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EP 1 019 903 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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17.04.2002 Patentblatt 2002/16 |
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Anmeldetag: 28.09.1998 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G10K 15/06 |
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Internationale Anmeldenummer: |
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PCT/DE9802/870 |
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Internationale Veröffentlichungsnummer: |
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WO 9917/276 (08.04.1999 Gazette 1999/14) |
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VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON ULTRASCHALLFELDERN
DEVICE FOR GENERATING ULTRASOUND FIELDS
DISPOSITIF DE PRODUCTION DE CHAMPS ULTRASONORES
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Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE FR GB LI |
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Priorität: |
30.09.1997 DE 19743336
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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19.07.2000 Patentblatt 2000/29 |
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Patentinhaber: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
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80333 München (DE) |
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Erfinder: |
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- HARTMANN, Werner
D-91091 Gro enseebach (DE)
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Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 567 038 US-A- 3 688 562
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DE-B- 1 076 413 US-A- 4 040 000
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ultraschallfeldern,
wobei die Ultraschallgenerierung unter Anwendung des thermohydraulischen Prinzips
in Flüssigkeiten erfolgt, mit wenigstens zwei Elektroden, die ein Volumen mit einem
Elektrolyten einschließen und von einem Leistungsimpulsgenerator angesteuert werden,
und mit einer Schallgeberoberfläche.
[0002] Ultraschall Wird auf vielen Gebieten der Technik und weiterhin speziell in der Medizin
angewendet. Beispiele für letztere Anwendungen sind bildgebende Diagnoseverfahren
in der Medizin, wie die Ultraschalluntersuchung von inneren Organen und von Föten
bei Schwangeren. Beispiele für die allgemeine Technik sind die Riß-Bruchstellenlokalisierung
hochbeanspruchter Teile oder Sonarverfahren.
[0003] Über obige Anwendungen hinaus finden speziell intensive fokussierte Ultraschallfelder
in jüngerer Zeit Anwendung bei Hyperthermieverfahren in der medizinischen Behandlung
und in der Chirurgie. Voraussetzung ist dabei jeweils eine hohe räumliche Auflösung
bzw. eine gute Fokussierbarkeit. Dafür müssen Hochfrequenzen im Bereich oberhalb von
1 MHz bei zeitlich gemittelten Schalleistungen von einigen Watt bis zu einigen 100
W erzeugt werden. Die Qualität der Wellenfront des Ultraschallfeldes spielt dabei
eine große Rolle für die Auflösung bzw. Fokusgröße.
[0004] In der Praxis eingeführte Systeme nutzen vorwiegend piezoelektrische Schallwandler,
die gut zur Erzeugung ebener Wellenfronten geeignet sind. Dabei erfolgt eine Fokussierung
entweder durch akustische Linsen oder aber durch spezifische Formgebung der Schallgeber.
Bekannt sind auch mehrdimensionale Arrays, die beispielsweise als phasengesteuerte
Anordnungen (Phased Arrays) entwickelt wurden, bei denen die einzelnen Elemente unabhängig
voneinander angesteuert werden können, um Fokuslage und Fokusgröße gezielt durch Änderung
elektrischer Parameter zu steuern.
[0005] US-A-3 688 562 offenbart eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ultraschallfeldern, mit
zwei Elektroden, unter Anwendung der thermohydraulischen Prinzips in Flüssigkeiten,
wobei die Impulse durch Halbleiterschaltelementen erzeugt werden.
[0006] Die vorbekannten Anordnungen sind vergleichsweise komplex aufgebaut, wobei die Lebensdauer
der Schallwandler und die erreichbaren Amplituden zu wünschen übrig lassen.
[0007] Mit der älteren, nichtvorveröffentlichten DE 19 702 593 A1 wurde auch vorgeschlagen,
das thermohydraulische Prinzip zur Erzeugung intensiver Druckpulse in Flüssigkeiten
zur Generierung von Ultraschallwellenfelder auszunützen. Dabei wird eine zwischen
zwei Elektroden liegende Elektrolytschicht durch einen Leistungsimpuls kurzer Dauer
aufgeheizt und aufgrund der mit der Aufheizung verbundenen Volumenausdehnung des Elektrolyten
in das angrenzende Medium eine intensive Druckwelle abgestrahlt. Durch Erzeugung einzelner
Druckpulse nach diesem Verfahren ist es möglich, ebene oder nahezu beliebig geformte
Wellenfronten mit Amplituden von mehreren MPa zu erzeugen. Dazu sind allerdings elektrische
Pulse mit Spitzenleistungen im Bereich von etwa 100 MW notwendig.
