REINIGUNGSANLAGE FÜR INDUSTRIELL GEFERTIGTE BAUTEILE

Beschreibung

[0001] Die gegenständliche Erfindung betrifft eine Reinigungsanlage für industriell gefertigte Bauteile mit zumindest zwei voneinander räumlich getrennten Prozesskammern zum Reinigen der Bauteile und einer benachbarten, räumlich davon getrennten Roboterkammer zur Aufnahme eines Roboters zum Handhaben der Bauteile in der Reinigungsanlage, die auf einer gemeinsamen Grundplatte angeordnet sind, wobei für jede Prozesskammer ein eigener Hydraulikkreislauf zur Förderung eines Prozessfluids in die Prozesskammer vorgesehen ist.

[0002] In industriellen Fertigungsprozessen, insbesondere bei zerspanenden Prozessen, müssen die gefertigten Bauteile gereinigt werden, bevor diese weiterverarbeitet werden können. Die dafür notwendigen Reinigungsprozesse sind dabei aufwendig und benötigen in der Regel mehrere hintereinander ablaufende Reinigungsschritte, wie z.B. Vorwäsche, Hauptwäsche, Feinwäsche und Trocknung, um den gewünschten Reinheitsgrad erreichen zu können. Dazu können zusätzlich auch noch unterschiedliche Reinigungsmedien zum Einsatz kommen. Aber auch Arbeitsschritte wie z.B. das Entgraten der Bauteile gehören typischerweise zum Reinigungsprozess. Dazu sind aus dem Stand der Technik ein Vielzahl von automatischen oder semiautomatischen Reinigungsanlagen bekannt, die das leisten.

[0003] Die US 7,846,263 B1 zeigt als nächstliegenden Stand der Technik eine mobile Mülltonnenreinigungsanlage, bei der auf einem LKW eine Prozesskammer angeordnet ist, in die eine zu reinigende Mülltonne zugeführt und darin in mehreren Arbeitsschritten gereinigt wird. Unterhalb der Prozesskammer ist ein Hohlraum vorgesehen, um Reinigungsflüssigkeit zu sammeln. Dieser Hohlraum steht über einen Hydraulikkreislauf mit einem separaten Wassertank in Verbindung.

[0004] Die EP 2 345 483 A1 zeigt eine Hochdruckentgratvorrichtung zum Entgraten eines industriell gefertigten Bauteils. Die Hochdruckentgratvorrichtung hat mehrere separate Prozesskammern zum Aufnahme jeweils eines Bauteils, wobei eine Prozesskammer vor dem Entgraten mit einer Reinigungsflüssigkeit geflutet werden. Dabei sind der zu entgratende Teil des Bauteils und auch der Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl während des Entgratvorganges in der Reinigungsflüssigkeit eingetaucht. Die Bauteile werden mittels eines Roboters in die Prozesskammern gefördert und nach dem Entgraten wieder mit dem Roboter aus der Prozesskammer entfernt. Zum Fluten der Prozesskammern und für den Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl zum Entgraten sind entsprechende Hydraulikkreisläufe vorgesehen.

[0005] Die DE 10 2005 003 093 A1 zeigt z.B. eine Reinigungsanlage mit mehreren nebeneinander angeordneten Reinigungskammern zur Durchführung von verschiedenen Reinigungsprozessen, die von verschiedenen Robotern bedient werden. Diese Anordnung benötigt aber eine relativ große Grundfläche und auch eine relativ komplexe Verrohrung, um alle Reinigungskammern mit dem benötigten Prozessfluiden versorgen zu können.

[0006] Die WO 2010/062894 A1 zeigt eine Reinigungsanlage mit einer Roboterkammer und einer Anzahl von Prozesskammern. Im Boden der Roboterkammer bzw. in den Böden der Prozesskammern sind Hohlräume zur Aufnahme der jeweiligen Prozessfluide vorgesehen. Die benötigten Hydraulikkomponenten zur Förderung dieser Prozessfluide müssen dabei entweder daneben angeordnet werden, z.B. so wie hier hinter der Roboterkammer, was aber einen hohen Aufwand für die notwendige Verrohrung bedingt. Oder die notwendigen Komponenten werden direkt in den Hohlräumen untergebracht, womit diese aber nur sehr schwer zu Wartungszwecken zugänglich sind.

