[0001] Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zum Zünden und Betreiben einer Hohlkatodenbogenentladung,
insbesondere für den industriellen Einsatz mit relativ großer Leistung. Ein besonderes
Einsatzgebiet hat sich bei der Vakuumbeschichtungstechnik entwickelt. In diesem Fall
eignet sich der Hohlkatodenbogen in besonderer Weise zur Verdampfung des Beschichtungsmaterials
bei gleichzeitiger intensiver Plasmaausbildung mit daraus resultierender Ionisierung
der verschiedenen Gase und Dämpfe in der Beschichtungskammer.
[0002] Zum Betreiben einer Hohlkatode ist es erforderlich, diese derart aufzuheizen, daß
es zur thermischen Elektronenemission in der aktiven Zone der Hohlkatode kommt. Erst
wenn diese Elektronenemission ausreichend groß ist, brennt die Hohlkatodenbogenentladung
selbständig in einem Gas, welches durch die Hohlkatode geleitet wird, weiter. Die
Hohlkatode wird dabei durch die Entladung auf einer entsprechend ausreichenden Temperatur
gehalten. Nach dem Erlöschen der Bogenentladung, z. B. bei entsprechenden Verfahrenszyklen
in Chargenanlagen, ist immer wieder erst eine unselbständige Aufheizung der Hohlkatode
erforderlich.
Nach dem Stand der Technik (DE-OS 2949844) werden dafür regelmäßig zwei verschiedene
Stromquellen eingesetzt. Eine erste Stromquelle zur Widerstandserwärmung, d. h. der
Aufheizung der Hohlkatode, und eine zweite Stromquelle zum Betreiben der Hohlkatode
selbst. Beide Stromquellen sind Leistungsstromquellen, die entsprechend dem technologischen
Erfordernis wechselseitig geschaltet werden. Die Realisierung von zwei Stromquellen
ist technisch sehr aufwendig. Da die beiden Stromquellen unabhängig voneinander, nur
in Abhängigkeit sekundärer Parameter, geregelt werden, kommt es teilweise auch zu
Zündschwierigkeiten der Hohlkatodenentladung.
[0003] Der Erfindung liegt damit als Aufgabe zugrunde, eine Schaltung zum Zünden und Betreiben
einer Hohlkatode anzugeben, die den technischen Aufwand für die Energiebereitstellung
wesentlich verringert und ein sicheres Zünden und Betreiben der Hohlkatodenbogenentladung
gewährleistet.
[0004] Die Erfindung löst die Aufgabe derart, daß nur eine Leistungsstromquelle eingesetzt
wird, verbunden mit einer speziellen Schaltungsanordnung. Dabei wird das Katodenrohr
mit einem Ende an den Minuspol der Stromquelle angeschlossen. Das andere Ende des
Katodenrohrs wird über ein Leistungsschaltelement mit einer Anode innerhalb der Vakuumkammer
verbunden. Die Anode ist mit dem Pluspol der Stromquelle kontaktiert. Zwischen Katodenrohr
und Leistungsschaltelement, sowie zwischen Anode und Pluspol der Stromquelle, ist
je ein Strommesser angeordnet, deren Ausgänge mit den Eingängen eines Differenzgliedes
verbunden sind. Der Ausgang des Differenzgliedes steuert eine Schalteinheit zur Öffnung
des Leistungsschalters an.
[0005] Als Anode innerhalb der Vakuumkammer wirkt z. B. die Kammerwand, wenn diese entsprechend
geschaltet ist. In diesem Falle würde in erster Linie nur ein Plasma erzeugt, ohne
daß dieses grundsätzlich für weitere Zwecke bestimmt sein muß.
