[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Leuchtröhrensystemen mittels
einer Vakuum-Pumpanlage und einer Füllgas-Dosieranlage sowie einem Hochspannungsteil
zur Zündung und Ausheizung der Leuchtröhren.
[0002] Die Herstellung von Leuchtröhrensystemen und deren Qualität und Lebensdauer hängt
unter anderem entscheidend vom Druck und der Reinheit der Füllgase ab. Wenn die Leuchtröhre
nicht mit einem sich aus Erfahrungswerten ermittelten optimalen Druck gefüllt worden
ist, kann die Lebensdauer stark herabsinken. Als die Lebensdauer ebenfalls beeinflussende
Faktoren haben sich auch die Pump- und Ausheizkomponenten beim Fertigungsprozeß von
Leuchtröhrensystemen herausgestellt. Schließlich ist die Qualität von Leuchtröhren
weitgehend von dem handwerklichen Geschick und Wissen sowie der Sorgfalt der die Leuchtröhren
herstellenden Fachleute abhängig. Aber selbst bei einer sorgfältigen Beachtung von
Arbeitsanleitungen und Erfahrungswerten kann es bei unerkannten Meßfehlern zu sogenannten
unerklärlichen Ausfällen kommen. Um dem entgegenwirken zu können, bieten sich die
Qualitätssicherungsnormen der ISO 9000-9004 an, bei deren Anwendung dem Hersteller
und dem Benutzer eine entsprechende Qualität gewährleistet wird. Die Umsetzung der
ISO 9000-9004 setzt jedoch voraus, daß die relevanten Fertigungsparameter meß- und
kontrollierbar sind.
[0003] Es ist bisher kein meß- und kontrollierbares Herstellungsverfahren für Leuchtstoffröhrensysteme
gemäß der Qualitätssicherungsnormen ISO 9000-9004 bekannt. Ein halbautomatisiertes
Verfahren zur Herstellung von Leuchtröhren ist aus der DE 1589179A bekannt.
[0004] Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von
Leuchtröhrensystemen zu schaffen, bei dem gewährleistet ist, daß selbst bisher unerkannte
Meßfehler erkenn- und protokollierbar gemacht werden können.
[0005] Eine weitere Aufgabe ist es, diese Fertigungsabläufe entsprechend der ISO 9000-9004
zertifizierungsfähig zu machen.
[0006] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
a) die relevanten Fertigungsparameter, wie Drücke, Temperaturen, Ausheizströme und
-zeiten des Fertigungsprozesses 1 von einem Datenerfassungssystem 6 mit spezifischer
Sensorik 4 erfaßt und einer programmgesteuerten elektronischen Datenverarbeitung 3
zugeführt werden, wobei diese mit einem Meß- und Steuerprogramm ausgestattet ist,
in das die in einem vorgegebenen, normgerechten Bereich liegenden Fertigungsparameter
eingespeichert sind, welche über die Prozeßsteuerung 7 mittels der Stellglieder 5
den Fertigungsprozeß 1 beeinflussen, und
b) ein mehr oder minder großer Teil der von der Sensorik 4 erfaßten Meß- und Prozeßdaten
von der Datenverarbeitung 3 auf einem Bildschirm 19 angezeigt und programmgemäß in
einem Daten-Speicher 11 protokolliert und in einem digitalen Daten-Archiv 14 und/oder
in einer gedruckten Akte 12/13 dokumentiert werden.
[0007] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird
im folgenden näher beschrieben.