[0008] Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, auf der Grundlage des in der älteren
Anmeldung vorbeschriebenen Verfahrens eine praxisgerechte Vorrichtung zur Erzeugung
von Ultraschallfeldern aufzubauen.
[0009] Die Aufgabe ist erfindungsgemäß bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art
dadurch gelöst, daß das vom elektrischen Impuls aufzuheizende Elektrolytvolumen so
weit begrenzt ist, daß die aufzubringende elektrische Leistung von Halbleiterschaltelementen
beherrscht wird. Die Schallgeberoberfläche kann dabei vorzugsweise entweder als zweidimensionales
Array mit definierten Arrayelementen oder aber auch als eineinhalbdimensionale Anordnung
von Arrayelementen vorgesehen sein. Wesentlich ist bei der Erfindung, daß die Schallgeberoberfläche
so strukturiert ist, daß die einzelnen Elemente entsprechend kleine Abmessungen aufweisen.
Solche Elemente werden auch als "Actels" (
actuator-
element
s) bezeichnet. Durch Anwendung hoher Pulswiederholraten kann damit ein Ultraschallfeld
hoher mittlerer Leistung erzeugt werden. Besonders vorteilhaft ist, daß eine Schallwellenfront
durch gezielte Ansteuerung der einzelnen Actels nahezu beliebig geformt werden kann.
Die mittlere, im Elektrolyten dabei umgesetzte Verlustwärme kann durch Kühlung abgeführt
werden, so daß über längere Anwendungszeiten stabile Verhältnisse vorliegen.
[0010] Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Figurenbeschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung in Verbindung mit
den Patentansprüchen. Es zeigen jeweils in schematischer Darstellung
- Figur 1
- die Funktionsweise eines einzelnen Actels,
- Figur 2
- eine ebene Anordnung eines zweidimensionalen Arrays aus N x M Elementen,
- Figur 3
- die Draufsicht eines eineinhalbdimensionalen Arrays zur Erzeugung zylindrischer Wellenfronten,
- Figur 4
- einen Schnitt durch eine Anordnung gemäß Figur 3 entlang der Linie IV-IV,
- Figur 5
- ein eineinhalbdimensionales Array zur Erzeugung sphärischer Wellenfronten.
- Figur 6
- einen Schnitt durch eine Anordnung gemäß Figur 5 längs der Linie V-V.
[0011] In den Figuren haben gleiche bzw. gleichwirkende Teile sich entsprechende Bezugszeichen.
Die Figuren werden teilweise gemeinsam beschrieben.
[0012] In Figur 1 ist eine Trägerelektrode 1 dargestellt, die eine akustisch harte, das
heißt reflektierende Elektrode definiert. Im Abstand davon ist eine dünne, akustisch
transparente membranartige Elektrode 3 angeordnet, welche die Steuerelektrode bildet.
Zwischen den Elektroden 1 und 2 ist ein Elektrolyt 2 eingebracht, wobei der Abstand
zwischen den Elektroden 1 und 3 und damit auch das Volumen des Elektrolyten 2 durch
einen Abstandshalter 11 definiert ist. Der Abstandshalter kann als Steg gleichermaßen
das Elektrolytvolumen seitlich bzw. umlaufend begrenzen.
[0013] Über der zweiten Elektrode 3 ist im vorliegenden Beispiel eine Trägerfolie 12 angebracht,
von der der erzeugte Ultraschall in ein Schallausbreitungsmedium 4 gelangt. Mit 5
ist ein Leistungsimpulsgenerator und mit 6 ein Schaltelement bezeichnet.
[0014] Durch die Figur 1 ist ein sogenanntes "Actel" (actuator element) definiert. Durch
die Aufheizung der Elektrolytschicht 3 durch einen Stromimpuls der Spannungsquelle
5 dehnt sich der Elektrolyt 2 aus und beschleunigt dabei die metallisierte Trägerfolie
12 in das Ausbreitungsmedium 4 hinein. Dadurch wird in diesem Medium 4 eine intensive
Schallwelle erzeugt. Durch weitere angrenzende Actels ergibt sich insgesamt eine überlagerte
Schallwellenfront.
