[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reduzierung der Bildung von Fluorcarbonen
bei einer Schmelzflusselektrolyse nach dem Patentanspruch 1.
[0002] Viele Metalle beispielsweise das Aluminium oder auch die sogenannten Seltenerdelemente
werden in einer Schmelzflusselektrolyse in Reinform dargestellt. Dabei wird ein Elektrolyt,
häufig ein Fluorid auf eine Schmelztemperatur gebracht und in diese Elektrolytschmelze
wird eine Verbindung, in der Regel ein Oxid, des zu reduzierenden Metalls eingebracht.
Ferner existieren zwei Elektroden, eine Anode, die in der Regel von oben in das Elektrolysebad
hineinreicht, und aus Graphit besteht sowie eine Kathode, die beispielsweise aus Wolfram
oder Molybdän bestehen kann und an einer anderen Stelle in das Elektrolysebad hineinragt.
Es ist auch durchaus zweckmäßig, dass sogenannte Bodenkathoden verwendet werden, die
in Form von Platten auf den Boden des Schmelzbades angeordnet sind. An den Kathoden
werden die Kationen des darzustellenden Metalls reduziert und fallen als flüssiges
Metall an, denn die Betriebstemperatur ist so eingestellt, dass sie über den Schmelzpunkt
des jeweiligen darzustellenden Metalls liegt. An der Anode werden die Sauerstoffanionen
oxidiert und reagieren mit dem Kohlenstoff der Graphitanode zu Kohlenmonoxid oder
Kohlendioxid. Die gasförmigen Reaktionsprodukte verlassen den Elektrolyten und gehen
in ein Abgas über. Wird eine kritische Anodenstromdichte überschritten, oder verarmt
der Elektrolyt an Sauerstoff, kann es auch zur Bildung von Fluorcarbonen, beispielsweise
CF
4 kommen, die eine passivierende Schicht an der Anode ausbilden. Der dadurch resultierende
Zusammenbruch der elektrischen Leitfähigkeit wird als sogenannter Anodeneffekt bezeichnet.
[0003] In der Veröffentlichung "
Die Reduktion von Treibhausgasen in der Elektrolyse" von Martin Iffert et al. In ERZMETALL
55 (2002), Nr. 8, werden die Behandlung von derartigen Anodeneffekten in der Aluminiumherstellung
beschrieben. Diese Schrift zeigt verschiedene Strategien zum sogenannten Löschen derartiger
Anodeneffekte. Es wird beschrieben, dass die Erfolgsquote durch die sogenannten Löschstrategien
zum Löschen von Anodeneffekten in der Schmelzflusselektrolyse von 60 % auf 95 % gesteigert
werden konnte. Das Problem an der beschriebenen Technik ist jedoch, dass zunächst
abgewartet wird, bis Anodeneffekte auftreten und anschließend versucht wird diese
durch geeignete Methoden zu löschen.
[0004] Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren bereitzustellen, das dazu
geeignet ist, das Auftreten von Anodeneffekten zu unterbinden.
[0005] Eine Lösung dieser Aufgabe besteht in einem Verfahren nach Patentanspruch 1.
[0006] Das erfindungsgemäße Verfahren gemäß Anspruch 1 umfasst ein Verfahren zur Reduzierung
der Bildung von Fluorcarbonen bei einer Schmelzflusselektrolyse von Metallverbindungen,
wobei ein Sensor zur Messung der Konzentration eines Fluorcarbons im Abgas vorgesehen
ist. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Messung in Zeitintervallen
von weniger als 10 s erfolgt und eine Regelungsvorrichtung vorgesehen ist, durch die
eine Reduzierung einer Elektrolysespannung eingeleitet wird, wenn ein Fluorcarbongrenzwert
von 100 ppm (parts per million) überschritten wird.
