(19) |
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(11) |
EP 0 856 199 B1 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
(45) |
Hinweis auf die Patenterteilung: |
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22.08.2001 Patentblatt 2001/34 |
(22) |
Anmeldetag: 10.10.1996 |
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(86) |
Internationale Anmeldenummer: |
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PCT/EP9604/407 |
(87) |
Internationale Veröffentlichungsnummer: |
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WO 9715/078 (24.04.1997 Gazette 1997/18) |
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(54) |
POLYMERES HÖCKER-MATRIX-GEHÄUSE
POLYMER STUD GRID ARRAY
ENSEMBLE GRILLE A BOSSAGE POLYMERE
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH DE ES FI FR GB IT LI NL |
(30) |
Priorität: |
16.10.1995 DE 19538464
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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05.08.1998 Patentblatt 1998/32 |
(73) |
Patentinhaber: |
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- SIEMENS N.V.
1060 Bruxelles (BE)
- INTERUNIVERSITAIRE MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW
3001 Leuven (BE)
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Erfinder: |
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- DUMOULIN, Ann
B-8210 Zedelgem (BE)
- HEERMAN, Marcel
B-9200 Merelbeke (BE)
- ROGGEN, Jean
B-3560 Lummen (BE)
- BEYNE, Eric
B-3001 Leuven (BE)
- VAN HOOF, Rita
B-3191 Boortmeerbeek (BE)
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(74) |
Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al |
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Patentanwalt,
Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE) |
(56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 322 434 EP-A- 0 645 953 WO-A-89/10005 WO-A-92/02953 JP-A- 3 188 654 US-A- 5 081 520
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EP-A- 0 645 811 WO-A-89/00346 WO-A-92/02040 DE-A- 4 213 251 US-A- 3 271 507
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Integrierte Schaltkreise bekommen immer höhere Anschlußzahlen und werden dabei immer
weiter miniaturisiert. Die bei dieser zunehmenden Miniaturisierung erwarteten Schwierigkeiten
mit Lotpastenauftrag und Bestückung, sollen durch neue Gehäuseformen behoben werden,
wobei hier insbesondere Single- Few- oder Multi-Chip-Module im Ball Grid Array Package
hervorzuheben sind (DE-Z productronic 5, 1994, Seiten 54, 55). Diese Module basieren
auf einem durchkontaktierten Substrat, auf welchem die Chips beispielsweise über Kontaktierdrähte
oder mittels Flipchip-Montage kontaktiert sind. An der Unterseite des Substrats befindet
sich das Ball Grid Array (BGA), das häufig auch als Solder Grid Array, Land Grid Array
oder Solder Bump Array, bezeichnet wird. Das Ball Grid Array umfaßt auf der Unterseite
des Substrats flächig angeordnete Lothöcker, die eine Oberflächenmontage auf den Leiterplatten
oder Baugruppen ermöglichen. Durch die flächige Anordnung der Lothöcker, können hohe
Anschlußzahlen in einem groben Raster von beispielsweise 1,27 mm realisiert werden.
[0002] Bei der sogenannten MID Technologie (MID =
Moulded
Interconnection
Devices), werden anstelle konventioneller gedruckter Schaltungen Spritzgießteile mit
integrierten Leiterzügen verwendet. Hochwertige Thermoplaste, die sich zum Spritzgießen
von dreidimensionalen Substraten eignen, sind die Basis dieser Technologie. Derartige
Thermoplaste zeichnen sich gegenüber herkömmlichen Substratmaterialien für gedruckte
Schaltungen durch bessere mechanische, thermische, chemische, elektrische und umwelttechnische
Eigenschaften aus. Bei einer speziellen Richtung der MID Technologie, der sogenannten
SIL-Technik (SIL =
Spritzgießteile mit
integrierten
Leiterzügen), erfolgt die Strukturierung einer auf die Spritzgießteile aufgebrachten
Metallschicht unter Verzicht auf die sonst übliche Maskentechnik durch ein spezielles
Laserstrukturierungsverfahren. In die dreidimensionalen Spritzgießteile mit strukturierter
Metallisierung sind dabei mehrere mechanische und elektrische Funktionen integrierbar.