[0008] Es zeigen
- Fig. 1
- ein Funktionsdiagramm, in welchem die Wechselwirkungsmöglichkeiten zwischen der Prozeß-Steuerung
für die Herstellung von Leuchtröhren, dem Bearbeiter und dem rechnergestützten Meß-,
Steuer- und Protokollsystem veranschaulicht sind,
- Fig. 2
- ein Blockschaltbild einer für die Herstellung von beispielsweise zwei Leuchtröhren
zusammenwirkenden Vakuum-Pumpanlage und einer Füllgas-Dosieranlage eines Pumpstandes,
- Fig. 3
- ein Funktionsdiagramm für die Vakuum-Pumpanlage und der Füllgas-Dosieranlage nach
Fig. 1, in dem die Wechselwirkungsmöglichkeiten zwischen der Prozeß-Steuerung, dem
Bearbeiter, der Daten-Erfassung, den Pump- und Füllkomponenten und den zugeordneten
Meßsensoren sowie den Stellgliedern dargestellt sind,
- Fig. 4
- ein Funktionsdiagramm der Hochspannungsversorgung nach Fig. 1, in dem die Wechselwirkungsmöglichkeiten
zwischen der Prozeß-Steuerung, dem Bearbeiter, der Datenerfassung, den Hochspannungsund
Stromversorgungskomponenten, den zugeordneten Meßsensoren und Regelelementen sowie
den Sicherheitsschaltungen dargestellt sind,
- Fig. 5
- ein Blockschaltbild der Ausheizanlage nach Fig 4,
- Fig. 6
- ein Funktionsdiagramm der Sensorik nach Fig. 1, in dem die Wechselwirkungsmöglichkeiten
zwischen dem Fertigungsprozeß, dem Bearbeiter und der Sensorik mit den Stellgliedern
sowie der Datenerfassung dargestellt sind,
- Fig. 7
- ein Funktionsdiagramm der Stellglieder nach Fig. 1, in dem die Wechselwirkungsmöglichkeiten
zwischen dem Fertigungs-Prozeß, dem Bearbeiter und den Stellgliedern sowie der Datenerfassung
mit der Sensorik dargestellt sind und
- Fig. 8
- ein Funktionsdiagramm der programmgesteuerten elektronischen Datenverarbeitung nach
Fig. 1, in dem die Wechselwirkungsmöglichkeiten zwischen der Datenerfassung, dem Bearbeiter
und der Prozeßsteuerung sowie der programmgesteuerten elektronischen Datenverarbeitung
veranschaulicht sind.
[0009] Fig. 1 zeigt ein schematisches Funktionsdiagramm, in dem die variable Aufgabenteilung
beim Fertigungs-Prozeß 1 für die Herstellung von Leuchtröhrensystemen zwischen dem
Bearbeiter 2 und einer programmgesteuerten elektronischen Datenverarbeitung 3 dargestellt
ist. Variable Aufgabenteilung insofern, als der Bearbeiter 2 mit einem Bereich P als
Prozeßbereich, einem Bereich V, in dem eine Sensorik 4, Stellglieder 5, eine Datenerfassung
6 und eine Prozeß-Steuerung 7 angeordnet sind, und einem Bereich D, der im wesentlichen
die programmgesteuerte elektronische Datenverarbeitung 3 mit ihren Peripheriegeräten
umfaßt, wechselseitig zusammenwirken muß. Hieraus wird deutlich, daß der Bearbeiter
2 den Prozeßbereich P beobachten und beurteilen kann, während im Bereich V ein mehr
oder minder großer Teil der Sensorik 4 und der Stellglieder 5 über die Daten-Erfassung
6 bzw. über die Prozeßsteuerung 7 mit der programmgesteuerten elektronischen Datenverarbeitung
3 zusammenwirken, und einerseits von einer Software und andererseits durch Eingaben
über eine Tastatur 8 von dem Bearbeiter 2 gesteuert werden.
[0010] Die Software der Datenverarbeitung 3 umfaßt die Programme mit den relevanten Fertigungsparametern
für die Herstellung von Leuchtröhren 9 und den Daten zur Steuerung und Überwachung
sowie zur Dokumentation des Fertigungsablaufs als Nachweis für eine Qualitätskontrolle,
und zwar vorzugsweise gemäß der ISO-Normen 9000-9004 und/oder der auf Erfahrungen
des Fachmannes beruhenden Fertigungsempfehlungen, beispielsweise die des Fachverbandes
Lichtwerbung e.V. Nur auf diese Weise ist dann im Zusammenhang mit der Datenverarbeitung
3 die Einhaltung der Fertigungsanweisungen nachzuweisen bzw. ist die Ursache eines
Qualitätsmangels der Leuchtröhren zu erkennen.
[0011] So sind als relevante Daten für die Herstellung von Leuchtröhren 9 deren Daten bezüglich
der Pumpzeit, der Druckverläufe, der Enddrücke, der Ausheizzeit und -temperatur und
deren Füllkomponenten anzusehen, welche die Lebensdauer der Leuchtröhren maßgeblich
beeinflussen.
[0012] Wie weiterhin aus Fig. 1 zu erkennen ist, kann gleichzeitig auch ein mehr oder minder
großer Teil der von der Sensorik 4 erfaßten Meß- und Prozeßdaten von der Datenverarbeitung
3 dem Bearbeiter 2 auf einem Bildschirm 10 angezeigt und programmgemäß in einem Datenspeicher
11 protokolliert sowie beispielsweise entsprechend der ISO-Normen 9000-9004 mittels
eines Druckers 12 in eine Akte 13 und/oder direkt in ein digitales Daten-Archiv 14
dokumentiert werden.