[0006] Im Falle der Vakuumverdampfung wird als Anode zusätzlich ein spezieller Verdampfertiegel
mit dem Verdampfungsmaterial innerhalb der Vakuumkammer angeordnet. Zwischen Kammerwand
und Verdampfertiegel ist dabei ein Leistungschaltelement angeordnet, das in gleicher
Weise von der gleichen Schalteinheit wie das Leistungsschaltelement zwischen Katodenrohr
und Anode zur Öffnung angesteuert wird.
[0007] Verfahrenstechnisch arbeitet die Schaltungsanordnung in folgender Weise. Die Leistungsschaltelemente
sind zu Beginn der Zündphase der Hohlkatodenbogenentladung geschlossen, da über das
Differenzglied keine Signale zur Schalteinheit für die Öffnung des Leistungsschalters
kommen. Wenn der Stromfluß von der Stromquelle eingeleitet wird, dann fließen bei
30 bis 50 V bis 200 A kurzgeschlossen über die Hohlkatode. Diese ist entsprechend
ausgebildet, so daß das Hohlkatodenrohr, selbst und vorteilhafterweise ein weiteres
in Reihe geschaltenes äußeres Heizwendel, durch Widerstandserwärmung aufgeheizt wird.
Die Hohlkatode besteht in der Regel aus Wolfram. Bei einer Temperatur von ca. 2500
⁰C beginnt die thermische Elektronenemission. Wenn diese ausreichend stark ist, zündet
die Bogenentladung in der heißen Zone der Hohlkatode und brennt von dort aus in dem
Trägergas, welches durch die Hohlkatode strömt. Der Energiestrom wird über die Anode
in die Vakuumkammer abgeleitet. Während anfänglich, ohne Bogenentladung, von den zwei
Stommessern zwischen der Katode und dem Leistungsschalter und zwischen Anode und Pluspol
der Stomquelle, keine wesentlichen Differenzwerte an das Differenzglied gelangen und
somit die Leistungsschalter geschlossen sind, ändert sich das im Moment der Zündung
der Bogenentladung. In diesem Moment wird ein erheblicher Stromfluß über die Bogenentladung,
dem Plasmastrom, zur Anode geleitet. Der Strommesser im Zweig Anode - Pluspol der
Stromquelle mißt einen höheren Strom. Das Differenzglied weist eine Differenz der
beiden Strommesser aus und steuert die Schalteinheit zur Öffnung des Leistungsschalters
an. Bei geöffnetem Leistungsschalter wird der direkte Stromfluß durch die Hohlkatode
und das eventuell vorhandene Heizwendel unterbrochen, damit auch die Widerstandserwärmung
derselben. Der Stromfluß erfolgt ausschließlich von der Katode über die Bogenentladung
zur Anode. Die Hohlkatode wird ständig durch die Bogenentladung auf der erforderlichen
Temperatur gehalten.
[0008] Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, zum Zünden der Bogenentladung die gesamte Vakuumkammer
als Anode zu schalten. Das Zünden wird durch diese großflächige Anode wesentlich erleichtert.
Nach dem Zünden wird in der Regel der Bogen auf eine spezielle Anode innerhalb der
Vakuumkammer gelegt und die Vakuumkammer über ein zweites Leistungsschaltelement von
der speziellen Anode getrennt und an Masse gelegt. Das zweite Leistungsschaltelement
wird parallel zum ersten zwischen Katode und Anode angesteuert. Die spezielle Anode
ist in der Praxis der Verdampfertiegel, er kann aber auch eine nichtverdampfende Anode
sein, wenn es nur auf die Aufrechterhaltung der Bogenentladung und damit der Plasmaausbildung
ankommt. Wenn die Bogenentladung gegen einen Verdampfertiegel brennt, dann führt das
zu einer starken Konzentration der Ladungsträger auf einer kleinen Fläche und zum
Schmelzen bzw. Verdampfen des Verdampfungsmaterials, bei gleichzeitiger teilweiser
Ionisierung der verdampften Teilchen.