[0015] Das in Figur 1 dargestellte Actel nutzt also das thermoelektrische Prinzip aus, das
im einzelnen in der älteren, nichtvorveröffentlichten DE 197 02 593 A1 beschrieben
ist. Dort ist auch insbesondere der physikalische Zusammenhang zwischen Energieaufwand
und erzeugter Druckamplitude eines Actels im einzelnen abgeleitet.
[0016] In Figur 2 ist ein zweidimensionales (2D-)Array dargestellt, das aus einzelnen Actels
gemäß Figur 1 besteht. Eine durchgehende Trägerelektrode 21 ist hier mit einer Trägerfolie
22 mit einzelnen metallischen Bereichen 23 als Steuerelektroden versehen, wobei zwischen
den Elektroden 21 und 23 ein Elektrolyt entsprechend Figur 1 anordenbar ist, der aus
der Darstellung gemäß Figur 2 nicht im einzelnen erkennbar ist. Durch die diskreten
Steuerelektroden sind einzelne Actels 20, 20', 20'' ... definiert, die ein zweidimensionales
Array aus M Spalten und N Zeilen bilden. Bei typischen Abmessungen eines einzelnen
Actels 20 von 1 x 1 mm Seitenlänge und einem Abstand der Elektroden 21 und 23 von
100 µm erhält man bei einer Leitfähigkeit des Elektrolyten von 0,5 Ωm einen Widerstand
von ca. 50 Ω. Bei einem Energieeintrag pro Actel von ΔE= 1 mJ benötigt man somit eine
Spitzenleistung von 5 kW für eine Pulsdauer von 0,4 µs. Der Strom beträgt dabei etwa
10 A bei einer Spannung von 500 V.
[0017] Letztere Anforderungen können von heutzutage üblichen Halbleiterschaltelementen,
wie Transistoren oder Thyristoren, beherrscht werden. Beispielhaft ist in Figur 1
das Schaltelement als Feldeffekttransistor ausgeführt. Es sind auch andere Halbleiterschalter
möglich. Die damit erzeugte Druckamplitude ist beispielsweise bei Ethylenglykol als
Elektrolyt typisch etwa 1 bar.
[0018] Mit einer Anordnung gemäß Figur 2 ist es möglich, pro Actel eine mittlere Leistung
von 10 W bei einer Impulswiederholrate von 10 KHz zu erreichen. Bei der Arrayanordnung
muß die Ansteuerung der einzelnen Actel 20, 20', 20''... simultan, aber unabhängig
voneinander erfolgen. Ähnlich wie bei bekannten Flachbildschirmen kann dazu beispielsweise
ein Teil der Ansteuerelektroden mit Treibertransistoren oder einer Diodenmatrix direkt
auf die Trägerelektrode 21 mit integriert werden.
[0019] In den Figuren 3 bis 6 sind jeweils sogenannte eineinhalbdimensionale (1,5 D-)Arrays
dargestellt. Dabei dient das Array gemäß Figur 3 zur Erzeugung von zylindrischen Wellenfronten,
wozu auf der schallharten Elektrode 31 mit Elektrolyten 2 streifenförmige Steuerelektroden
33, 33', 33''... auf einer gemeinsamen Trägerfolie 32 aufgebracht sind. Nicht gezeigt
sind in dieser Figur der Abstandshalter zur Definition des Abstandes zwischen der
Trägerelektrode 31 und der Trägerfolie 32 mit den aufmetallisierten Steuerelektroden
33. Der Elektrolyt 2 ist hier durchgehend angeordnet, wobei durch die Steuerelektroden
33 jeweils ein eng begrenztes Elektrolytvolumen zur Generierung aktiviert wird. Ein
geringfügiges Übersprechen ist unschädlich.
[0020] Eine entsprechende Anordnung ist in Figur 5 zur Erzeugung von sphärischen Wellenfronten
dargestellt. In diesem Fall ist die Trägerelektrode 51 kreisförmig ausgebildet, wobei
speziell die auf der Trägerfolie 52 aufmetallisierten Steuerelektroden 53, 53', 53''
... ringförmig ausgebildet sind. Die Begrenzungselemente sind wie in Figur 3 wiederum
nicht dargestellt. Für die Elektrolytschicht gilt entsprechendes.
