(19)
(11) EP 2 784 600 A3

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88) Date de publication A3:
20.04.2016  Bulletin  2016/16

(43) Date de publication A2:
01.10.2014  Bulletin  2014/40

(21) Numéro de dépôt: 14162203.5

(22) Date de dépôt:  28.03.2014
(51) Int. Cl.: 
G04B 15/04(2006.01)
G04B 15/14(2006.01)
G04B 17/06(2006.01)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 28.03.2013 CH 6862013

(71) Demandeur: Sercalo Microtechnology Ltd.
9494 Schaan (LI)

(72) Inventeurs:
  • Marxer, Cornel
    2000 Neuchâtel (CH)
  • Robert, Jean-Philippe
    1525 Henniez (CH)

(74) Mandataire: Riederer Hasler & Partner Patentanwälte AG 
Elestastrasse 8
7310 Bad Ragaz
7310 Bad Ragaz (CH)

   


(54) Procédé de fabrication d'une pièce micro-mécanique essentiellement plane, et pièce micro-mécanique comportant au moins une portion formée d'oxyde de silicium


(57) L'invention concerne un procédé de fabrication d'une pièce micromécanique (1) essentiellement plane, à partir d'un substrat de silicium (10) plan, comprenant les étapes suivantes :
-usinage des contours de ladite pièce (1), et d'une pluralité de canaux (13) adjacents, séparés par des parois minces (14), formant une structure cellulaire rigide s'étendant au moins sur une portion (15) de la pièce (1),
-oxydation thermique de la pièce (1) pendant une durée suffisante pour oxyder à coeur lesdites parois minces (14).





Rapport de recherche












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