[0013] Der nicht mit der Datenverarbeitung 3 verbundene Teil der Sensorik 4 und der Stellglieder
5 wird vom Bearbeiter 2 manuell bedient und beobachtet. Hierbei wird der für die Dokumentation
beispielsweise gemäß der ISO-Normen 9000-9004 relevante Teil der dabei anfallenden
Daten von der Datenverarbeitung 3 über den Bildschirm 10 angefordert, und dann vom
Bearbeiter 2 über die Tastatur 8 eingegeben. Diese Werte werden dann, entsprechend
gekennzeichnet, im Datenspeicher 11 protokolliert und im Daten-Archiv 14 und/oder
in der Akte 13 dokumentiert.
[0014] Die im Dokumentationsbereich D durch Doppelpfeile gekennzeichneten Funktionen sind
beispielsweise zur Erfüllung der ISO-Normen 9000-9004. So sind die Funktionen und
Komponenten des Daten-Archivs 14 je nach vorhandener Anlage oder Ausbaustufe integrier-
oder nachrüstbar.
[0015] Die Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild des Pumpstandes für die Herstellung von beispielsweise
zwei Leuchtröhren 9, und zwar das Zusammenwirken von einer Vakuum-Pumpanlage 15 mit
einer Füllgas-Dosieranlage 16.
[0016] Die Vakuum-Pumpanlage 15 umfaßt im wesentlichen eine Vor-Pumpe 17, die über einen
Wellschlauch 18 mit einer Haupt-Pumpe 19 verbunden ist. Vor der Vor-Pumpe 17 ist ein
Auspuff-Filter 20 geschaltet. Die Vor-Pumpe 17 ist beispielsweise eine 2-stufige Drehschieberpumpe,
während die Haupt-Pumpe 19 beispielsweise eine Turbo-Molekular-Pumpe ist. Eine der
Vor-Pumpe 17 zugeordnete Vor-Vakuumanzeige 21 und eine der Haupt-Pumpe. 19 zugeordnete
Haupt-Vakuumanzeige 22 werden jeweils nach Fig. 1 über die Sensorik 4 und die Daten-Erfassung
6 an die Datenverarbeitung 3 gekoppelt, und die Druckkomponenten von dieser gemessen
und überwacht.
[0017] Die von der Datenverarbeitung 3 gemäß Fig. 1 geführte Prozeß-Steuerung 7 betätigt
über die geeigneten Stellglieder 5 nicht nur die ferngesteuerten Ventile, sondern
auch die Vor-Pumpe 17 und die Haupt-Pumpe 19, was wahlweise auch im Verbund mit einem
in einem Bypass angeordneten Eck-Ventil 23 erfolgen kann. Ein mit einem zusätzlichen
Stell-Motor 24 ausgestattetes, elektromagnetisch betätigtes Eck-Ventil 25 mit variablem
Leitwert ist vorgesehen, welches vorteilhaft eine feinfühlige Regelung des Gasdruckes
in den Leuchtröhren 9 während der erforderlichen Ausheizphasen ermöglicht. Zwischen
dem Eckventil 25 und der Haupt-Pumpe 19 ist ein Flut-Ventil 26 geschaltet, welches
der Haupt-Pumpe zugeordnet ist.
[0018] Der Pumpstand weist eine linke und eine rechte Arbeitsplatte Al, Ar auf und ist jeweils
mit einem Anschluß 27 für die Pumpstengel der Leuchtröhren 9 versehen. Die nicht aktiven
Arbeitsplatten werden mittels Absperr-Ventil 57 vom Pumpstand getrennt. Die Pumpstengel
werden vakuumdicht an einen Glasrechen angeschlossen, d. h. angeschmolzen. Zum Anblasen
der Elektroden-Pumpstengel der Leuchtröhren 9 an die Glasrechen für die linke bzw.
rechte Arbeitsplatte dienen jeweils handbediente Ventile 28. Die Handventile 28 können
entfallen, wenn anstelle des Anschmelzens der Pumpstengel an die Glasrechen vorteilhafte
Steckverbindungen vorgesehen werden (im Blockschaltbild nicht dargestellt). Diese
Steckverbindungen bestehen aus der Kombination von festen und weichen Bauelementen
und ziehen sich selbsttätig beim Pumpvorgang aufgrund der Druckdifferenz dicht.