[0021] Die Schnittdarstellungen gemäß den Figuren 4 und 6 sind im vorliegenden Fall für
die Ausführungsformen gemäß Figur 3 und Figur 5 identisch. In beiden Fällen ist auch
die Ansteuerung der Steuerelektroden gleich, wozu jeweils der gemeinsamen Spannungsquelle
5 einzelne Schaltelemente 6, 6', 6''... zugeordnet sind.
[0022] Über die Schaltelemente 6, 6', 6''... sind die Steuerelektroden 33 bzw. 53 gemäß
Figur 3 bzw. Figur 5 jeweils separat und gleichzeitig adressierbar. Es ist auch ein
verzögertes Ansteuern der einzelnen Steuerelektroden möglich, wobei durch konstante
Zeitdifferenzen beispielsweise die Funktionweise eines "Phased Array" erreicht wird.
[0023] Speziell für eine Anordnung gemäß Figur 3 mit einer Actel-Länge von 50 mm, einer
Breite von 1 mm und einem Elektrodenabstand von 0,1 mm wurde im einzelnen gezeigt,
daß bei 1,2 MHz Anregungsfrequenz ca. 50 mJ pro Actel für eine Druckamplitude von
1 bar benötigt wird. Der dazu notwendige Spitzenstrom von etwa 500 A kann aufgrund
der kurzen Pulsdauer von modernen Hochleistungshalbleitern getragen werden.
[0024] Letzteres gilt insbesondere auch für eine Anordnung gemäß Figur 5. Bei den beiden
Anordnungen gemäß Figur 3/4 oder Figur 5/6 werden im Vergleich zu Figur 2 deutlich
weniger Actels und damit auch weniger Schaltelemente zur Aktivierung benötigt.
[0025] Da bei den Anordnungen gemäß Figur 2, Figur 3/4 und Figur 5/6 jeweils streifenförmig
metallisierte Kunststoffolien verwendet werden können, ist in allen Fällen eine kostengünstige
Bauweise möglich. Es können auch gekrümmte Oberflächen aufgebaut werden.
1. Vorrichtung zur Erzeugung von Ultraschallfeldern, wobei die Ultraschallgenerierung
unter Anwendung des thermohydraulischen Prinzips in Flüssigkeiten erfolgt, mit wenigstens
zwei Elektroden, die ein Volumen mit einem Elektrolyten einschließen und von einem
Leistungsimpulsgenerator angesteuert werden, und mit einer Schallgeberoberfläche wobei
das vom elektrischen Impuls aufzuheizende Elektrolytvolumen (2) so weit begrenzt ist,
daß die aufzubringende elektrische Leistung von Halbleiterschaltelementen (6) beherrscht
wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltelemente Transistoren (6) oder Thyristoren, beispielsweise Feldeffekttransistoren,
sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schallgeberoberfläche als zweidimensionales (2D-)Array mit definierten Array-Elementen
(20, 20',20'' ...) strukturiert ist, die einzeln ansteuerbar sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schallgeberoberfläche (22) als phasengesteuertes Array (20) strukturiert ist,
wobei die einzelnen Array-Elemente (20, 20',20''...) entsprechende Abmessungen aufweisen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung von zylindrischen oder sphärischen Wellenfronten eine eineinhalbdimensionale
(1,5D-)Anordnung von Arrayelementen vorgesehen ist, die einzeln ansteuerbar sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Array-Elemente (20, 20', 20" ...) auf einer gekrümmten Oberfläche angeordnet
sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ansteuerelektronik vorhanden ist, mit der die Ansteuerung der einzelnen Array-Elemente
(20, 20', 20''...) gleichzeitig, aber unabhängig voneinander erfolgt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ansteuerelektronik vorhanden ist, mit der die Ansteuerung der einzelnen Array-Elemente
(20, 20', 20'', ... mit vorgebbaren Zeitdifferenzen erfolgt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Ansteuerelektronik, wie Treibertransistoren oder eine Diodenmatrix,
direkt auf der Trägerelektrode (21, 31, 51) integriert ist.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehendem Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Elektrolytvolumen durch Elemente (11) begrenzt wird, die gleichermaßen Abstandshalter
zwischen den Elektroden (1,3; 21,23; 31,33; 51,53) bilden.