[0007] Gegenüber dem Stand der Technik wird in der vorgeschlagenen Lösung das Zeitintervall
zur Messung der Fluorcarbone im Abgas nochmal deutlich verkürzt. Hierbei wird mindestens
alle 10 s eine Messung der Fluorcarbone im Abgas vorgenommen, und es wird ein sehr
niedriger Grenzwert von 100 ppm, bevorzugt 10 ppm, besonders bevorzugt 1 ppm festgelegt,
bei dem noch vor Auftreten von Anodeneffekten Gegenmaßnahmen eingeleitet werden. Im
Gegensatz zum beschriebenen Stand der Technik ist es durch das beschriebene Verfahren
möglich, Anodeneffekte noch vor ihrem Auftreten zu unterbinden. Hierzu ist es notwendig,
das Messintervall zur Messung der Fluorcarbonkonzentration möglichst kurz zu halten,
hierbei wäre eine Echtzeitmessung der Idealfall. Da jede derzeit einsetzbare Messmethode
eine gewisse Totzeit umfasst, kann lediglich von einer quasi Echtzeitmessung gesprochen
werden. Insbesondere ist es zweckmäßig, das Zeitintervall zur Messung von Fluorcarbonen
geringer als 2 s, bevorzugt geringer als 1 s und ganz besonders bevorzugt geringer
als eine 0,5 s anzusetzen. Bei den derzeit existierenden technischen Möglichkeiten
zur Messung von Fluorcarbonen wird bei einem Zeitintervall von 10 s von einer quasi
Echtzeitmessung gesprochen. Ferner wird ein Fluorcarbongrenzwert angenommen, der bei
25 ppm liegt. Es hat sich herausgestellt, dass sich bei einem derartig niedrigen Grenzwert,
der messtechnisch erfassbar ist, keine Anodeneffekte einstellen. Hier kann es auch
zweckmäßig sein, diesen Grenzwert niedriger zu wählen, beispielsweise 1 ppm, um noch
früher der Entwicklung von Anodeneffekten vorzubeugen.
[0008] Es ist zweckmäßig, anders als dies im Stand der Technik beschrieben ist, die Fluorcarbonkonzentration
an mehreren Stellen über der Schmelzoberfläche zu messen, da Anodeneffekte an sehr
unterschiedlichen Stellen spontan auftreten können. Außerdem sollte die Messung möglichst
nahe an der Schmelzoberfläche erfolgen, 50 cm sind hierbei zweckmäßig. Je näher die
Messsonde oder der Sensor an der Oberfläche herangeführt werden kann, umso schneller
kann auf gemessenes Fluorcarbon reagiert werden, und Gegenmaßnahmen zur Verhinderung
der Anodeneffekte können eingeleitet werden.
[0009] Im Folgenden wird unter einer Zelle eine abgeschlossene Einheit verstanden, die einen
zusammenhängenden Elektrolyten aufweist und in der eine Elektrolysereaktion abläuft.
Im Sinne der Erfindung ist es zweckmäßig für jede Zelle genau eine Messstelle vorzusehen.
Bei größeren Zellen, die mit einer Elektrolysestromstärke von 10 kA oder mehr betrieben
werden, ist es zweckmäßig, mehrere Messstellen pro Zelle vorzusehen. In diesem Fall
ist es besonders vorteilhaft mindestens zwei Messzellen pro Zelle, jedoch maximal
eine Messstelle pro Anode vorzusehen. Eine Anode ist hierbei eine Elektrodeneinheit,
die in den Elektrolyten hineinragt und unabhängig von den anderen Anoden in der Zelle
bewegt bzw. ausgetauscht werden kann.
[0010] Durch Eintauchen der Anode in die Schmelze und durch eine höhere Oxiddosierung kann
ebenfalls ein Anodeneffekt bereits vor dseinem Auftreten unterbunden werden.
[0011] Weitere Ausgestaltungsformen und weitere Merkmale der Erfindung werden anhand der
folgenden Figuren näher erläutert. Dabei handelt es sich um rein exemplarische Ausgestaltungsformen,
die keine Einschränkung des Schutzbereiches darstellen.
[0012] Dabei zeigen
- Figur 1
- eine Messkurve zur Veranschaulichung von Anodeneffekten als Funktion des Stromes von
der Elektrolysespannung,
- Figur 2
- eine schematische Darstellung einer Schmelzelektrolysevorrichtung mit einer Vorrichtung
zur Vermeidung von Anodeneffekten.
