[0001] L'invention concerne un procédé de fabrication d'un scintillateur plus particulièrement
destiné à l'écran d'entrée d'un tube intensificateur d'image radiologique. Elle concerne
également un scintillateur obtenu par la mise en oeuvre d'un tel procédé.
[0002] Les tubes intensificateurs d'image radiologique sont bien connus dans la technique,
ils permettent de transformer une image radiologique représentative de l'absorption
des rayons X par la structure à représenter, en une image visible. De tels dispositifs
sont très utilisés pour l'observation médicale. Un tube intensificateur d'image est
constitué par un écran d'entrée, un système d'optique électronique et un écran d'observation.
L'écran d'entrée comporte un scintillateur qui convertit les photons X en photons
visibles. Ces photons visibles viennent ensuite frapper une photocathode, généralement
constituée par un antimoniure alcalin. Ce dernier, ainsi excité, engendre un flux
d'électrons. Ce flux est ensuite transmis par le système d'optique électronique qui
focalise les électrons et les dirige sur un écran d'observation constitué d'un luminographe
qui émet alors une lumière visible reconstituant l'image radiologique. Cette lumière
peut ensuite être traitée, par exemple par un système de télévision, de cinéma, ou
de photographie.
[0003] Le scintillatuer de l'écran d'entrée est généralement constitué d'iodure de césium
déposé par évaporation sous vide sur un substrat. Le substrat est généralement constitué
par une calotte d'aluminium à profil sphérique ou hyperbolique. On dépose une épaisseur
d'iodure de césium qui est généralement comprise entre 150 et 500 microns. L'iodure
de césium se dépose sous forme d'aiguilles de 5 à 10 microns de diamètre. Son indice
de réfraction étant de 1,8, on bénéficie d'un certain effet de fibre optique qui minimise
la diffusion latérale de la lumière au sein du matériau scintillateur. Un scintillateur
de ce genre est par exemple décrit dans la demande de brevet français N° 85.12 688
du 23 août 1985.
[0004] La résolution du tube dépend de la capacité des aiguilles d'iodure de césium à bien
canaliser la lumière; on a donc intérêt à réduire leur diamètre. Elle dépend aussi
de l'épaisseur de la couche d'iodure de césium; une augmentation d'épaisseur entraîne
une détérioration de la résolution. En revanche, plus l'épaisseur d'iodure de césium
est importante, plus les rayons X sont absorbés. Il faut donc trouver un compromis
entre l'absorption des rayons X et la résolution. A cet effet, l'invention propose
un perfectionnement permettant de réduire la diamètre moyen des aiguilles d'iodure
de césium.
[0005] Dans ce but, l'invention concerne donc un procédé de fabrication d'un scintillateur
consistant à faire croître des aiguilles de matériau scintillateur, comme par exemple
de l'iodure de césium, sur un substrat, caractérisé en ce qu'il consiste, préalablement
à une phase de croissance desdites aiguilles, à créer à la surface dudit substrat,
une structure ou un état de surface alvéolé puis à faire croître lesdites aiguilles
sur cette structure ou état de surface alvéolé.
[0006] On peut penser que le dépôt ultérieur de l'iodure de césium, par évaporation sous
vide s'amorce sur les multiples aspérités qui sont créées par l'état de surface obtenu
et qu'ainsi, des aiguilles plus fines peuvent croître en plus grand nombre sur une
même surface du substrat.
[0007] Une solution pour obtenir cet état de surface alvéolé ou cette structure alvéolée,
consiste à produire l'oxydation de la surface du substrat dans des conditions telles
que la couche d'oxyde formée ait une telle structure alvéolée. Cette façon de procéder
est particulièrement indiquée avec un substrat en aluminium qui est le plus couramment
utilisé en tant que support d'une couche scintillatrice. L'alumine produite peut avoir
une structure alvéolée si le traitement d'oxydation a lieu dans un milieu chimique
ayant la propriété de dissoudre en même temps ledit oxyde. C'est notamment le cas
si on soumet une face du substrat à une anodisation électrochimique, le bain d'anodisation
contenant un acide ou tout autre produit ayant la propriété de dissoudre chimiquement
l'oxyde. La structure alvéolée est le résultat des deux actions, c'est-à-dire d'une
part la formation électrochimique de la couche d'oxyde et d'autre part sa propre dissolution,
purement chimique, dans le bain d'anodisation. Pour l'alumine, on pourra prévoir un
bain d'anodisation renfermant de l'acide phosphorique ou de l'acide sulfurique.
[0008] Cependant, l'invention vise tout processus ayant pour conséquence la production d'une
couche alvéolée à la surface du substrat. Ainsi, une évaporation sous vide avec redéposition
sur le substrat d'un élément quelconque peut donner lieu à un dépôt alvéolé si on
pratique volontairement cette opération avec un vide limité, notamment compris entre
1 et 0,01 torr.
[0009] L'invention se rapporte également à tout scintillateur comportant un substrat sur
lequel est déposé le matériau scintillateur sous forme de fines aiguilles sensiblement
parallèles, caractérisé en ce que la face dudit substrat qui porte ledit matériau
scintillateur a un état de surface alvéolé ou comporte une structure alvéolée.
[0010] L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages de celle-ci apparaîtront plus
clairement à la lumière de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre
d'exemple et faite en référence aux dessins annexés dans lesquels:
- la figure 1 représente schématiquement en coupe une partie d'un scintillatuer selon
l'art antérieur;
- la figure 2 représente schématiquement en coupe, à la même échelle que la figure
1, une partie d'un scintillateur selon l'invention;
- la figure 3 est une représentation très agrandie de la structure alvéolée du scintillateur
conforme à l'invention; et
- la figure 4 illustre schématiquement un équipement permettant la mise en oeuvre
de la phase essentiellement nouvelle d'un procédé de fabrication d'un tel scintillateur.
