(57) Es wird eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks, insbesondere
eines diskförmigen Substrats (9, 24), in eine Vakuumkammer (14), vorzugsweise einer
Beschichtungsanlage mit Katodenstation, vorgestellt. Innerhalb der Vakuumkammer (14)
befindet sich ein Transportmittel, das als Drehteller (16) ausgebildet ist. Der Drehteller
nimmt Substrathalter (23, 22) auf, die als Drehteile ausgebildet sind. Es ist eine
Stützplatte (25, 26) im Bereich der Einschleusstation vorgesehen. Sie stützt den Substrathalter
(22) ab und verhindert dessen Durchbiegen. Außerdem presst die Stützplatte (25) den
Substrathalter (22) gegen die Innenwand (31) der Vakuumkammer, beziehungsweise gegen
eine in der Innenwand befindliche Dichtung (32). Hierdurch wird eine luftdichte Trennung
der Einschleuskammer gegenüber der Vakuumkammer und gegenüber der Atmosphäre erreicht.
Durch eine geschickte Ausbildung und Anordnung der Bauteile wird eine erhebliche Reduzierung
der bewegten Massen der rotierenden Bauteile erreicht. Die damit verbundene Reduzierung
der Massenträgheitsmomente hat zur Folge, daß die Verfahrenszyklen der Beschichtungsanlage
schneller ablaufen können.
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