[0007] Es war daher eine Aufgabe der gegenständlichen Erfindung, eine Reinigungsanlage anzugeben, die mit möglichst kleiner Grundfläche realisiert werden kann und daher möglichst kompakt ausgeführt ist und bei der der Aufwand für die benötigten Hydraulikkreise zur Förderung der Prozessfluide der Reinigungsanlage möglichst gering gehalten werden kann. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, indem die Prozesskammern und die Roboterkammer eine gemeinsame Grundfläche bilden und die Grundplatte eine Grundfläche bildet, wobei die Grundfläche der Grundplatte größer ist, als die gemeinsame Grundfläche von Prozesskammern und Roboterkammer, in der Grundplatte zumindest zwei räumlich getrennte Hohlräume zur Aufnahme der Prozessfluide vorgesehen sind, wobei sich die Hohlräume jeweils zumindest teilweise unterhalb der Prozesskammern und zumindest teilweise außerhalb der gemeinsamen Grundfläche von Prozesskammern und Roboterkammer erstrecken und auf der Grundplatte über zumindest einem Hohlraum zumindest eine Hydraulikkomponente eines Hydraulikkreislaufes angeordnet ist. Durch diese Anordnung erreicht man einerseits, dass die notwendigen Hydraulikkomponenten in nächster Nähe zu den Prozesskammern und vor allem mit kurzen Rohrlängen angeordnet werden können. Dabei bleiben diese Komponenten auch für Wartungszwecke frei zugänglich. Nicht zuletzt kann dadurch die Grundfläche der Reinigungsanlage trotzdem möglichst klein gehalten werden.

[0008] Wenn die Prozesskammern neben- und übereinander benachbart angeordnet sind, erreicht man eine besonders kompakte Reinigungsanlage mit sehr geringer Grundfläche.

[0009] Vorzugsweise sind die Prozesskammern durch eine Doppelwand räumlich voneinander getrennt angeordnet, womit man eine gute thermische Entkopplung der benachbarten Prozesskammern erreicht. Auf diese Weise kann ein Wärmeeintrag von einer Prozesskammer in eine andere, und damit auch ein Energieverlust, verringert werden.

[0010] Wenn die Prozesskammern mit abgerundeten Innenkanten ausgeführt sind, lassen sich diese einfacher reinigen, da sich kein Schmutz in schwer zugänglichen scharfen Ecken ablagern kann..

[0011] Die Reinigungsanlage kann durch zusätzliche Reinigungseinrichtungen auf einfache Weise ergänzt werden, wenn diese in der Roboterkammer angeordnet werden, wobei die zusätzliche Reinigungseinrichtung bevorzugt mit einem Hohlraum in Verbindung steht, um wiederum den Verrohrungsaufwand zu reduzieren.

[0012] Die gegenständliche Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren 1 bis 5 näher erläutert, die beispielhaft, schematisch und nicht einschränkend vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung zeigen. Dabei zeigt

Fig.1 den Grundriss einer erfindungsgemäßen Reinigungsanlage,

Fig.2 eine Ansicht von unter der erfindungsgemäßen Reinigungsanlage,

Fig.3 den Grundriss einer weiteren Ausführung einer erfindungsgemäßen Reinigungsanlage,

Fig.4 eine Detailansicht der Prozesskammern einer erfindungsgemäßen Reinigungsanlage und

Fig.5 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Reinigungsanlage.

[0013] Fig.1 zeigt eine Ausgestaltung einer industriellen Reinigungsanlage 1 zum Reinigen von industriell, insbesondere mit einem zerspanenden Fertigungsprozess, gefertigten Bauteilen 2, wie z.B. Motorblöcke, Zylinderköpfe, Kurbelwellen, etc. Die Reinigungsanlage 1 umfasst in diesem Ausführungsbeispiel eine Roboterkammer 3, in der ein Industrieroboter 6 zum Handhaben der Bauteile 2 in der Reinigungsanlage 1 angeordnet ist. Unmittelbar neben der Roboterkammer 3 sind zwei Prozesskammern 4, 5 angeordnet. Die Roboterkammer 3 und die Prozesskammern 4, 5 sind voneinander räumlich getrennt, z.B. durch entsprechende Zwischenwände, und nach außen abgeschlossen. Zwischen Roboterkammer 3 und Prozesskammern 4, 5 sind öffen- und schließbare Schleusen 27 (Fig.5) angeordnet, um die Bauteile 2 in der Reinigungsanlage 1 bewegen zu können. Weiters ist an einer Prozesskammer 4, 5 oder an der Roboterkammer 3 zumindest eine öffen- und schließbare Tür 26 vorgesehen, um Bauteile 2 in die und aus der Reinigungsanlage 1 bewegen zu können.

[0014] Daneben ist in der Reinigungsanlage 1 auch ein elektrischer Schaltschrank 16, vorzugsweise mit einem Steuerpult mit Monitor und Eingabegeräte, angeordnet, um die Reinigungsanlage 1 bedienen zu können. Der Schaltschrank 16 ist dabei bevorzugt am der Roboterkammer 3 gegenüberliegenden Ende der Reinigungsanlage 1 angeordnet.