[0013] Im Folgenden soll die technische Gewinnung von Metallen durch Schmelzflusselektrolyse
am Beispiel von sogenannten Seltenerdmetallen genau beschrieben werden. Ähnliche Verfahren
werden auch in der Aluminiumherstellung angewandt. Der hierbei verwendete Elektrolyseprozess
setzt sich aus mehreren Prozessschritten zusammen. Zunächst besteht ein Elektrolyt
in der Regel aus Fluoriden. Die Hauptbestandteile sind dabei Lithiumfluorid und ein
Seltenerdfluorid. Das Seltenerdfluorid sollte aus der Seltenen Erde bestehen, die
elektrolytisch in metallischer Form erzeugt werden soll. Beimischungen anderer Alkali-
oder Erdalkalifluoride sind ebenso möglich. Der Elektrolyt wird hinsichtlich des Schmelzpunkts,
des Dampfdrucks und der Leitfähigkeit sowie der Löslichkeit für den Elektrolyserohstoff
und der Dichte eingestellt. Der Elektrolyt befindet sich in einem geeigneten Tiegel,
der in der Regel aus Kohlenstoff besteht. Er kann aber auch aus anderen beständigen
Materialien bestehen. Der Tiegel hat bei der gängigen 3 kA- und 4 kA-Technologie eine
runde Form und einen Durchmesser von unter 1 m. Der Tiegel ist nochmals mit Feuerfestmaterial
zugestellt und von einer Stahlwand umgeben. In größeren Zellen, die mit bis zu 30
kA Strom gespeist werden, ist die Zelle typischerweise in Rechteckform ausgelegt und
durchaus in mehreren Meter Länge ausgeführt. In das Elektrolysebad ragen senkrecht
von oben Anoden 12 (vgl. Figur 2) in den Elektrolyten hinein. Die Anoden 12 bestehen
aus Graphit oder geeignetem Kohlenstoffmaterial und sie können als Blöcke oder als
Kreissegmente eingesetzt werden. Eine Kathode besteht bevorzugt aus Wolfram oder Molybdän
und weist verschiedene Bauformen auf. Dabei können die Kathoden stabförmig sein und
zwischen den Anoden 12 in den Elektrolyten eingetaucht sein. Eine weitere Ausführungsform,
wie sie in Figur 2 veranschaulicht ist, und in der Seltenerdelektrolyse Anwendung
findet, ist eine sogenannte Bodenkathode 14. Hierbei wird nicht wie gewöhnlich von
oben die Stabkathode senkrecht abgesenkt, vielmehr liegen diese Bodenkathoden 14 in
Form von Wolframplatten auf einem Elektrolysezellenboden. In dieser Bodenvariante
wird die Bodenkathode 14 durch das erzeugte Metall bedeckt. Das flüssige Seltenerdmetall
fungiert dann ebenfalls als Kathode.
[0014] In den Elektrolyten werden Seltenerdverbindungen chargiert. In diesem Zustand wird
diese in Figur 2 als Schmelze 24 bezeichnet. Bei den Seltenerdverbindungen handelt
es sich vorzugsweise um Seltenerdoxide, es können aber auch Carbonate oder andere
passende Seltenerdverbindungen zugeführt werden. Seltenerdoxide sind in vielen Fällen
die Endprodukte der direkt vor der Elektrolyse ablaufenden Separationsprozesse, so
dass sich diese als Elektrolysestoff eignen. Diese Verbindung muss sich mit im Elektrolyten
lösen, wobei Seltenerdfluoride nur wenige Prozent Seltenerdoxide lösen. Die gelösten
Seltenerdoxide liegen als Ionen im Elektrolyten vor. An der Bodenkathode 14 werden
die Seltenerdkationen reduziert und fallen als flüssiges Metall an, denn die Betriebstemperatur
liegt über dem Schmelzpunkt des jeweiligen Seltenerdmetalls. An der Anode werden die
Sauerstoffionen oxidiert und reagieren mit dem Kohlenstoff des Graphits an der Graphitanode
11 zu Kohlendioxid oder Kohlenmonoxid. Die gasförmigen Reaktionsprodukte verlassen
den Elektrolyten und gehen ins Abgas. Wird eine kritische Anodenstromdichte überschritten,
oder verarmt der Elektrolyt an Sauerstoff, kann es auch zur Bildung von Fluorcarbonen,
insbesondere CF
4 oder C
2F
6 kommen, die eine passivierende Schicht ausbilden. Der dadurch resultierende Zusammenbruch
der elektrischen Leitfähigkeit wird als Anodeneffekt bezeichnet. Vor dem Auftreten
des Anodeneffektes, der zum Einbruch der Elektrolyse führt, werden bereits Fluorcarbone
in Form von CF
4 und in Spuren nach C
2F
6 emittiert, da es durch den Mangel an Sauerstoff-Anonen zur Oxidation von Fluor-Anionen
kommt. Hier liegt ein Problem in der Prozessführung der Schmelzelektrolyse an sich,
da die beschriebenen Fluorcarbone ausgesprochen starke Treibhausgase sind, die das
Kohlendioxid in ihrer Wirkung um ein Mehrtausendfaches übersteigen.
