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(11) | EP 2 071 186 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb |
(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1; 201) mit einer gegen Atmosphäre verdichtenden
Endpumpstufe(2; 214) und einer Kühlvorrichtung (7; 207) und ein Verfahren zum Betrieb
einer solchen Vakuumpumpe. Um größere Dampfanteile in Gas-Dampf-Gemischen fördern,
schlägt die Erfindung vor, dass die Vakuumpumpe eine Betriebselektronik (8; 208) zur
Stellung der Kühlmenge der Kühlvorrichtung und einen mit der Betriebselektronik verbundenen
Temperaturfühler (13; 213) aufweist. Das Verfahren sieht vor, dass eine Temperatur
gemessen, anschließend die notwendige Kühlung ermittelt und dann die ermittelte Kühlung
eingestellt wird.
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