[0011] En se reportant à la figure 1, le scintillateur connu se compose essentiellement
d'un substrat 11 en aluminium sur lequel on a fait croître une couche de matériau
scintillateur 12 composé de la juxtaposition d'aiguilles 13
a disposées côte-à-côte, sensiblement parallèles entre elles, et se dressant approximativement
perpendiculaires à la surface du substrat. Le matériau scintillateur est ici de l'iodure
de césium. Classiquement, ces aiguilles sont le résultat d'un processus d'évaporation
sous vide de l'iodure de césium suivi de sa redéposition sur le substrat. Selon l'art
antérieur représenté, le substrat en aluminium a subi un simple décapage en milieu
acide ou alcalin. Avec l'état de surface résultant de ce décapage, les aiguilles se
développent avec un diamètre moyen de 5 à 10 microns.
[0012] Selon l'invention, schématisée à la figure 2, on retrouve le substrat 11 et la couche
12 de matériau scintillateur mais celle-ci est composée d'aiguilles 13
b sensiblement plus fines que dans l'art antérieur. On attribue ce résultat avantageux
au fait que ces aiguilles formées de la même façon que précédemment (évaporation et
redéposition sous vide de l'iodure de césium) se sont développées sur une couche d'une
structure alvéolée 15. Ici cette couche est en alumine résultant d'une oxydation en
surface du substrat lui-même. Cette oxydation est réalisée suivant un processus particulier
qui sera décrit plus loin.
[0013] La figure 3 montre que cette structure alvéolée 15 se caractérise, dans l'exemple
décrit, par la présence de petites colonnes 18 en forme d'allumettes, dont le diamètre
est compris entre 500 et 5000 Angstroms. Comme mentionné précédemment, on obtient
ce résultat en formant la couche d'oxyde (ici l'alumine) dans un milieu ayant la propriété
de dissoudre chimiquement l'oxyde. La couche d'alumine est donc partiellement détruite
au fur et à mesure de sa formation, ce qui aboutit à la structure de la figure 3.
C'est sur cette structure alvéolée que l'on fait croître ultérieurement la couche
de matériau scintillateur, ce qui a pour conséquence la formation d'aiguilles plus
fines.
[0014] Le traitement permettant d'obtenir la structure alvéolée est illustré à la figure
4. Le substrat 11 (dont une face est protégée provisoirement par un vernis) est connecté
au pôle positif d'une source de courant 20 et forme ainsi une électrode d'un système
d'anodisation électrochimique. Autrement dit, ce substrat, formant électrode, est
plongé dans une solution électrochimique 21 propre à engendrer la formation d'une
couche d'alumine. Le pôle négatif de la source de courant 20 est relié à une autre
électrode 22 plongeant dans cette même solution. Cette dernière renferme un produit
chimique attaquant l'oxyde au fur et à mesure de sa formation. Dans le cas de l'alumine,
ce produit peut être de l'acide phosphorique ou de l'acide sulfurique.
[0015] A l'issue du processus d'anodisation, le substrat est placé dans une enceinte dans
laquelle on fait le vide. On procède alors à l'évaporation de l'iodure de césium dans
ladite enceinte, selon un processus connu, ce qui aboutit à la formation des aiguilles
13
b représentées à la figure 2.
[0016] Il est clair que l'invention couvre de nombreuses variantes. En particulier, il est
à noter que c'est l'état de surface alvéolé sur lequel on fait croître le matériau
scintillateur qui est important pour la mise en oeuvre de l'invention et non pas la
composition chimique de la couche alvéolée.
1- Procédé de fabrication d'un scintillateur consistant à faire croître des aiguilles
(13b) de matériau scintillateur (12), comme par exemple de l'iodure de césium, sur un
substrat (11), caractérisé en ce qu'il consiste, préalablement à une phase de croissance
desdites aiguilles, à créer, à la surface dudit substrat, une structure ou un état
de surface alvéolé (15) puis à faire croître lesdites aiguilles sur cette structure
ou état de surface alvéolé.
2- Procédé de fabrication selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit substrat
(11) est métallique et que l'on crée à la surface de ce substrat une structure alvéolée
(15) dans un oxyde de ce métal.
3- Procédé de fabrication selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit substrat
(11) est en aluminium et en ce qu'on crée une couche d'alumine alvéolée (15) à la
surface de ce substrat.
4- Procédé de fabrication selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce qu'on crée
une couche d'oxyde alvéolée (15) en soumettant une face dudit substrat à un traitement
d'oxydation dans un milieu chimique ayant le propriété de dissoudre ledit oxyde (figure
4).
5- Procédé de fabrication selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'on soumet
ladite face dudit substrat à une anodisation électrochimique.
6- Procédé de fabrication selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'on plonge
ledit substrat (11) relié à un générateur électrique (20) dans un bain d'anodisation
contenant un acide ou autre produit ayant la propriété de dissoudre chimiquement ledit
oxyde.
7- Scintillateur comportant un substrat (11) sur lequel est déposé un matériau scintillateur
sous forme de fines aiguilles (13b) sensiblement parallèles, caractérisé en ce que la face dudit substrat portant ledit
matériau scintillateur a un état de surface alvéolé ou comporte une structure alvéolée.
8- Scintillateur selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit substrat est
un métal et que ladite face dudit substrat portant ledit matériau scintillateur comporte
une couche d'oxyde dudit métal, cette couche formant une structure alvéolée.
9- Scintillateur selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit substrat est
en aluminium et que sa face portant lesdites aiguilles de matériau scintillateur comporte
une couche d'alumine alvéolée (15).
10- Scintillateur selon l'une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce que ledit
matériau scintillateur est de l'iodure de césium.