[0019] Vorteilhafterweise können weitere Arbeitsplatten angeordnet werden. Ferner können
auf den Arbeitsplatten Ar, Al jeweils mehr als eine Leuchtröhre 9 angeschlossen werden.
[0020] Zum Schutz gegen Überdruck in den Pumpleitungen und in den Leuchtröhren bei einer
eventuellen Havarie des Regel-Ventils 29 in der Füllgas-Dosieranlage 16 bzw. der Anschluß-Ventile
30, dient ein Sicherheits-Ventil 32 in der Vakuum-Pumpanlage 15.
[0021] In der Füllgas-Dosieranlage 16 sind Füllgas-Druck-Dosen 33 mit einem Neon/Argon-Gemisch
vorgesehen, die jeweils mit einem Druck-Manometer 31 versehen sind, wobei diese von
dem Bearbeiter 2 unmittelbar ausgewertet werden.
[0022] Die Anschluß-Ventile 30 können vorteilhaft durch elektromagnetische Ventile ersetzt
werden (im Blockschaltbild nicht dargestellt) und im Verbund mit dem elektromagnetisch
gesteuerten Regel-Ventil 29 zum dosierten Füllen der angeschlossenen Leuchtröhren
9 benutzt werden. Mit 37 ist ein Füll-Manometer bezeichnet, welches mit dem Regel-Ventil
29 zusammenwirkt und vom Bearbeiter 2 unmittelbar ausgewertet wird.
[0023] Als besondere Vorkehrungen gegen ein Durchzünden des Plasmas in Richtung des Pumpstandes
wird vorteilhaft je Arbeitsplatte ein Fänger-Ventil 34 mit einem Sinter-Filter 35
als Durchschlagssicherung vorgeschaltet.
[0024] Die Fig. 3 zeigt das Funktionsdiagramm des Zusammenwirkens zwischen dem Bearbeiter
2, dem Meß-, Steuerungs- und Datenerfassung-Bereich V und der Vakuum-Pumpanlage 15
sowie der Füllgas-Dosieranlage 16. Es stellt ein Schema zur Bedienung und Steuerung
der Vakuumpump- und Füllgas-dosieranlage sowie der Druckmeßkomponenten dar. Die waagerechten
Pfeile B weisen auf die Steuer- und Anzeigeelemente hin, die vom Bearbeiter 2 unmittelbar
bedient und ausgewertet werden, während die von den Stellgliedern 5 ausgehenden Pfeile
F zur Vor-Pumpe 17, Haupt-Pumpe 19 und zu dem Eck-Ventil 25, die Vakuum-Steuerung
durch die Stellglieder darstellen. Die von den Stellgliedern 5 ausgehenden Pfeile
G zeigen die Steuerung der Füllgas-Dosieranlage 16, nämlich des Regel-Ventils 29 und
der vorteilhafterweise elektromagnetisch betätigten Ventile 30a. Von den Vor- und
Hauptvakuumanzeigen 21, 22 gehen die Pfeile E zur Sensorik 4 und zeigen die Druckmessung
der Vakuum-Pumpanlage 15 durch die Sensorik 4. Die Rückmeldung des Stell-Motors 24
an die Sensorik 4 ist mit dem Pfeil R dargestellt. Das Funktionsdiagramm zeigt somit
die Wechselwirkungsmöglichkeiten zwischen der Prozeßsteuerung 7, dem Bearbeiter 2,
der Datenerfassung 6, den Pump- und Füllkomponenten und den zugeordneten Meßsensoren
4 sowie den Stellgliedern 5.
[0025] Die Fig. 4 zeigt das Funktionsdiagramm zur Bedienung und Steuerung der Hochspannungs-
und Stromversorgung für die Ausheizanlage des Meß- und Steuer- sowie Dokumentationssystems
für den Pumpstand. Hierbei ist eine Spannungs- und Stromüberwachung 38, eine Temperatur-Fernüberwachung
39 sowie eine Fängerschaltung 40 in Zusammenwirkung mit der Sensorik 4 vorgesehen.
Während die Meßwerte über die Sensorik 4 der Daten-Erfassung 6 zugeführt werden, erfolgt
die begrenzende Regelung des Arbeitsstroms I(=I
1=I
2) in der Spannungs- und Stromüberwachung 38 mit einer geeigneten Thyristorschaltung.
