| (19) |
 |
|
(11) |
EP 2 297 772 B1 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
| (45) |
Hinweis auf die Patenterteilung: |
|
15.02.2012 Patentblatt 2012/07 |
| (22) |
Anmeldetag: 15.07.2008 |
|
| (51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
|
| (86) |
Internationale Anmeldenummer: |
|
PCT/EP2008/059220 |
| (87) |
Internationale Veröffentlichungsnummer: |
|
WO 2010/006642 (21.01.2010 Gazette 2010/03) |
|
| (54) |
DIELEKTRISCHE BARRIERE-ENTLADUNGSLAMPE IN KOAXIALER DOPPELROHRANORDNUNG MIT GETTER
DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE LAMP CONFIGURED AS A COAXIAL DOUBLE TUBE HAVING A GETTER
LAMPE À DÉCHARGE À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE DANS UN AGENCEMENT COAXIAL À DOUBLE TUBE
AVEC PIÈGE À GAZ
|
| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
|
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
|
23.03.2011 Patentblatt 2011/12 |
| (73) |
Patentinhaber: OSRAM AG |
|
81543 München (DE) |
|
| (72) |
Erfinder: |
|
- ROSIER, Oliver
51688 Wipperfürth (DE)
- HOMBACH, Axel
51515 Kürten (DE)
|
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 607 960 JP-A- 2002 313 286
|
JP-A- 10 283 994
|
|
| |
|
|
|
|
| |
|
| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
Technisches Gebiet
[0001] Die Erfindung geht aus von einer dielektrischen Barriere-Entladungslampe mit einem
Entladungsgefäß in koaxialer Doppelrohranordnung, d.h. ein Innenrohr ist koaxial innerhalb
eines Außenrohrs angeordnet. Dabei sind Innenrohr und Außenrohr miteinander verbunden
und bilden das gasdichte Entladungsgefäß. Der vom Entladungsgefäß umschlossene Entladungsraum
erstreckt sich also zwischen Innen- und Außenrohr und ist mit einem Entladungsmedium
gefüllt, das typischerweise ein oder mehrere Edelgase, beispielsweise Xenon enthält.
[0002] Diese Art von Entladungslampen weist typischerweise eine erste Elektrode auf, die
innerhalb des Innenrohrs angeordnet ist und eine zweite Elektrode, die auf der Außenseite
des Außenrohrs angeordnet ist. Beide Elektroden befinden sich somit außerhalb des
Entladungsgefäßes. Es handelt sich also um eine zweiseitig dielektrisch behinderte
Entladung.
[0003] In einer dielektrischen Barriere-Entladung mit z.B. dem Edelgas Xenon als Entladungsmedium
werden unter anderem Xenon-Excimere (Xe
2*) erzeugt, die bei der Rückkehr vom angeregten Zustand in den Grundzustand elektromagnetische
Strahlung mit Wellenlängen im Bereich um ca. 172 nm emittieren. Verunreinigungen,
z.B. Sauerstoff oder Wasserstoff, im Entladungsmedium verringern die Effizienz der
Nutzstrahlungserzeugung. Zum einen geht ein Teil der elektrischen Anregungsleistung
in die unerwünschte Anregung der atomaren und/oder molekularen Bestandteile der Verunreinigungen.
Zum anderen bewirken die Verunreinigungen, dass ein Teil der Excimere strahlungslos
in den Grundzustand zurückkehrt.
[0004] Anwendung findet dieser Lampentyp insbesondere für die UV-Bestrahlung in der Prozesstechnik,
beispielsweise für die Oberflächenreinigung und -aktivierung, Photolytik, Ozonerzeugung,
Trinkwasserreinigung, Metallisierung, und UV-Curing. In diesem Zusammenhang ist auch
die Bezeichnung Strahler oder UV-Strahler gebräuchlich.
Stand der Technik
[0005] Die Schrift
EP 0 607 960 A1 offenbart eine dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer Doppelrohranordnung.