Die Gehäuseträgerfunktion übernimmt gleichzeitig Führungen und Schnappverbindungen,
während die Metallisierungsschicht neben der Verdrahtungsund Verbindungsfunktion auch
als elektromagnetische Abschirmung dient und für eine gute Wärmeabfuhr sorgt. Weitere
Einzelheiten zur Herstellung von dreidimensionalen Spritzgießteilen mit integrierten
Leiterzügen, gehen beispielsweise aus der DE-A-37 32 249 oder der EP-A-0 361 192 hervor.
[0003] Aus der US-A-5 081 520 ist ein Verfahren zum Befestigen von IC-Chips auf Substraten
bekannt, bei welchem die Substrate als Spritzgießteile mit integrierten Höckern für
die Befestigung der IC-Chips hergestellt werden. Nach dem Metallisieren der Höcker
wird eine Verbindungsschicht aufgebracht, so dass die IC-Chips auf den Substraten
befestigt werden können, wobei die Chip-Anschlussflächen mit den zugeordneten Metallisierungen
der Höcker elektrisch leitend verbunden werden.
[0004] Aus der WO-A-89/00346 ist eine Trägeranordnung für IC-Chips bekannt, bei welcher
das spritzgegossene Substrat auf seiner Unterseite beim Spritzgießen mitgeformte Höcker
trägt. Auf der Oberseite des Substrats ist ein IC-Chip angeordnet, dessen Anschlüsse
über Bonddrähte mit auf der Oberseite des Substrats ausgebildeten Leiterbahnen verbunden
sind.
[0005] In der internationalen Anmeldung Nr. PCT/EP95/03763 (WO-A-96/09646) wurde ein sogenanntes
Polymer Stud Grid Array (PSGA) vorgeschlagen, welches die Vorteile eines Ball Grid
Arrays (BGA) mit den Vorteilen der MID Technologie vereinigt. Die Bezeichnung der
neuen Bauform als Polymer Stud Grid Array (PSGA) erfolgte dabei in Anlehnung an das
Ball Grid Array (BGA), wobei der Begriff "Polymer Stud" auf beim Spritzgießen des
Substrats mitgeformte Polymerhöcker hinweisen soll. Die neue für Single-, Few- oder
Multi-Chip-Module geeignete Bauform umfasst
- ein spritzgegossenes, dreidimensionales Substrat aus einem elektrisch isolierenden
Polymer,
- auf der Unterseite des Substrats flächig angeordnete und beim Spritzgießen mitgeformte
Polymerhöcker,
- auf den Polymerhöckern durch eine lötbare Endoberfläche gebildete Außenanschlüsse,
- zumindest auf der Unterseite des Substrats ausgebildete Leiterzüge, die die Außenanschlüsse
mit Innenanschlüssen verbinden, und
- mindestens einen auf dem Substrat angeordneten Chip, dessen Anschlüsse mit den Innenanschlüssen
elektrisch leitend verbunden sind.
[0006] Neben der einfachen und kostengünstigen Herstellung der Polymerhöcker beim Spritzgießen
des Substrats, kann auch die Herstellung der Außenanschlüsse auf den Polymerhöckern
mit minimalem Aufwand zusammen mit der bei der MID Technologie bzw. der SIL-Technik
üblichen Herstellung der Leiterzüge vorgenommen werden. Durch die bei der SIL-Technik
bevorzugte Laserfeinstrukturierung, können die Außenanschlüsse auf den Polymerhöckern
mit hohen Anschlußzahlen in einem sehr feinen Raster realisiert werden. Hervorzuheben
ist ferner, daß die Temperaturausdehnung der Polymerhöcker den Temperaturausdehnungen
des Substrats und der das Modul aufnehmenden Leiterplatte entspricht. Sollten mechanische
Spannungen auftreten, so ermöglichen die Polymerhöcker durch ihre elastischen Eigenschaften
zumindest einen teiilweisen Ausgleich. Durch die Formstabilität der auf den Polymerhöckern
gebildeten Außenanschlüsse, kann auch die Sicherheit bei Reparatur und Austausch gegenüber
den Ball Grid Arrays mit ihren durch Lothökker gebildeten Außenanschlüssen erheblich
gesteigert werden.
[0007] Der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Polymer Stud
Grid Array zu schaffen, bei welchem eine verbesserte Abfuhr der Verlustwärme erzielt
wird.