[0015] Sind bereits Anodeneffekte aufgetreten, so sind diese nur schwer wieder in Griff
zu bekommen. Der Stand der Technik lehrt einige Methoden, wie dies bewerkstelligt
werden kann. In dieser Zeit, in der die Anodeneffekte gelöscht werden, tritt jedoch
eine nicht unerhebliche Menge an Fluorcarbonen aus und wird in die Atmosphäre geleitet.
Daher ist es zweckmäßig, den Schmelzelektrolyseprozess so zu steuern, dass bereits
vor Auftreten diese Anodeneffekte geeignete Maßnahmen eingeleitet werden können, so
dass diese Anodeneffekte vollständig unterbleiben.
[0016] In Figur 1 sind zwei Graphen in einem Diagramm dargestellt, wobei das Diagramm eine
linke Y-Achse 30 aufweist, in der die Konzentration an Fluorcarbon aufgetragen ist
und einer rechten Y-Achse 32 aufweist, in der die Stromstärke qualitativ aufgetragen
ist, die durch das Schmelzelektrolysebad fließt. Auf der X-Achse ist die Elektrolysespannung
10 aufgetragen. Die Kurve 36 zeigt somit die Fluorcarbonkonzentration als Funktion
der Elektrolysespannung. Die Kurve 34 zeigt die Stromstärke ebenfalls als Funktion
der Elektrolysespannung. In Figur 1 ist zu erkennen, dass die Stromstärke kontinuierlich
ansteigt, bis zu einem Bereich 35 bei dem es sich um sogenannte fluktuierende Anodeneffekte
handelt, in diesen steigt und fällt die Stromstärke sehr plötzlich und sehr stark
an bzw. fällt ab bis schließlich im Bereich 37 die Stromstärke auf annähernd 0 zurückgegangen
ist. Dieser Bereich 37 wird als vollständiger Anodeneffekt bezeichnet.
[0017] Die Kurve 36, die die Konzentration der Fluorcarbone in Abhängigkeit der Elektrolysespannung
10 zeigt, lehrt jedoch, dass die höchste Konzentration an Fluorcarbone bereits vor
den Anodeneffekten auftreten. Dies ist insbesondere im Bereich 38 der Fall. Die Figur
1, insbesondere die Zusammenschau der Kurven 34 und 36 lehren, dass bei Auftreten
von klassischen Anodeneffekten in den Bereichen 35 und 37 der größte Teil an umweltschädlichen
Fluorcarbonen bereits ins Abgas und somit in die Umwelt gelangt sind. An der Strom-Spannungs-Kurve
34 alleine ist das Auftreten der Fluorcarbone jedoch nicht durch Auffälligkeiten ablesbar.
Es ist daher zweckmäßig, schon deutlich vor Auftreten des Anstiegs von Fluorcarbonen
in der Kurve 36 geeignete Gegenmaßnahmen einzuleiten. Hierzu werden in möglichst kurzen
Zeitintervallen möglichst kürzer als 10 s, Messungen der Fluorcarbonkonzentrationen
vorgenommen. Dieser Messungen können beispielsweise photoakustisch oder durch eine
Infrarottechnologie erfolgen. Dabei ist es zweckmäßig, eine quasi kontinuierliche
Messung durchzuführen. Die Messung sollte so schnell erfolgen, wie dies technisch
und ökonomisch möglich ist, da der Anstieg der Kurve 36 im Bereich 38 sehr schnell
von statten gehen kann. Wenn ein bestimmter Grenzwert, beispielsweise 25 ppm an der
Konzentration von Fluorcarbon überschritten ist, wird als Gegenmaßnahme die Elektrolysespannung
10 oder auch die Elektrolysestromstärke, wenn die Elektrolysezelle geregelt nach der
Stromstärke betrieben wird, herabgesetzt. Diese Herabsetzung erfolgt deutlich bevor
Anodeneffekte eintreten, wie sie beispielsweise im Bereich 35 oder 37 dargestellt
sind. Anodeneffekte und ein erhöhter Ausstoß an Fluorcarbonen werden durch diese Maßnahme
vermieden.