Zum Binden von Verunreinigungen ist ein Gettermaterial entweder in einer einseitigen
Verlängerung des ringspaltförmigen Entladungsraumes angeordnet (Fig. 1 - 3), einem
flachen, kreisförmigen Fortsatz des Entladungsgefäßes (Fig. 4) oder in einem separaten
Gefäß (Fig. 5), das mit dem Entladungsraum verbunden ist. In jedem Fall sind Maßnahmen
vorgesehen, um zu verhindern, dass das Gettermaterial unbeabsichtigt in den Entladungsraum
gelangt, beispielsweise indem der Getterraum vom Entladungsraum über einen verengten
Gefäßabschnitt verbunden ist. Problematisch ist allerdings, dass sich aufgrund der
räumlichen Nähe des Getterraums zum Entladungsraum parasitäre Entladungen im Bereich
des Getterraums ausbilden können. Die parasitären Entladungen verschlechtern nämlich
die Effizienz des Strahlers.
Darstellung der Erfindung
[0006] Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine dielektrische Barriere-Entladungslampe
in koaxialer Doppelrohranordnung mit verbesserter Anordnung eines Gettermaterials
bereitzustellen.
[0007] Diese Aufgabe wird gelöst durch eine dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer
Doppelrohranordnung mit einem Entladungsgefäß, das ein Außenrohr und ein Innenrohr
umfasst, wobei das Innenrohr koaxial innerhalb des Außenrohrs angeordnet ist, das
Innenrohr und das Außenrohr gasdicht miteinander verbunden sind, wodurch zwischen
Innen- und Außenrohr ein mit einem Entladungsmedium gefüllter Entladungsraum gebildet
ist, einer Außenelektrode, die auf der Außenseite des Außenrohrs angeordnet ist, einer
Innenelektrode, die innerhalb des Innenrohrs angeordnet ist, einem Gettermaterial,
das mit dem Entladungsmedium in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, dass das Innenrohr
kürzer als das Außenrohr ist, das Innenrohr und das Außenrohr an ihrem jeweiligen
einen Ende miteinander gasdicht verbunden sind, das Außenrohr an seinem anderen Ende
gasdicht verschlossen ist, das in das Außenrohr hineinragende Innenrohr Folgendes
umfasst: einen ersten Rohrabschnitt - das Innenelektrodenrohr -, in dem die Innenelektrode
angeordnet ist, einen zweiten Rohrabschnitt - das Getterrohr -, in dem das Gettermaterial
angeordnet ist, eine Trennwand, die die beiden Rohrabschnitte gasdicht voneinander
trennt.
[0008] Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.
[0009] Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, dass der Getterraum auf einen achsnahen
Bereich beschränkt ist, d.h. nicht in der Verlängerung des ringspaltförmigen Entladungsraums
angeordnet ist. Zu diesem Zweck schließt sich erfindungsgemäß ein für die Aufnahme
des Gettermaterials vorgesehenes Getterrohr an das für die Aufnahme der Innenelektrode
vorgesehene Innenelektrodenrohr koaxial an, ist von diesem aber durch eine Trennwand
gasdicht getrennt. Dadurch ist der Weg vom Gettermaterial zu den Außenelektroden relativ
lang. Durch den langen Weg zwischen Gettermaterial und Elektroden werden parasitäre
Entladungen vermieden oder zumindest deutlich reduziert. Durch die Trennwand zwischen
Getterrohr und Innenelektrodenrohr ist der durch das Getterrohr gebildete Getterraum
und folglich auch der mit dem Getterraum über die Getterrohröffnung in Verbindung
stehende Entladungsraum nach Außen gasdicht abgeschlossen.
[0010] Das Getterrohr kann dadurch ausgebildet sein, dass das Innenrohr über die Länge der
Innenelektrode hinaus verlängert ist. Dabei ist der für die Aufnahme des Gettermaterials
vorgesehene Rohrabschnitt vom Rest des Innenrohrs mittels einer separat eingesetzten
und eingeschweißten Trennwand gasdicht getrennt. Mit anderen Worten sind in diesem
Fall das den Getterraum bildende Getterrohr und das die Innenelektrode aufnehmende
Innenelektrodenrohr funktional unterschiedliche und durch die Trennwand getrennte
Abschnitte des selben einteiligen Innenrohrs.