[0008] Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß bei der Herstelluung der Substrate
von Polymer Stud Grid Arrays durch Spritzgießen mit geringem zusätzlichem Aufwand
ein Wärmeleitkörper teilweise in das Substratmaterial eingebettet werden kann. Hierzu
ist lediglich ein Spritzgießform erforderlich, in welcher der Wärmeleitkörper vor
dem Spritzgießvorgang an einer vorgegebenen Stelle positioniert werden kann. Nach
der Herstellung des Polymer Stud Grid Arrays ist dann eine sehr gute Abfuhr der Verlustwärme
eines auf dem Wärmeleitkörper angeordneten Chips oder eines auf dem Wärmeleitkörper
angeordneten Verdrahtungselements gewährleistet.
[0009] Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
[0010] Die Ausgestaltung nach Anspruch 2 ermöglicht eine versunkene Montage der Chips oder
Verdrahtungselemente in Mulden der spritzgegossenen Substrate, deren Boden durch den
Wärmeleitkörper gebildet ist. Hierdurch kann eine extrem geringe Dicke der resultierenden
Single-, Few- oder Multi-Chip-Module realisiert werden. Außerdem ermöglicht die versunkene
Montage einen optimalen Schutz der Chips oder Verdrahtungselemente.
[0011] Die Ausgestaltung nach Anspruch 3 ermöglicht eine besonders einfache Einbringung
der Wärmeleitkörper in das Substratmaterial beim Spritzgießen. Außerdem begünstigt
die Scheibenform des Wärmeleitkörpers das Aufbringen eines Chips oder eines Verdrahtungselements.
[0012] Die Weiterbildung nach Anspruch 4 ermöglicht einen auch bei unterschiedlichen Temperaturen
spannungsarmen Verbund aus Substrat und Wärmeleitkörper.
[0013] Gemäß Anspruch 5 ist es besonders günstig, wenn der Wärmeleitkörper aus Metall besteht,
wobei die im Anspruch 6 angegebenen Legierungen eine gute Wärmeleitfähigkeit bei gleichzeitiger
geringer Wärmeausdehnung ermöglichen.
[0014] Gemäß Anspruch 7 kann aber auch ein Wärmeleitkörper aus Keramik mit Erfolg eingesetzt
werden, wobei hier gemäß Anspruch 8 insbesondere Wärmeleitkörper aus Aluminiumoxid
bevorzugt werden. Auch bei derartigen keramischen Werkstoffen ist eine gute Wärmeleitfähigkeit
bei gleichzeitiger geringer Wärmeausdehnung gewährleistet.
[0015] Die Ausgestaltung nach Anspruch 8 ermöglicht ein besonders einfache Montage der Chips
oder Verdrahtungselemente auf dem Wärmeleitkörper, wobei der Klebstoff zusätzlich
auch noch einen guten Wärmeübergang zum Wärmeleitkörper gewährleistet.
[0016] Die Ausgestaltung nach Anspruch 10 ermöglicht mit einfachen Mitteln einen sicheren
Schutz der in Mulden der Substrate angeordneten Chips oder Verdrahtungselemente.
[0017] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im
folgenden näher beschrieben.
[0018] Die Zeichnung zeigt in stark vereinfachter schematischer Darstellung einen Schnitt
durch einen Teil eines Polymer Stud Grid Arrays PSGA mit einem in Drahtbond-Technik
kontaktierten Verdrahtungselement VE.
[0019] Basis des dargestellten Arrays ist ein Substrat S, das mit "Polymer Studs" bzw. Polymerhöckern
PS und einer Mulde M versehen ist, wobei die Mulde eine mit ST bezeichnete Stufe aufweist.
Der Boden der Mulde M ist durch einen Wärmeleitkörper WL gebildet. Es ist zu erkennen,
daß dieser Wärmeleitkörper WL durch eine Scheibe gebildet ist, deren Randbereich in
das Substratmaterial eingebettet ist. Der scheibenförmige Wärmeleitkörper WL könnte
bei Bedarf nach außen hin auch noch mit zusätzlichen Kühlrippen versehen werden. Die
Herstellung des Substrats S einschließlich Polymerhöckern PS, Mulde M und Stufe ST,
erfolgt durch Spritzgießen, wobei als Substratmaterialien hochtemperaturbeständige
Thermoplaste, wie z.B. Polyetherimid geeignet sind. Beim Spritzgießen wird gleichzeitig
auch der beispielsweise aus Metall oder Keramik bestehende Wärmeleitkörper WL randseitig
im Substratmaterial verankert.