1. Apparatus for generating ultrasound fields, the ultrasound generation being effected
using the thermohydraulic principle in liquids, having at least two electrodes which
enclose a volume with an electrolyte and are driven by a power pulse generator, and
having a sound transmitter surface, characterized in that the electrolyte volume (2) to be heated by the electrical pulse is delimited to such
an extent that the electrical power to be applied is controlled by semiconductor switching
elements (6).
2. Apparatus according to Claim 1, characterized in that the switching elements are transistors (6) or thyristors, for example field-effect
transistors.
3. Apparatus according to Claim 1, characterized in that the sound transmitter surface is structured as a two-dimensional (2D) array with
defined array elements (20, 20', 20'' ...) which can be driven individually.
4. Apparatus according to Claim 3, characterized in that the sound transmitter surface (22) is structured as a phase-controlled array (20),
the individual array elements (20, 20', 20" ...) having corresponding dimensions.
5. Apparatus according to Claim 1, characterized in that, in order to generate cylindrical or spherical wavefronts, a one-and-a-half-dimensional
(1.5D) arrangement of array elements which can be driven individually is provided.
6. Apparatus according to one of Claims 1 to 5,characterized in that the array elements (20, 20', 20'' ...) are arranged on a curved surface.
7. Apparatus according to one of Claims 1 to 6, characterized in that an electronic drive unit is present, which effects the driving of the individual
array elements (20, 20', 20" ...) simultaneously, but independently of one another.
8. Apparatus according to one of Claims 1 to 6, characterized in that an electronic drive unit is present, which effects the driving of the individual
array elements (20, 20', 20", ...) with predeterminable time differences.
9. Apparatus according to Claim 7 or Claim 8, characterized in that a portion of the electronic drive unit, such as driver transistors or a diode matrix,
is integrated directly on the support electrode (21, 31, 51).
10. Apparatus according to one of the preceding claims, characterized in that the electrolyte volume is delimited by elements (11) which form, as it were, spacers
between the electrodes (1, 3; 21, 23; 31, 33; 51, 53).
1. Dispositif de production de champs d'ultrasons, la génération d'ultrasons s'effectuant
en utilisant le principe thermohydraulique dans des liquides, comprenant au moins
deux électrodes qui enferment un volume ayant un électrolyte et qui sont commandées
par un générateur d'impulsions de puissance et comprenant au moins une surface transductrice
de son, le volume (2) d'électrolyte à chauffer par l'impulsion électrique étant à
ce point limité que la puissance électrique à apporter est maîtrisée par des éléments
(6) de commutation à semi-conducteur.
2. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments de commutation sont des transistors (6) ou des thyristors, par exemple
des transistors à effet de champ.
3. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la surface transductrice de son est structurée en réseau à deux dimensions (2D) ayant
des éléments (20, 20', 20" ...) de réseau définis qui peuvent être commandés individuellement.
4. Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé en ce que la surface (2) transductrice de son est structurée en réseau (20) commandé en phase,
les éléments (20, 20', 20" ...) individuels de réseau ayant des dimensions correspondantes.
5. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que, pour la production de fronts d'onde cylindriques ou sphériques, il est prévu un
agencement en une dimension et demie (1,5D) d'éléments de réseau, qui peuvent être
commandés individuellement.
6. Dispositif suivant l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les éléments (20, 20', 20" ...) de réseau sont disposés sur une surface courbe.
7. Dispositif suivant l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il est prévu une électronique de commande par laquelle il s'effectue simultanément
mais indépendamment les unes des autres les commandes des éléments (20, 20', 20" ...)
de réseau.
8. Dispositif suivant l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il est prévu une électronique de commande par laquelle il s'effectue à des intervalles
de temps pouvant être prescrits les commandes des éléments (20, 20', 20" '...) individuels
de réseau.
9. Dispositif suivant la revendication 7 ou la revendication 8, caractérisé en ce qu'une partie de l'électronique de commande, comme des transistors d'attaque ou une matrice
de diode, est intégrée directement à l'électrode (21, 31, 51) de support.
10. Dispositif suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le volume d'électrolyte est délimité par des éléments (11) qui forment des entretoises
pareilles entre les électrodes (1, 3 ; 21, 23 ; 31, 33 ; 51, 53).