[0011] Alternativ kann das Getterrohr durch ein separates Rohr ausgebildet sein, das sich
an das in das Außenrohr hineinragende Ende des Innenelektrodenrohrs anschließt, d.h.
das Innenrohr umfasst in diesem Fall zwei separate Rohrteile: nämlich das Innenelektrodenrohr
und das Getterrohr. Die die beiden Rohrteile gasdicht trennende Trennwand ist durch
ein entsprechendes gasdicht verschlossenes Ende einer der beiden Rohrteile ausgebildet.
D.h. die Trennwand ist beispielsweise durch das gasdicht verschlossene Ende des Innenelektrodenrohrs
(8) ausgebildet, an das das Getterrohr angesetzt und damit gasdicht verbunden wird.
Es kann aber auch umgekehrt erst das Getterrohr an einem Ende verschlossen und dann
mit diesem verschlossenen Ende an das offene Ende des Innenelektrodenrohrs angesetzt
und verbunden werden.
[0012] Außerdem können der Durchmesser des Innenelektrodenrohrs und der Durchmesser des
Getterrohrs gleich oder unterschiedlich sein. Zur sicheren Anordnung des Gettermaterials
kann es auch vorteilhaft sein, das Getterrohr in Richtung Öffnung zu verjüngen.
[0013] Die Länge des Getterrohrs in Achsrichtung ist so abgestimmt, dass eine ausreichende
Menge Gettermaterial aufgenommen werden kann. Andererseits sollte das Getterrohr nicht
zu lang sein, da sonst der strahlende Abschnitt - dieser erstreckt sich nur auf den
Bereich mit der Innenelektrode - bezogen auf die Gesamtlänge des Strahlers zu sehr
reduziert wird. In der Praxis haben sich, je nach Gesamtlänge des Strahlers, für das
Getterrohr Längen im Bereich zwischen ca. 0,5 cm und 5 cm als geeignet erwiesen.
[0014] Das Gettermaterial kann beispielsweise zumindest auf einen Teil der Innenfläche des
Getterrohrs aufgebracht sein, z.B. indem Barium aufgedampft ist. Das Gettermaterial
kann aber auch in anderer Weise im Getterrohr angeordnet sein, beispielsweise in Streifenform
im Getterrohr eingeklemmt oder ähnliches. Neben Barium kommen auch andere geeignete
Gettermaterialien in Betracht, beispielsweise poröse oder pulverige Oxide, Nitride
und Carbide sowie Titan, Tantal, Aluminium, Zirkonium und Kombinationen davon.
[0015] Um den für die Wirkung des Gettermaterials notwendigen Austausch des Entladungsmediums
zwischen Entladungsraum und axialem Getterraum zu fördern, ist vorzugsweise der Durchmesser
der Öffnung des Getterrohrs gleich groß oder größer als der die Schlagweite der Entladung
definierende Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs und der Innenseite des
Außenrohrs.
[0016] Außerdem kann es insbesondere bei langen Rohren zur Unterdrückung von Schwingungen
sowie zur Stabilisierung des Innenrohrs vorteilhaft sein, das freie Ende des Innenrohrs,
beispielsweise im Bereich des Getterrohrs, mit einem geeigneten Mittel, z.B. einer
passenden Haltescheibe zwischen Innen- und Außenrohr abzustützen. Um den Austausch
des Entladungsmediums und folglich die Getterwirkung nicht zu beeinträchtigen, muss
die Haltescheibe aber entsprechende Öffnungen, beispielsweise Bohrungen, Schlitze
oder ähnliches aufweisen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
[0017] Im Folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert
werden. Die Figuren zeigen:
- Fig. 1a
- eine Längsschnittsdarstellung einer erfindungsgemäßen dielektrischen Barriere-Entladungslampe,
- Fig. 1b
- eine Querschnittsdarstellung der Lampe aus Fig. 1a entlang der Schnittlinie AB.