[0015] In den Prozesskammern 4, 5 sind hinlänglich bekannte Reinigungseinrichtungen, wie z.B. Düsen, Sprinkler, Gebläse, etc., zum Reinigen der Bauteile 2 angeordnet, auf die hier nicht im Detail eingegangen wird. Z.B. kann die Prozesskammer 4 als Vorwaschkammer und die Prozesskammer 5 als Feinwasch- und Trocknungskammer ausgeführt sein. Die Reinigung in den Prozesskammern 4, 5 erfolgt jeweils mit einem Prozessfluid, das den Prozesskammern 4,5, bzw. den Reinigungseinrichtungen darin, mittels eines Hydraulikkreises zur Förderung des Prozessfluids über ein Rohrleitungssystem zugeführt wird.

[0016] Die Prozesskammern 4, 5 und die Roboterkammer 3 sind auf einer gemeinsamen Grundplatte 7 angeordnet. Dabei ist die Grundfläche 8 (angedeutet durch die fette strichpunktierte Linie in Fig.1) der Grundplatte 7 größer, als die gemeinsame Grundfläche 9 (angedeutet durch die zweite fette strichpunktierte Linie in Fig.1) der Prozesskammern 4, 5 und der Roboterkammer 3. Damit steht die Grundplatte 7 in einer Draufsicht über die Prozesskammern 4, 5 und die Roboterkammer 3 hinaus.

[0017] In der Grundplatte 7 ist zumindest für jede Prozesskammer 4, 5 zumindest je ein Hohlraum 10, 11 für ein Prozessfluid vorgesehen, wie in einer Ansicht von unten in Fig.2 dargestellt, wobei die Hohlräume 10, 11 räumlich voneinander getrennt sind, z.B. durch entsprechende Zwischenwände in der Grundplatte 7. Die Hohlräume 10, 11 erstrecken sich dabei jeweils zumindest teilweise unterhalb der Prozesskammern 4, 5 und jeweils zumindest teilweise außerhalb der gemeinsamen Grundfläche 9 der Prozesskammern 4, 5 und der Roboterkammer 3. Damit wird auf der Grundplatte 7 für jeden Hohlraum 10, 11 ein Bereich geschaffen, über den man direkt und auf kürzestem Weg Zugang zu den Hohlräumen 10, 11 erhält. Damit können in diesem freien Bereich der Grundplatte 7 Hydraulikkomponenten, wie z.B. eine Pumpe 12, 13 oder ein Filter 14, 15, eines Hydraulikkreises für ein Prozessfluid angeordnet werden (Fig.1). Gleichzeitig kann dadurch das Prozessfluid auf kürzestem Weg aus dem Hohlraum 10, 11 in die darüber angeordnete, zugehörige Prozesskammer 4, 5 geleitet, oder aus dieser in den zugehörigen Hohlraum 10, 11 rückgeleitet werden. Auf diese Weise erreicht man, ein Minimum an notwendiger Verrohrung, was sich unmittelbar in einer Platzund Kostenersparnis niederschlägt. Außerdem bleiben diese Hydraulikkomponenten für Wartungszwecke einfach zugänglich.

[0018] In der Fig.3 ist eine Reinigungsanlage 1 mit drei Prozesskammern 4, 5, 23 dargestellt. In der Grundplatte 7 sind drei Hohlräume 10, 11, 20 vorgesehen, wobei wiederum sich jeder Hohlraum 10, 11, 20 zumindest teilweise unterhalb einer zugeordneten Prozesskammer 4, 5, 23 und sich jeder Hohlraum 10, 11, 23 zumindest teilweise außerhalb der gemeinsamen Grundfläche 9 der Prozesskammern 4, 5, 23 und der Roboterkammer 3 erstreckt. Falls in zwei Prozesskammern das gleiche Prozessfluid verwendet wird, dann könnte man auch mit zwei Hohlräumen in der Grundplatte 7 das Auslangen finden, indem zwei Prozesskammern vom selben Hohlraum versorgt werden. Auf dem damit frei werdenden Bereich der Grundplatte 7 sind wiederum Hydraulikkomponenten, wie z.B. Pumpe 12, 13, 21 oder Filter 14, 15, 22 der Hydraulikkreise für die Prozessfluide angeordnet. Dazu sind hier die Ecken der Roboterkammer 3 an ihren den Prozesskammern 4, 5, 23 gegenüberliegenden Ende zurückgesetzt, um in diesem Bereich auf der Grundplatte 7 Platz für die Hydraulikkomponenten Pumpe 12, 13 und Filter 14, 15 zu schaffen und so den verfügbaren Platz möglichst gut auszunutzen und die benötigte Grundfläche der Reinigungsanlage 1 so klein wie möglich zu halten.

