erzielen, und auf der anderen Seite eine Zone (3) in der Herstellungswerkstatt begrenzt, deren Luft gefiltert wird, um ein maximales Reinheitsniveau zu erzielen, wobei diese Zone (3) diejenige ist, in der die Hauptverrichtungen bei der Herstellung ausgeführt werden und die Herstellungsmaschinen enthält, die das genannte Quarzrohr verwenden, eine oben offene, länglich Wanne (4), dien der Zone (2) an der Platte (1) anliegt und das oder die chemische(n) Produkt(e) aufnimmt, das bzw. die zur Beseitigung unerwünschter Elemente bestimmt ist bzw. sind, die das Quarzrohr bedecken, eine Öffnung (5), die in der Platte (1) ausgebildet ist und in die ein länglicher quaderförmiger Behälter (6) abgedichtet eingesetzt ist, der vertikal angeordnet ist und dazu bestimmt ist, das Quarzrohr aufzunehmen und an diesem einen Reinigungsvorgang durch Besprengung und Trocknung auszuführen, welcher Behälter (6) darüber hinaus eine Tür (7) aufweist, die sich in die Zone (2) öffnet, und eine Tür (8), die sich in die Zone (3) öffnet, wobei diese zwei Türen einander gegenüberstehen und eine Höhe haben, de größer als die Länge des Quarzrohrs ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (1), die Wanne (4) und der Behälter (6) getrennt hergestellt und starr miteinander vereinigt sind, um die vollständige Reinigungsanlage zu bilden.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Wanne (4) fest ist, zylindrische Gestalt hat und über ihr eine horizontale Welle (11) angeordnet ist, deren Achse mit der geometrischen Achse der Wanne zusammenfällt und die mit zwei Bügeln (9, 10) versehen ist, die starr mit ihr verbunden sind und die eine Krümmung haben, deren Mittelpunkt mit der Achse der Wanne zusammenfällt, wobei das Quarzrohr in die chemische Behandlungsflüssigkeit, die sich in der Wanne befindet, untergetaucht wird, wobe sie auf den zwei Bügeln (9, 10) ruht, und daß die Bewegung des Rohres dadurch erzielt wird, daß man die Welle (11) schwngen läßt, so daß diese durch Abrollen auf den Bügeln (9, 10) die Schwingung des Quarzrohrs hervorruft.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Wanne (4) und die Welle (11) von einem Schutzbehälter (12) umgeben sind, der in seinem oberen Abschnitt eine Dampfabsaughaube aufweist und außerhalb seines Seitenabschnitts einen Mechanismus mit Elektromotor enthält, der dazu bestimmt ist, der Welle (11) die Schwingungsbewegung zu verleihen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spül- und Trocknungsbehälter (6) in die Platte (1) so eingelassen ist, daß er zu beden Seiten der Platte von dieser im wesentlichen gleich weit vorsteht, und daß die Wanne (4) in der Nähe des Spül- und Trocknungsbehälters (6) angeordnet ist und daß die Achse dieser Wanne (4) senkrecht zur Vertikalebene der Platte (1) angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spül- und Trocknungsbehälter (6) eine im wesentlichen ebene und horizontale Wand (17) enthält, die den Behälter (6) in ein unteres Abteil und in ein oberes Abteil unterteilt, wobei das Rohr (29) auf dieser Wand (17) in vertikaler Position ruhen kann, wenn es sich in dem oberen Abteil befindet, welche Wand (17) außerdem wenigstens eine Öffnung (22) aufweist, die in das Innere des Rohres (29) mündet, und wenigstens eine Öffnung (21) aufweist, die außerhalb des Rohres (29) mündet, wenn letzteres auf deser Wand in vertikaler Position ruht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Spül- und Trocknungsbehälter (6) darüber hinaus enthält:

- eine Zuführungsleitung (26) für ein Gas zum Trocknen des Rohres, die in das genannte untere Abteil mündet, und

- eine Abzugsleitung (27) für das Trocknungsgas, die mit dem oberen Abteil in Verbindung steht.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spül- und Trocknungsbehälter (6) ein Spülrohr (23) enthält, das ein erstes Ende hat, das mit einer Zuführleitung für eine Spülflüssigkeit für das Quarzrohr (29) verbunden ist, und ein zweites Ende hat, das mit einer Spüleinrichtung verbunden ist, die einen ersten Abschnitt (24) hat, der dazu eingerichtet ist, die Spülflüssigkeit radial, in das Innere des Quarzrohrs (29) zu richten, und einen zweiten Abschnitt (25) hat, der dazu engerichtet ist, de Spülflüssigkeit radial auf das Äußere des Quarzrohrs (29) zu richten, wenn letzteres sich in vertikaler Position im Innern des Behälters (6) befindet.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Spülrohr (23) in Längsrichtung längs seiner Achse im Innern des Behälters (6) verschiebbar montiert ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spül- und Trocknungsbehälter (6) Einrichtungen zum Halten des Rohrs (29) in vertikaler Lage aufweist, umfassend:

- eine erste Gruppe von Haltern (18, 19, 20) von länglicher Gestalt, de im wesentlichen in einer ersten horizontalen Ebene angeordnet sind, und

- eine zweite Gruppe vor Haltern (18, 19, 20) von länglicher Gestalt, die im wesentlichen in einer zweiten horizontalen, von der ersten verschiedenen Ebene angeordnet sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer (18) der genannten Halter fest ist und wenigstens einer (19) der genannten Halter eine Wand des Behälters (6) durchquert und in Längsrichtung verschiebbar montiert ist.

Claims

1. Means for restoring the initial cleanness conditions in a qurtz tube used as a reaction chamber for the production of integrated circuits, characterized in that it comprises a vertical separating panel (1) defining on the one side (2) a zone in the integrated circuit production shop, whose air is filtered to obtain an average cleanness level and on the other side a zone (3) in the production shop, whose air is filtered to obtain a maximum cleanness level, said zone (3) being that in which the main production operations are performed and including production machines using said quartz tube, an elongated tank (4) which is open in its upper part and positioned against panel (1) in zone (2) and containing the chemical product or products for eliminating the undesirable elements covering said quartz tube, an opening (5) made in panel (1) in which is sealingly inserted an elongated, vertically positioned, parallelepipedic enclosure (6) for receiving the quartz tube and for performing thereon a rinsing operation by sprinkling and drying, said enclosure (6) also having a door (7) opening onto zone (2) and a door (8) opening onto zone (3), said two doors facing one another and having a height exceeding the length of the quartz tube.

2. Means according to claim 1, characterized in that panel (1), tank (4) and enclosure (6) are produced separately and rigidly assembled to form the complete cleaning installation.

3. Means according to claim 1, characterized in that tank (4) is fixed, cylindrical and surmounted by a horizontal shaft (11), whose axis coincides with the geometrical of the tank, provided with two arches (9, 10) rigidly joined thereto, whereby said two arches have a curvature whose centre coincides with the tank axis, the quartz tube being immersed in the chemical treatment liquid contained in the tank resting on the two arches (9, 10) and in that the agitation of the tube is obtained by oscillating shaft (11), so that by running on arches (9, 10) it produces the oscillation of the quartz tube.

4. Means according to claim 1, characterized in that said tank (4) and shaft (5) are surrounded by a protective enclosure (12) provided in its upper part with a vapour exhauster hood and provided on the outside of its lateral part with an electric motor mechanism for giving the oscillating movement to shaft (11).

5. Means according to claim 1, characterized in that the rinsing and drying enclosure (6) is fitted into panel (1), so as to project on either side thereof by a substantially identical distance and in that the tank (4) is located in the vicinity of the rinsing and drying enclosure (6) and that the axis of tank (4) is perpendicular to the vertical plane of panel (1).

6. Means according to claim 1, characterized in that the rinsing and drying enclosure (6) comprises a substantially planar, horizontal wall (17) subdividing the enclosure (6) into a lower compartment and an upper compartment, whereby tube (29) can rest on said wall (17) in the vertical position when in the upper compartment, the wall (17) having at least one opening (22) issuing into the tube (29) and at least one opening (21) issuing outside tube (29) when the latter rests on said wall in the vertical position.

7. Means according to claim 6, characterized in that the rinsing and drying enclosure (6) also comprises an admission duct (26) for the drying gas form the tube issuing into said lower compartment and a duct (27) for discharging the drying gas communicating with the upper compartment.

8. Means according to claim 1, characterized in that the rinsing and drying enclosure (6) comprises a rinsing tube (23) having a first end connected to a pipe for supplying a rinsing liquid from the quartz tube (29) and a second end connected to a sprayer having a first part (24) able to spray the rinsing liquid radially within the quartz tube (29) and a second part (25) able to spray the rinsing liquid radially on the outside of the quartz tube (29) when the latter is in the vertical position within enclosure (6).

9. Means according to claim 8, characterized in that the rinsing tube (23) is mounted so as to slide longitudinally along its axis within enclosure (6).

10. Means according to claim 1, characterized in that the rinsing and drying enclosure (6) comprises means for maintaining the tube (29) in the verticalposition and which comprise a first group of elongated supports (18, 19, 20) located substantially in a first horizontal plane and a second group of elongated supports (18, 19, 20) located substantially in a second horizontal plane differing from the first.

11. Means according to claim 10, characterized in that at least one (18) of said supports is fixed and at least one (19) of said supports traverses a wall of enclosure (6) and is longitudinally slidingly mounted.

Dessins