Bevorzugte Ausführung der Erfindung
[0018] In den Figuren werden gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen
versehen.
[0019] Die Figuren 1a, 1b zeigen in stark schematisierter Darstellung einen Längsschnitt
bzw. einen Querschnitt längs der Schnittlinie AB eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen
dielelektrischen Barriere-Entladungslampe 1. Das längliche Entladungsgefäß der Lampe
1 besteht aus einem Außenrohr 2 und einem Innenrohr 3 in koaxialer Doppelrohranordnung,
wodurch die Längsachse L des Entladungsgefäßes definiert ist. Die typische Länge des
Außenrohrs 2 beträgt je nach Anwendung zwischen ca. 10 und 250 cm. Das Außenrohr 2
hat einen typischen Außendurchmesser von 44 mm und eine Wandstärke von 2 mm. Das Innenrohr
3 hat einen typischen Außendurchmesser von 20 mm und eine Wandstärke von 1 mm. Beide
Rohre 2, 3 bestehen aus UV-Strahlung durchlässigem Quarzglas. Außerdem ist das Entladungsgefäß
an seinen beiden Stirnseiten derart verschlossen, dass ein länglicher, ringspaltförmiger
Entladungsraum 4 gebildet ist. Zu diesem Zweck weist das Entladungsgefäß an einem
Ende einen geeignet geformten, ringartigen Gefäßabschnitt 5 auf, der dort die korrespondierenden
Enden von Innen- und Außenrohr verbindet. An seinem anderen Ende ist das Entladungsgefäß
mit einem kreisförmigen Gefäßabschnitt 6 verschlossen, der sich dort an das entsprechende
Ende des Außenrohrs 2 anschließt. Außerdem ist dort ein Pumprohr (nicht dargestellt)
angesetzt, mit dessen Hilfe der Entladungsraum 4 zunächst evakuiert und anschließend
mit 15 kPa Xenon als Entladungsmedium gefüllt wird. Danach wird das Pumprohr abgeschmolzen.
Das Innenrohr 3 endet im Abstand a von ca. 1 cm vor dem kreisförmigen Gefäßabschnitt
6 am Ende des Außenrohrs 2. Das Innenrohr 3 besteht aus einem ersten funktionalen
Abschnitt, der zur Aufnahme einer Innenelektrode 7 dient, dem Innenelektrodenrohr
8. An dieses Innenelektrodenrohr 8 schließt sich ein zweiter funktionaler Abschnitt
an, der zur Aufnahme eines Gettermaterials 9 dient, dem Getterrohr 10. Innenelektrodenrohr
8 und Getterrohr 10 sind durch eine Trennwand 11 getrennt. Diese Trennwand 11 schließt
außerdem das Entladungsgefäß in diesem Bereich des Innenrohrs 3 gasdicht ab. Auf der
anderen Seite ist das Getterrohr 10 offen, so dass das Entladungsmedium aus dem Entladungsraum
4 in das Getterrohr 10 gelangen und mit dem Gettermaterial 9 in Kontakt kommen kann.
Das Gettermaterial 9 besteht aus Barium und ist auf die Innenseite des Getterrohrs
10 einschließlich der zugewandten Seite der Trennwand 11 aufgedampft. Die Länge d
des Getterrohrs 10 beträgt ca. 1 cm. Der Innendurchmesser D beträgt ca. 18 mm und
ist damit größer als die durch den Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs
3 und der Innenseite des Außenrohrs 2 definierte Schlagweite G, die ca. 10 mm beträgt.
Auf der Außenseite der Wand des Außenrohrs 2 ist ein Drahtnetz 12 aufgezogen, das
die Außenelektrode der Lampe 1 bildet. Die Innenelektrode 7 ist als geschlitztes Metallrohr
ausgebildet und besteht aus einem 0,1 mm dicken Metallblech, vorzugsweise VA-Blech.