[0009] Diese vorgeschlagene Lösung verringert den technischen Aufwand durch Wegfall einer
Stromquelle für das Heizen der Katode sehr wesentlich und ermöglicht gleichzeitig
eine sinnvolle Einbeziehung der Vakuumkammer als Anode in den Zündprozeß und vorteilhafte
Abschaltung in die Arbeitsphase. Nach dem Stand der Technik ist die Vakuumkammer immer
über einen niederohmigen Widerstand hoher Verlustleistung in den Stromkreis eingebunden.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung ist dieser Widerstand nicht erforderlich.
[0010] Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
Die Zeichnung zeigt eine Vakuumkammer mit Hohlkatodenbogen-Verdampfereinrichtung mit
einer erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung.
[0011] Innerhalb einer Vakuumkammer 1 sind eine Hohlkatode 2 und ein Verdampfertiegel 3
angeordnet. Über dem Verdampfertiegel 3 ist ein Substratträger 4 mit den zu beschichtenden
Substraten installiert. Die Hohlkatode 2 besteht aus einem Katodenrohr 6 und einer
Heizwendel 5. Das Katodenrohr 6 ist isoliert in der Vakuumkammer 1 montiert und wird
von Argon, als Trägergas der Bogenentladung, durchströmt.
[0012] Das äußere Ende des Katodenrohres 6 ist mit dem Minuspol der Stromquelle 7 verbunden,
und die Spitze des Katodenrohres ist mit dem Heizwendel 5 kontaktiert. Über zwei in
Reihe geschaltete Leistungsschaltelemente 8 und 9 kann die Heizwendel mit dem Pluspol
der Stromquelle 7 verbunden werden. Durch Widerstandserwärmung beim Stromdurchgang
wird das Katodenrohr 6 und die Heizwendel 5 geheizt.
[0013] Es ist vorteilhaft die Heizwendel 5 so zu bemessen, daß sich bei Erreichen der Endtemperatur
ein Spannungsabfall über die Heizwendel 5 von etwa 20 V einstellt.
[0014] Die metallische Wand der Vakuumkammer 1 ist mit der Verbindungsleitung der beiden
in Reihe liegenden Leistungsschaltelemente 8 und 9 elektrisch verbunden. Der anodische
Verdampfungstiegel 3 ist mit dem Pluspol der Stromquelle 7 und dem Leistungsschaltelement
9 verbunden. Zwischen der Hohlkatode 2 und dem Leistungsschaltelement 8 sowie zwischen
dem Pluspol der Stromquelle 7 und dem Leistungsschaltelement 9 ist je ein Strommesser
11 und 12 eingebunden, wobei mit dem Strommesser 12 der gesamte, von der Stromquelle
7 eingespeiste Strom erfaßt wird und mit dem Strommesser 11 nur der über das Heizwendel
5 fließende Strom. Die Messwertausgänge der beiden Strommesser 11 und 12 sind mit
den Eingängen eines Differenzgliedes 13 verbunden. Der Ausgang ist mit einem Triggereingang
einer Schalteinheit 14 verbunden, die wiederum die Leistungsschaltelemente 8 und 9
ansteuert. Im ruhenden Zustand sind die beiden Leistungsschaltelemente 8 und 9 geschlossen.
In der Phase des Zündens der Hohlkatodenbogenentladung wird der Strom von der Stromquelle
7 bei 24 V auf etwa 240 A eingeregelt. Der Strom fließt direkt über das Hohlkatodenrohr
6, die Heizwendel 5 und die Leistungsschaltelemente 8 und 9 zurück zur Stromquelle
7. Das Hohlkatodenrohr 6 ist im Bereich der heißen Zone und in Abstimmung mit der
Heizwendel 5 so ausgebildet, daß ein Spannungsabfall von etwa 20 V eintritt. Damit
wird dieser Bereich durch Widerstandserwärmung schnell und intensiv auf eine Temperatur
von ca. 2500 ⁰C aufgeheizt. Dabei tritt die thermische Elektronenemission ein. Es
zündet eine Bogenentladung, die über das Trägergas Argon, welches durch die Hohlkatode
2 geleitet wird, zur großflächigen anodischen Kammerwand 1 sowie den anodischen Verdampfertiegel
3 brennt. Der von der Stromquelle 7 abgegebene Strom von 240 A wird dabei aufgespalten,
da ein Teil über die Bogenentladung abgeleitet wird. Dieser aufgeteilte Strom wird
an den Strommessern 11 und 12 gemessen.
