(57) L'invention concerne un procédé de fabrication d'une pièce micromécanique (1) essentiellement
plane, à partir d'un substrat de silicium (10) plan, comprenant les étapes suivantes
:
-usinage des contours de ladite pièce (1), et d'une pluralité de canaux (13) adjacents,
séparés par des parois minces (14), formant une structure cellulaire rigide s'étendant
au moins sur une portion (15) de la pièce (1),
-oxydation thermique de la pièce (1) pendant une durée suffisante pour oxyder à coeur
lesdites parois minces (14).
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