[0020] Insbesondere bei relativ langen Rohren kann es zur Vermeidungen von Schwingungen
des Innenrohrs vorgesehen sein, das Innenrohr, bevorzugt im Bereich des Getterrohrs,
mit Hilfe einer passenden Haltescheibe abzustützen (nicht dargestellt). Dazu weist
die Haltescheibe eine zentrische Bohrung auf, damit sie auf das Innenrohr passt. Der
Außendurchmesser der Haltescheibe ist außerdem so bemessen, dass die Haltescheibe
gerade zwischen Innen- und Außenrohr passt. Um den Austausch des Entladungsmediums
zwischen Entladungsraum und Getterraum und folglich die Getterwirkung nicht zu beeinträchtigen,
ist die Haltescheibe mit geeigneten Öffnungen, beispielsweise Bohrungen, Schlitzen
etc. versehen.
[0021] Zum Einbau in eine Prozesskammer kann der Strahler zumindest an einem Ende, vorzugsweise
an dem Ende mit der Getterkammer, oder auch an beiden Enden jeweils mit einem Sockel
versehen sein (nicht dargestellt).
1. Dielektrische Barriere-Entladungslampe (1) in koaxialer Doppelrohranordnung mit
o einem Entladungsgefäß, das
- ein Außenrohr (2) und ein Innenrohr (3) umfasst, wobei
- das Innenrohr (3) koaxial innerhalb des Außenrohrs (2) angeordnet ist,
- das Innenrohr (3) und das Außenrohr (2) gasdicht miteinander verbunden sind, wodurch
zwischen Innen- und Außenrohr ein mit einem Entladungsmedium gefüllter Entladungsraum
(4) gebildet ist,
o einer Außenelektrode (12), die auf der Außenseite des Außenrohrs (2) angeordnet
ist,
o einer Innenelektrode (7), die innerhalb des Innenrohrs (2) angeordnet ist,
o einem Gettermaterial (9), das mit dem Entladungsmedium in Kontakt steht,
dadurch gekennzeichnet, dass
o das Innenrohr (3) kürzer als das Außenrohr (2) ist,
o das Innenrohr (3) und das Außenrohr an ihrem jeweiligen einen Ende miteinander gasdicht
verbunden sind,
o das Außenrohr (2) an seinem anderen Ende gasdicht verschlossen ist,
o das in das Außenrohr (2) hineinragende Innenrohr (3) Folgendes umfasst:
- einen ersten Rohrabschnitt - das Innenelektrodenrohr (8) -, in dem die Innenelektrode
(7) angeordnet ist,
- einen zweiten Rohrabschnitt - das Getterrohr (10) -, in dem das Gettermaterial (9)
angeordnet ist,
- eine Trennwand (11), die die beiden Rohrabschnitte gasdicht voneinander trennt.
2. Lampe nach Anspruch 1, wobei das Innenrohr (3) mit den beiden Rohrabschnitten Innenelektrodenrohr
(8) und Getterrohr (10) einteilig ist.
3. Lampe nach Anspruch 1, wobei das Getterrohr (10) durch ein separates Rohr ausgebildet
ist, das sich an das in das Außenrohr (2) hineinragende Ende des Innenelektrodenrohrs
(8) koaxial anschließt und wobei die Trennwand (11) durch das entsprechende gasdicht
verschlossene Ende des Getterrohrs (10) oder des Innenelektrodenrohrs (8) ausgebildet
ist.
4. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Durchmesser der Öffnung (D)
des Getterrohrs (10) gleich groß oder größer ist als der die Schlagweite (G) der Entladung
definierende Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs (3) und der Innenseite
des Außenrohrs (2).
5. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zumindest ein Teil der Innenfläche
des Getterrohrs (10) mit Gettermaterial versehen ist.
6. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Durchmesser des Innenelektrodenrohrs
(8) und des Getterrohrs (10) unterschiedlich sind.
7. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Länge des Getterrohrs (10)
in Längsachsrichtung des Entladungsgefäßes im Bereich zwischen 0,5 cm und 5 cm liegt.
8. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Innenrohr mit Hilfe eines Haltemittels
abgestützt ist.
9. Lampe nach Anspruch 8, wobei das Haltemittel im Bereich des Getterrohrs angeordnet
ist.
10. Lampe nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei das Haltemittel eine ringförmige Haltescheibe
ist, die sich zwischen der Außenseite des Innenrohrs und der Innenseite des Außenrohrs
erstreckt.
11. Lampe nach Anspruch 10, wobei die Haltescheibe neben einer zentrischen Bohrung mindestens
eine weitere Öffnung aufweist.
12. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Gettermaterial die folgenden
Elemente einzeln oder in Kombination umfasst: poröse oder pulverige Oxide, Nitride
und Carbide sowie Barium, Titan, Tantal, Aluminium, Zirkonium.
1. Dielectric barrier discharge lamp (1) with a coaxial double-tube arrangement with
o a discharge vessel, which
- comprises an outer tube (2) and an inner tube (3), wherein
- the inner tube (3) is arranged coaxially within the outer tube (2),
- the inner tube (3) and the outer tube (2) are connected to one another in a gas-tight
manner, as a result of which a discharge space (4) filled with a discharge medium
is formed between the inner and outer tubes,
o an outer electrode (12), which is arranged on the outside of the outer tube (2),
o an inner electrode (7), which is arranged within the inner tube (2),
o a getter material (9), which is in contact with the discharge medium,
characterized in that
o the inner tube (3) is shorter than the outer tube (2),
o the inner tube (3) and the outer tube are connected to one another in a gas-tight
manner at one of their respective ends,
o the outer tube (2) is sealed in a gas-tight manner at its other end,
o the inner tube (3), which protrudes into the outer tube (2), comprises the following:
- a first tube section, the inner electrode tube (8), in which the inner electrode
(7) is arranged,
- a second tube section, the getter tube (10), in which the getter material (9) is
arranged,
- a dividing wall (11), which separates the two tube sections from one another in
a gas-tight manner.
2. Lamp according to Claim 1, wherein the inner tube (3) with the two tube sections,
the inner electrode tube (8) and the getter tube (10), is formed as one part.
3. Lamp according to Claim 1, wherein the getter tube (10) is formed by a separate tube
which coaxially adjoins that end of the inner electrode tube (8) which protrudes into
the outer tube (2), and wherein the dividing wall (11) is formed by the corresponding
end, which is sealed in a gas-tight manner, of the getter tube (10) or the inner electrode
tube (8).
4. Lamp according to one of the preceding claims, wherein the diameter of the opening
(D) of the getter tube (10) is equal to or greater than the distance between the outer
side of the inner tube (3) and the inner side of the outer tube (2), which distance
defines the flashover path (G) of the discharge.
5. Lamp according to one of the preceding claims, wherein at least part of the inner
surface of the getter tube (10) is provided with getter material.
6. Lamp according to one of the preceding claims, wherein the diameters of the inner
electrode tube (8) and the getter tube (10) are different.
7. Lamp according to one of the preceding claims, wherein the length of the getter tube
(10) in the direction of the longitudinal axis of the discharge vessel is in the range
between 0.5 cm and 5 cm.
8. Lamp according to one of the preceding claims, wherein the inner tube is supported
with the aid of a holding means.
9. Lamp according to Claim 8, wherein the holding means is arranged in the region of
the getter tube.
10. Lamp according to either of Claims 8 and 9, wherein the holding means is an annular
holding disk, which extends between the outer side of the inner tube and the inner
side of the outer tube.
11. Lamp according to Claim 10, wherein the holding disk has, in addition to a central
bore, at least one further opening.
12. Lamp according to one of the preceding Claims, wherein the getter material comprises
the following elements individually or in combination: porous or pulverulent oxides,
nitrides and carbides as well as barium, titanium, tantalum, aluminum, zirconium.