[0020] Das Verdrahtungselement VE besteht im dargestellten Ausführungsbeispiel aus einer
Keramikplatte KP, die mit ihrer Rückseite auf den Wärmeleitkörper WL aufgeklebt ist,
und auf deren Vorderseite mehrere Chips C aufgebracht sind. Die Anschlüsse der Chips
C sind über Kontaktierdrähte KD1 mit zugeordneten Anschlüssen einer auf der Vorderseite
der Keramikplatte KP gebildeten, in der Zeichnung nicht erkennbaren Verdrahtungslage
verbunden. Die Anschlüsse des Verdrahtungselements VE sind über Kontaktierdrähte KD2
mit den Innenanschlüssen des Arrays verbunden, die auf der Stufe ST der Mulde M angeordnet,
aber in der Zeichnung nicht näher erkennbar sind. Die auf den Polymerhöckern PS gebildeten
Außenanschlüsse und die Leiterzüge, welche diese Außenanschlüsse mit den Innenanschlüssen
auf der Stufe ST verbinden, sind in der Zeichnung ebenfalls nicht erkennbar. Einzelheiten
zur Herstellung und Ausgestaltung der Außenanschlüsse, der Innenanschlüsse und der
Leiterzüge, gehen aus der internationalen Anmeldung Nr. PCT/EP95/03763 hervor, deren
Offenbarungsgehalt Bestandteil der vorliegenden Anmeldung ist.
[0021] Aus der Zeichnung ist noch ersichtlich, daß die Mulde M durch eine Abdeckung A verschlossen
ist. Diese aus Kunststoff oder Metall bestehende Abdeckung A gewährleistet einen sicheren
Schutz des in der Mulde M angeordneten Verdrahtungselements VE. Anstelle der Abdeckung
A könnte die Mulde M jedoch auch zur Bildung einer Verkapselung mit einem Kunststoff,
beispielsweise mit Epoxidharz, ausgefüllt werden.
1. Polymer Stud Grid Array
mit
- einem spritzgegossenen, dreidimensionalens Substrat (S) aus einem elektrisch isolierenden
Polymer,
- auf der Unterseite des Substrats (S) flächig angeordneten und beim Spritzgießen
mitgeformte Polymerhöckern (PS),
- auf den Polymerhöckern (PS) durch eine lötbare Endoberfläche gebildeten Außenanschlüssen,
- zumindest auf der Unterseite des Substrats (S) ausgebildeten Leiterzügen, die die
Außenanschlüsse mit Innenanschlüssen verbinden,
- mindestens einem beim Spritzgießen des Substrats (S) teilweise umspritzten Wärmeleitkörper
(WL), und mit
- mindestens einem auf dem Wärmeleitkörper (WL) angeordneten
- Chip oder Verdrahtungselement (VE), dessen Anschlüsse mit den Innenanschlüssen elektrisch
leitend verbunden sind.
2. Polymer Stud Grid Array nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip oder das Verdrahtungselement (VE) in einer Mulde (M) des Substrats (S)
angeordnet ist, deren Boden durch den Wärmeleitkörper (WL) gebildet ist.
3. Polymer Stud Grid Array nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeleitkörper (WL) durch eine randseitig in das Substrat eingebettete Scheibe
gebildet ist.
4. Polymer Stud Grid Array nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeleitkörper (WL) aus einem Material besteht, welches die Wärme besonders
gut weiterleitet und das sich beim Erwärmen nur geringfügig ausdehnt.
5. Polymer Stud Grid Array nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch einen Wärmeleitkörper (WL) aus Metall.
6. Polymer Stud Grid Array nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeleitkörper (WL) aus einer Chromlegierung, einer Nickellegierung oder
einer Chromnickellegierung besteht.
7. Polymer Stud Grid Array nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
gekennzeichnet durch einen Wärmeleitkörper (WL) aus Keramik.
8. Polymer Stud Grid Array nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeleitkörper (WL) aus Aluminiumoxid besteht.
9. Polymer Stud Grid Array nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip oder das Verdrahtungselement (VE) auf den Wärmeleitkörper (WL) aufgeklebt
ist.
10. Polymer Stud Grid Array nach einem der Ansprüche 2 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mulde (M) mit einer Abdeckung (A) verschlossen ist.