Eine Zündspannungsvorgabe kann außer durch eine geeignete Wahl des Umspannungsverhältnisses
an einem Hochspannungstransformator 41 (vgl. Fig. 5) auch durch andere elektrische
Maßnahmen sichergestellt werden.
[0026] Die Spannungs- und Stromüberwachung 38 enthält eine hochohmige Spannungsteiler-Schaltung
48 zur Messung der Referenzspannungen U
1 und U
2. Die Temperatur-Fernüberwachung 39 der Glastemperatur T
1(1) und T
2(1) bzw. T
1(r) und T
2 (r) erfolgt mittels einer Infrarotmessung, und die Temperatur der rotglühenden Elektroden
der Leuchtröhren 9 wird durch Messung der Intensität eines gefilterten Bereichs der
Lichtemission ermittelt. Um den erforderlichen Sicherheitsanforderungen bei anliegender
Hochspannung zu genügen, erfolgt die Informationsübertragung über Lichtleiter 43,
beispielsweise mittels Leucht- und Foto-Dioden.
[0027] Die waagrechten Pfeile B weisen auf die Schaltungselemente der Hochspannungs- und
Stromversorgung in der Ausheizanlage hin, welche vom Bearbeiter 2 unmittelbar bedient
und ausgewertet werden.
[0028] Das Ausheizsystem ist als Blockschaltbild in Fig. 5 dargestellt und beinhaltet im
wesentlichen die Hochspannungsversorgung mit regelbarem Strom I, Sicherheitsschaltungen
sowie Hochspannungsmeßeinheiten und -regelelemente. Mit 44 und 45 ist jeweils die
Fängerelektrode für die linke bzw. die rechte Arbeitsplatte zur Herstellung der Leuchtröhren
9 bezeichnet, die mit den Fängerventilen 34 (vgl. Fig. 2) zusammenwirken. Das Auftreten
eines Fängerstroms I
f bei anliegender Fängerspannung U
f in der Fängerschaltung 40 (vgl. Fig. 4) führt über einen Sicherheits-Schutz 46 ebenso
zum Abschalten der Hochspannung wie ein Öffnen von aktivierten Schutz-Kontakten 47.
Die Umschaltung des Zündspannungsbereichs ZB (vgl. Fig. 4) wird nur im stromlosen
Zustand des Primärstromkreises des Hochspannungstrafos 41 zugelassen. Die Doppelbeschaltung
der Meßwiderstände R
m in der Spannungsteilerschaltung 48 erhöht ebenfalls die Schaltungssicherheit. Hierbei
errechnet sich der Faktor F der Spannungsteilung zu F=2RM/R
m bei U
S=F(U
1+U
2). U
S ist die Zündspannungvorgabe. Weiterhin sind im Blockschaltbild nach Fig. 5 bezeichnet
mit: 49 ein Stellpotentiometer für die Fängerspannung U
f, 50 eine Gleichspannungsversorgung für den Fängerstrom I
f, 51 ein Schlüsselschalter, 52 eine AC-Stromversorgung für die Meßgeräte der Vakuum-Pumpanlage
15 und der Füllgas-Dosieranlage 16, der Datenverarbeitung 3 und der Vor- und Haupt-Pumpe
17 und 19, 53 weitere Relaisschalter, 54 eine Leistungs- bzw. Strombegrenzung und
Zündspannungbereichsumschaltung, 55 ein Schutz-Kontakt-Umschalter, 56 ein Hochspannungsumschalter,
57 eine Anzahl Temperatursensoren an den Leuchtröhren 9 auf der rechten bzw. der linken
Arbeitsplatte Ar, Al.
[0029] Durch die Erdung der pumpennahen Elektroden der Leuchtröhren 9 wird vorteilhaft sichergestellt,
daß das Zünden einer Gasentladung in den Pumpleitungen, wie dies bisher bei einer,
bei mehr als zwei oder bei Leuchtröhren mit stark unterschiedlichen Längen leicht
möglich war, nunmehr im Normalbetrieb vermieden wird. Für den Fall eines Lufteinbruches
wird mittels der Fänger-Ventile 34 gesonderte Vorsorge getroffen.
[0030] Gegebenenfalls kann diese Erdung auch durch eine herkömmliche Mittelpunktserdung
der Hochspannungswicklung des Transformators 41 ersetzt werden.
