(19)
(11) EP 0 874 159 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.11.1998  Patentblatt  1998/47

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.10.1998  Patentblatt  1998/44

(21) Anmeldenummer: 98110191.8

(22) Anmeldetag:  31.03.1994
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: F04D 19/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 03.05.1993 DE 4314418

(62) Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ:
94913098.3 / 0697069

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • Schütz, Günter
    50679 Köln (DE)
  • Engländer, Heinrich
    52441 Linnich (DE)
  • Von Schulz-Hausmann, Friedrich Karl, Dr.
    53229 Bonn (DE)
  • Henning, Hinrich, Dr.
    51427 Bergisch-Gladbach (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

 
Bemerkungen:
Diese Anmeldung ist am 04 - 06 - 1998 als Teilanmeldung zu der unter INID-Kode 62 erwähnten Anmeldung eingereicht worden.
 


(54) Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe


(57) Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe mit einem Rotor (8, 10) und einem Stator (4) sowie mit einer Gaedepumpenstufe, die von einem Statorabschnitt (60) und einem Rotorabschnitt (15, 57) gebildet wird; um bei einer Reibungsvakuumpumpe dieser Art im Übergangsbereich zwischen molekularer und viskoser Strömung gute Fördereigenschaften zu erzielen, wird vorgeschlagen, dass der Statorabschnitt in Höhe der Gaedepumpenstufe mit einer Nut (63, 71, 72) ausgerüstet ist, die von radial einwärts gerichteten Stegen (61, 62) oder von Statorringscheiben (16) seitlich begrenzt ist, dass in die Nut (63, 71, 72) mindestens ein feststehender Vorsprung (65, 75, 76) hineinragt, der mit dem Rotorabschnitt (17, 57) einen Sperrspalt (66, 79) bildet, und dass sich Einlass (19, 64) und Auslass (67) der Gaedepumpenstufe in der Nähe des Vorsprungs (65, 75, 76) befinden, und zwar derart, dass sich der Einlass - in Drehrichtung des Rotorabschnittes (17, 57) gesehen - hinter dem Vorsprung (65, 75, 76) und der Auslass (67) vor dem Vorsprung (65, 75, 76) befindet.






Recherchenbericht