[0018] In Figur 2 ist eine schematische Vorrichtung einer Schmelzflusselektrolyse 2 dargestellt.
Die beschriebene Abgasanalyse kann im Prinzip mit gängigen Gasanalyseverfahren aus
dem Stand der Technik z.B. mit Gaschromatographen durchgeführt werden. Vorteilhaft
wird jedoch ein Infrarotspektrometer z.B. ein Fouriertransformations-Infrarotspektrometer
sein, das kontinuierlich auch kleine Konzentrationen aller wichtigen Gaskomponenten
aufzeichnet. Alternativ kann besonders vorteilhaft ein auf dem photoakustischen Effekt
basierendes Gasanalyseverfahren eingesetzt werden, da mit einem solchen besonders
einfach und robuste Sensoren 10 mit einer Empfindlichkeit gegenüber IR-aktiven Molekülen
zur Verfügung stehen. Die für die frühzeitige Erkennung von Anodeneffekten notwendigen
Gaskomponenten CO und CO
2 und C
xF
y-Verbindungen, insbesondere das CF
4 und das C
2F
6, sind IR-aktiv und können daher online in kurzen Messintervallen von nur wenigen
Sekunden, insbesondere weniger als 10 s mit einem Infrarotspektrometer oder einem
photoakustischen Gassensor gemessen werden.
[0019] Alle gemessenen Werte werden von einem zentralen Messwerterfasser 20 (Datenlogger)
aufgezeichnet, der die Messwerte graphisch darstellt. Dieser Messwerterfasser 20 ist
verbunden mit einer Regelungsvorrichtung 8 (Controller) die einen geeigneten Regleralgorithmus
aufweist. Dieser Regelungsvorrichtung 8 regelt in Abhängigkeit der gemessenen Abgaskonzentrationen
den Strom I (Achse 32 in Figur 1) beziehungsweise die Elektrolysespannung 10 (X-Achse
der Figur 1) sowie optional auch einer Oxiddosierungsvorrichtung 16 und gegebenenfalls
auch eine Position der Anode 12 bezüglich ihrer vertikalen Position.
[0020] Dabei wird die Dosierung der zur elektrolysierenden Verbindung je nach Zustand des
Rohstoffs entsprechend als Pulverdosierer oder jede andere gängige Form aus dem Stand
der Technik realisiert. Im Allgemeinen erfolgt eine definierte Dosierung nach Masse
und Zeit. Die Dosierung kann entweder kontinuierlich oder diskontinuierlich ablaufen.
Der effektive Massestrom der Dosierung sollte so hoch gewählt sein, dass der Elektrolyt
nicht an dem jeweiligen Rohstoff verarmt, aber gleichzeitig nicht so hoch sein, dass
keine Übersättigung der Verbindung z.B. an Seltenerdoxid im Elektrolyten stattfindet,
da sonst eine Verschlammung der Schmelzelektrolyse 2 bzw. der Schmelze 24 stattfinden
kann. Der nötige Massenstrom lässt sich aus dem Faradayschen Strom in Kombination
mit der Stromausbeute bestimmen. Alternativ oder unterstützend kann eine Leitfähigkeitsmessung
des Elektrolyten bzw. der Schmelze 24 oder einer Sauerstoffmessung im Elektrolyten
zu diesem Zweck durchgeführt werden.
[0021] Eine weitere Möglichkeit um einen Anodeneffekt entgegen zu wirken ist die Höhenverstellung
der Anode. Ein zunehmendes Eintauchen der Anode führt zu einer größeren Kontaktfläche
mit dem Elektrolyten und damit zu einer geringeren Stromdichte. Die Regelungsvorrichtung
8 kann daher auch mit einer Höhenverstellung der Anode auf die Abgaskonzentration
reagieren.