1. Lampe à décharge à barrière diélectrique (1) dans un agencement coaxial à double tube
avec
o une enceinte de décharge qui comprend
- un tube extérieur (2) et un tube intérieur (3),
- le tube intérieur (3) étant agencé coaxialement à l'intérieur du tube extérieur
(2),
- le tube intérieur (3) et le tube extérieur (2) étant reliés entre eux de manière
étanche au gaz, formant ainsi un espace de décharge (4) entre les tubes intérieur
et extérieur, qui est rempli d'un milieu de décharge,
o une électrode extérieure (12) qui est agencée sur la face externe du tube extérieur
(2),
o une électrode intérieure (7) qui est agencée à l'intérieur du tube intérieur (2),
o un matériau getter (9) qui est en contact avec le milieu de décharge,
caractérisée en ce que
o le tube intérieur (3) est plus court que le tube extérieur (2),
o le tube intérieur (3) et le tube extérieur sont reliés entre eux de manière étanche
au gaz à l'une de leurs extrémités respectives,
o le tube extérieur (2) est obturé de manière étanche au gaz à son autre extrémité,
o le tube intérieur (3) pénétrant dans le tube extérieur (2) comprend :
- un premier tronçon tubulaire - le tube d'électrode intérieur (8) - dans lequel est
agencée l'électrode intérieur (7),
- un deuxième tronçon tubulaire - le tube getter (10)
- dans lequel est agencé le matériau getter (9),
- une cloison de séparation (11) qui sépare les deux tronçons tubulaires l'un de l'autre
de manière étanche au gaz.
2. Lampe selon la revendication 1, dans laquelle le tube intérieur (3) avec les deux
tronçons tubulaires - le tube d'électrode intérieur (8) et le tube getter (10) - est
formé d'une seule pièce.
3. Lampe selon la revendication 1, dans laquelle le tube getter (10) est réalisé par
un tube séparé qui est coaxialement adjacent à l'extrémité du tube d'électrode intérieure
(8) pénétrant dans le tube extérieur (2), et dans laquelle la cloison de séparation
(11) est réalisée par l'extrémité correspondante obturée de manière étanche au gaz
du tube getter (10) ou du tube d'électrode intérieure (8).
4. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le diamètre de l'ouverture
(D) du tube getter (10) est de même dimension ou plus grand que l'intervalle définissant
la distance d'isolement (G) de la décharge entre la face externe du tube intérieur
(3) et la face interne du tube extérieur (2).
5. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle au moins une partie
de la surface interne du tube getter (10) est munie du matériau getter.
6. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle les diamètres du tube
d'électrode intérieur (8) et du tube getter (10) sont différents.
7. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la longueur du tube
getter (10) dans le sens de l'axe longitudinal de l'enceinte de décharge est comprise
entre 0,5 cm et 5 cm.
8. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le tube intérieur
est supporté à l'aide d'un moyen de retenue.
9. Lampe selon la revendication 8, dans laquelle le moyen de retenue est disposé dans
la zone du tube getter.
10. Lampe selon l'une des revendications 8 ou 9, dans laquelle le moyen de retenue est
un disque de retenue de forme annulaire qui s'étend entre la face externe du tube
intérieur et la face interne du tube extérieur.
11. Lampe selon la revendication 10, dans laquelle le disque de retenue présente outre
un perçage centré au moins une autre ouverture.
12. Lampe selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le matériau getter
comprend les éléments suivants, seuls ou en combinaison : oxydes poreux ou pulvérulents,
nitrures et carbures ainsi que baryum, titane, tantale, aluminium, zirconium.

IN DER BESCHREIBUNG AUFGEFÜHRTE DOKUMENTE
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde ausschließlich zur Information
des Lesers aufgenommen und ist nicht Bestandteil des europäischen Patentdokumentes.
Sie wurde mit größter Sorgfalt zusammengestellt; das EPA übernimmt jedoch keinerlei
Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
In der Beschreibung aufgeführte Patentdokumente