[0031] Die Fig. 6 zeigt das Funktionsdiagramm nach den vorangegangenen Fig. 3 und 4 und
veranschaulicht in zusammengefaßter Form den sensorischen Teil des Pumpstandes mit
der Pump- und Füllgas-Dosieranlage 15, 16 und der Ausheizanlage, und zwar mittels
der Sensorik 4.
[0032] Fig. 7 zeigt das Funktionsdiagramm nach den Fig. 3 und 4 und veranschaulicht in zusammgefaßter
Form den steuernden Teil des Pumpstandes mittels der Stellglieder 5.
[0033] Fig. 8 zeigt ein Funktionsdiagramm nach Fig. 1 der Systemübersicht, und zwar ein
weiteres Ausführungsbeispiel des dokumentierenden Bereiches D. Die in der Figur angegebenen
AD/DA-Wandler mit Relaiskarten können in unterschiedlichster Art und Weise beschaltet
und angesteuert werden.
Bezugzeichenliste
[0034]
| Arbeitsplatz links |
Al |
| Arbeitsplatz rechts |
Ar |
| waagerechte Pfeile |
B |
| Dokumentations-Bereich |
D |
| von der Füllgas-Dosieranlage zur Sensorik ausgehende Pfeile |
E |
| von der Sensorik ausgehende Pfeile |
F; G |
| von der Spannungs- und Stromüberwachung ausgehende Pfeile |
H |
| Fängerstrom |
If |
| Prozeß-Bereich |
P |
| Rückmeldung des Stell-Motors |
R |
| Meßwiderstand |
Rm |
| Referenzspannung |
U1; U2 |
| Fängerspannung |
Uf |
| Zündspannungsvorgabe |
Us |
| Meß-, Steuerungs- und Datenerfassungsbereich |
V |
| Zündspannungs-Bereich |
ZB |
| Fertigungsprozeß |
1 |
| Bearbeiter |
2 |
| programmgesteuerte elektronische Datenverarbeitung |
3 |
| Sensorik |
4 |
| Stellglieder |
5 |
| Daten-Erfassung |
6 |
| Prozeß-Steuerung |
7 |
| Tastatur |
8 |
| Leuchtröhre |
9 |
| Bildschirm |
10 |
| Datenspeicher |
11 |
| Drucker |
12 |
| Akte |
13 |
| Daten-Archiv |
14 |
| Vakuum-Pumpanlage |
15 |
| Füllgas-Dosieranlage |
16 |
| Vor-Pumpe |
17 |
| Wellschlauch |
18 |
| Haupt-Pumpe |
19 |
| Auspuff-Filter |
20 |
| Vor-Vakuumanzeige |
21 |
| Haupt-Vakuumanzeige |
22 |
| Eck-Ventil |
23 |
| Stell-Motor |
24 |
| Eck-Ventil |
25 |
| Flut-Ventil |
26 |
| Anschluß für den Pumpstengel |
27 |
| Handventil |
28 |
| Regel-Ventil |
29 |
| Anschluß-Ventil |
30 |
| Anschluß-Ventil, elektromagnetisch |
30a |
| Druck-Manometer |
31 |
| Sicherheits-Ventil |
32 |
| Füllgas-Druck-Dose |
33 |
| Fänger-Ventil |
34 |
| Sinter-Filter |
35 |
| Bypass |
36 |
| Füll-Manometer |
37 |
| Spannungs- und Stromüberwachung |
38 |
| Temperatur-Fernüberwachung |
39 |
| Fängerschaltung |
40 |
| Hochspannungstransformator |
41 |
| Spannungsteilung |
42 |
| Lichtleiter |
43 |
| Fängerelektrode für linke Arbeitsplatte |
44 |
| Fängerelektrode für rechte Arbeitsplatte |
45 |
| Sicherheits-Schütz |
46 |
| Schutz-Kontakt |
47 |
| Spannungsteilerschaltung |
48 |
| Stellpotentiometer |
49 |
| Gleichspannungsversorgung |
50 |
| Schlüssel-Schalter |
51 |
| AC-Stromversorgung für die Meßgeräte, der Datenverarbeitung und der Vakuumpumpe |
52 |
| weitere Relaisschalter |
53 |
| Leistungs-/Strombegrenzung und Zündspannungsbereichsumschaltung |
54 |
| Schutz-Kontakt-Umschalte |
55 |
| Hochspannungsumschalte |
56 |
| Absperr-Ventil |
57 |