[0015] Während am Strommesser 11 nur der Strom gemessen wird, der über das Heizwendel 5
fließt, wird am Strommesser 12 der gesamte Strom gemessen, d. h. der Strom, der bereits
über den Strommesser 11 fließt und zusätzlich der Strom, der über die Bogenentladung
durch die Vakuumkammer 1 und den Verdampfertiegel 3 fließt. Die Differenz der gemessenen
Stromwerte wird im Differenzglied 13 ausgewertet. Wenn im Beispiel der Differenzwert,
also der Plasmastrom 60 A beträgt, dann werden über die Schalteinheit 14 die Leistungsschaltelemente
8 und 9 angesteuert und geöffnet. In diesem Moment wird der Stromfluß über das Heizwendel
5 und auch von der Vakuumkammer 1 unterbrochen. Der gesamte Strom fließt im wesentlichen
ausschließlich über die Bogenentladung zum Verdampfer 3.
[0016] Je nach der jetzt einregulierter Leistung kommt es zum Schmelzen und Verdampfen des
Verdampfungsgutes. Die Hohlkatode 2 wird in dieser Phase ständig durch die Bogenentladung
auf der erforderlichen Temperatur gehalten. Sollte die Bogenentladung erlöschen, dann
wird vom Differenzglied 13 keine ausreichende Differenz der Stromwerte an den Strommessern
11 und 12 mehr gemessen und die Leistungsschaltelemente 8 und 9 werden wieder geschlossen.
Wenn inzwischen nicht der Strom an der Stromquelle 7 abgeschaltet wurde, wiederholt
sich der Zündvorgang. Diese Schaltungsanordnung arbeitet sehr stabil und der technische
Aufwand ist relativ gering.
1. Schaltungsanordnung zum Zünden und Betreiben einer Hohlkatodenbogenentladung, bei
der das Hohlkatodenrohr mindestens zum Zünden widerstandsbeheizt ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende des Katodenrohres (6) mit dem Minuspol einer Stromquelle (7) und das
andere Ende des Katodenrohres (6) über ein Leistungsschaltelement (8) mit einer Anode
innerhalb der Vakuumkammer (1) verbunden ist, daß die Anode mit dem Pluspol der Stromquelle
(7) kontaktiert ist, und daß zwischen Katodenrohr (6) und Leistungsschaltelement (8)
sowie Anode und Pluspol der Stromquelle (7) je ein Strommesser (11, 12) angeordnet
ist, deren Ausgänge mit den Eingängen eines Differenzgliedes (13) verbunden sind,
und daß dessen Ausgang eine Schalteinheit (14) zur Öffnung des Leistungsschaltelementes
(8) ansteuert.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Anode innerhalb der Vakuumkammer (1) die Kammerwand und ein Verdampfertiegel
(3) isoliert zueinander parallel geschaltet sind, wobei zwischen beiden ein Leistungsschaltelement
(9) angeordnet ist, das in der gleichen Weise von der gleichen Schalteinheit (14)
wie das Leistungsschaltelement (8) zwischen dem Katodenrohr (6) und der Anode zur
Öffnung angesteuert wird.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Katodenrohr (6) und dem Leistungsschaltelement (8) im Bereich außerhalb
der heißen Zone der Hohlkatode (2) ein Heizwendel (5) in den Stromkreis eingeschaltet
ist.