[0022] Durch die beschriebenen Gegenmaßnahmen, die bei einer Detektion von bereits geringen
Mengen an Fluorcarbonverbindungen eingeleitet werden, wird die Stromdichte an der
Anode erniedrigt und/oder die Sauerstoffkonzentration in der Schmelze 24 erhöht, so
dass einem vollständigen Anodeneffekt, wie er im Bereich 37 gemäß Figur 1 zu erkennen
ist, frühzeitig entgegengewirkt werden kann. Die Wirksamkeit der Gegenmaßnahmen kann
direkt durch das Abfallen der CF-Konzentration überwacht werden.
[0023] Ferner ist es auch zweckmäßig, dass die Regelungsvorrichtung 8 die bei Überschreiten
von vorgegebenen Grenzwerten den Spannungsanstieg begrenzt und somit gleichzeitig
die Stromdichte an der Anode 12 begrenzt. Weiterhin kann eine Oxiddosiervorrichtung
16 angesteuert werden um die Sauerstoffionenkonzentration im Elektrolyten bzw. der
Schmelze 24 zu erhöhen.
[0024] Die in Figur 2 dargestellte Schmelzflusselektrolysevorrichtung 2 weist die bereits
beschriebenen Komponenten auf, wobei die Anode 12 mit einem Shuntwiderstand 18 sowie
einem Gleichrichter 22 noch in Verbindung steht. Der Sensor 4, der zur Messung der
CF-Konzentration dient, sollte möglichst nahe über der Oberfläche der Schmelze 24
angeordnet sein. Dieser sollte so nahe an der Oberfläche sein, wie es prozesstechnisch,
insbesondere temperaturbedingt technisch realisierbar ist. Umso näher der Sensor 4
an der Oberfläche platziert ist, umso früher können auftretende Fluorcarbone detektiert
werden. In Figur 2 sind zwei Sensoren 4 eingezeichnet, grundsätzlich kann bei großen
Anlagen die Verwendung mehrerer Sensoren 4 zweckmäßig sein.
[0025] In Figur 2 kommt als Kathode eine sogenannte Bodenkathode 14 aus Wolfram zum Einsatz,
auf der sich das geschmolzene Seltenerdmetall absetzt und wiederum als Kathode wirkt.
An einem Metallabstich 28 kann das flüssige reduzierte Seltenerdmetall entnommen werden.
1. Verfahren zur Reduzierung der Bildung von Fluorcarbonen bei einer Schmelzflusselektrolyse
(2) von Metallverbindungen, wobei ein Sensor (4) zur Messung der Konzentration eines
Fluorcarbons im Abgas vorgesehen ist,
dadurch gekennzeichnet, dass die Messung in Zeitintervallen von weniger als 10 s erfolgt und eine Regelungsvorrichtung
(8) vorgesehen ist, durch die eine Reduzierung einer Elektrolysespannung (10) und/oder
einer Elektrolysestromdichte an der Anode eingeleitet wird, wenn ein Fluorcarbon-Grenzwert
von 100 ppm überschritten wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung der Fluorcarbon-Konzentration in Intervallen von weniger als 2 s, bevorzugt
in weniger als einer Sekunde besonders bevorzugt in weniger als 0,5 s erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Fluorcarbon-Grenzwert von 10 ppm, besonders bevorzugt von 1 ppm vorgesehen ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messung der Fluorcarbon-Konzentration an mehreren Stellen über einer Schmelzoberfläche
erfolgt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass pro 10 kA, bevorzugt pro 2 kA, besonders bevorzugt pro 1 kA Stromstärke, die an der
Elektrolyseanlage anliegen, eine Messstelle für die Messung der Konzentration von
Fluorcarbonen vorgesehen ist.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung in einer Höhe von weniger als 50 cm, bevorzugt von weniger als 25 cm
über der Schmelzoberfläche erfolgt.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Reaktion auf einen Anstieg der Fluorcarbonkonzentration die Eintauchtiefe der
Anode geändert wird
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Reaktion auf einen Anstieg der Fluorcarbonkonzentration die Dosierung an Oxidionen
erhöht wird.