1. Polymer stud grid array having
- an injection-moulded, three-dimensional substrate (S) composed of an electrically
insulating polymer,
- polymer studs (PS) which are arranged over the area on the underneath of the substrate
(S) and are integrally formed during injection moulding,
- external connections which are formed on the polymer studs (PS) by an end surface
which can be soldered,
- conductor runs which are formed at least on the underneath of the substrate (S)
and connect the external connections to internal connections,
- at least one heat sink (WL) which is partially coated during the injection moulding
of the substrate (S), and having
- at least one chip or wiring element (VE) which is arranged on the heat sink (WL)
and whose connections are electrically conductively connected to the internal connections.
2. Polymer stud grid array according to Claim 1,
characterized
in that the chip or the wiring element (VE) is arranged in a trough (M) in the substrate
(S), the base of which trough (M) is formed by the heat sink (WL).
3. Polymer stud grid array according to Claim 1 or 2, characterized
in that the heat sink (WL) is formed by a disc which is embedded in the substrate
at the edge.
4. Polymer stud grid array according to Claims 1 to 3, characterized
in that the heat sink (WL) is composed of a material which conducts the heat particularly
well and which expands only slightly when heated.
5. Polymer stud grid array according to one of Claims 1 to 4,
characterized by a heat sink (WL) composed of metal.
6. Polymer stud grid array according to Claim 5,
characterized
in that the heat sink (WL) is composed of a chromium alloy, a nickel alloy or a chromium-nickel
alloy.
7. Polymer stud grid array according to one of Claims 1 to 4, characterized by a heat
sink (WL) composed of ceramic.
8. Polymer stud grid array according to Claim 7,
characterized
in that the heat sink (WL) is composed of aluminium oxide.
9. Polymer stud grid array as claimed in one of Claims 1 to 8, characterized
in that the chip or the wiring element (VE) is bonded onto the heat sink (WL).
10. Polymer stud grid array according to one of Claims 2 to 9, characterized
in that the trough (M) is closed by a cover (A).
1. Polymer Stud Grid Array, comprenant
- un substrat (S) en trois dimensions moulé par injection, en un polymère isolant
du point de vue électrique,
- des bossages (PS) en polymère, disposés à plat sur la face inférieure du substrat
(S) et formés lors du moulage par injection,
- des bornes extérieures formées sur les bossages (PS) en polymère par une surface
d'extrémité pouvant être brasée,
- des pistes conductrices qui sont constituées au moins sur la face inférieure du
substrat (S) et qui relient les bornes extérieures à des bornes intérieures,
- au moins un élément (WL) conducteur de la chaleur surmoulé partiellement lors du
moulage par injection du substrat (S), et
- au moins une puce ou un élément (VE) de câblage, qui est monté sur l'élément (WL)
conducteur de la chaleur et dont les bornes sont reliées d'une manière électriquement
conductrice aux bornes intérieures.
2. Polymer Stud Grid Array suivant la revendication 1,
caractérisé
en ce que la puce ou l'élément (VE) de câblage est disposé dans une cuvette (M)
du substrat (S), dont le fond est formé par l'élément (WL) conducteur de la chaleur.
3. Polymer Stud Grid Array suivant la revendication 1 ou 2,
caractérisé
en ce que l'élément (WL) conducteur de chaleur est formé par un disque incorporé
du côté du bord dans le substrat.
4. Polymer Stud Grid Array suivant la revendication 1 à 3,
caractérisé
en ce que l'élément (WL) conducteur de la chaleur est en un matériau qui conduit
particulièrement bien la chaleur et qui ne se dilate que peu lorsqu'il est chauffé.
5. Polymer Stud Grid Array suivant l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par un
élément (WL) conducteur de la chaleur en métal.
6. Polymer Stud Grid Array suivant la revendication 5,
caractérisé en ce que l'élément (WL) conducteur de la chaleur est en un alliage de
chrome, en un alliage de nickel ou en un alliage de chrome et de nickel.
7. Polymer Stud Grid Array suivant l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par un
élément (WL) conducteur de la chaleur en céramique.
8. Polymer Stud Grid Array suivant la revendication 7,
caractérisé en ce que l'élément (WL) conducteur de la chaleur est en oxyde d'aluminium.
9. Polymer Stud Grid Array suivant l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce
que la puce ou l'élément (VE) de câblage est collé sur l'élément (WL) conducteur de
la chaleur.
10. Polymer Stud Grid Array suivant l'une des revendications 2 à 9, caractérisé en ce
que la cuvette (M) est fermée par un couvercle (A).