[0019] In Fig.3 ist auch beispielhaft eine Fördereinrichtung 25 dargestellt, mit der Bauteile 2 zur Reinigungsanlage 1 und von dieser weg transportiert werden können. Die Bauteile 2 können dabei entweder von oben in eine Prozesskammer 4, 5, 23 transportiert werden, oder wie in Fig.4 von der Seite über Rollenbahnen.

[0020] In Fig.4 ist ein Schnitt durch die Prozesskammern 4, 5, 23 der Fig.3 entlang der Linie A-A dargestellt. Die Prozesskammern 4, 5, 23 sind hier in bestmöglicher Platzausnutzung kompakt, in einem wandartigen Prozessgehäuse 17 neben- und übereinander angeordnet. Das Prozessgehäuse 17 grenzt dabei unmittelbar an die Roboterkammer 3 an. Die als Vorwaschkammer dienende Prozesskammer 4 und die als Feinwaschkammer dienende Prozesskammer 5 können sehr kompakt mit geringem Bauraum ausgeführt sein. Zwischen und oberhalb dieser beiden Prozesskammern 4, 5 ist die als Hauptwaschkammer dienende Prozesskammer 23 angeordnet, die mehr Platz benötigt, da darin das Bauteil 2 zum Reinigen auch bewegt werden kann, z.B. vom Roboter 6 oder von einer darin angeordneten Einrichtung. In Fig.3 erkennt man auch die Anordnung der Prozesskammern 4, 5, 23 direkt oberhalb der zugehörigen Hohlräume 10, 11, 20, um auf möglichst direktem Weg Zugang zum zugehörigen Prozessfluid zu erhalten.

[0021] Die Prozesskammern 4, 5, 23 sind bevorzugt durch eine Doppelwand räumlich voneinander getrennt. Da die Reinigungsprozesse in den verschiedenen Prozesskammern 4, 5, 23 mit unterschiedlich temperierten Prozessfluiden erfolgen können, dient die Doppelwand einer verbesserten thermischen Entkopplung und Isolierung der Reinigungsprozesse, wodurch Energie für das Temperieren der Prozessfluide eingespart werden kann.

[0022] Die Prozesskammern 4, 5, 23 sich auch bevorzugt mit abgerundeten Innenkanten ausgeführt, was die Ablagerung von Schmutz, vor allem in den Ecken der Prozesskammern 4, 5, 23 erschwert. Damit können Wartungsintervalle zur Reinigung der Prozesskammern 4, 5, 23 verlängert werden und gleichzeitig wird dadurch die Reinigung der Prozesskammern 4, 5, 23 erleichtert. An zwei Prozesskammern 4, 5 sind hier seitliche Türen 26 vorgesehen, um Bauteile 2 in die Reinigungsanlage 1 oder aus dieser heraus bewegen zu können.

[0023] In Fig.5 wurde das Gehäuse der Roboterkammer 3 wegeschnitten. Damit erkennt man die Schleusen 27 zwischen Roboterkammer 3 und Prozesskammern 4, 5. Im hier dargestellten Ausführungsbeispiel ist zwischen Prozesskammer 23 und Roboterkammer 3 keine Schleuse vorgesehen, sondern nur eine Öffnung 28, da der Roboter 6 das Bauteil 2 zur Reinigung in der Prozesskammer 23 hält und positioniert. Selbstverständlich könnte das der Bauteil 2 aber auch in der Prozesskammer 23 abgelegt werden und dann eine Schleuse zwischen Prozesskammer 23 und Roboterkammer 3 vorgesehen werden.

[0024] Eine Fördereinrichtung 25 bringt die zu reinigenden Bauteile 2 zur Reinigungsanlage 1 und führt die Bauteile 2, wie hier, von oben durch eine Tür 26 in eine erste Prozesskammer 5, z.B. zum Vorwaschen. Danach übernimmt der Roboter 6 das Bauteil 2 und bewegt dieses in die Prozesskammer 23 zur Hauptwäsche und danach weiter in eine weitere Prozesskammer 4, z.B. zur Feinwäsche und zum Trocknen. Aus dieser Prozesskammer 4 kann das Bauteil 2 dann wieder mittels der Fördereinrichtung 25 abtransportiert werden. Die Abläufe in der Reinigungsanlage 1 werden dabei vom Schaltschrank 16 und zugehöriger (nicht dargestellter Sensorik und Aktuatorik) überwacht und gesteuert.

[0025] Der Raum in der Roboterkammer 3 kann aber auch zusätzlich genutzt werden, um darin zusätzliche Reinigungseinrichtungen 29, wie z.B. Flutwaschbecken oder Ultraschallbecken, anzuordnen, wie in Fig.5 angedeutet. Dazu kann es vorgesehen sein, dass sich der Hohlraum 20, der hier der als Hauptwaschkammer dienenden Prozesskammer 23 zugeordnet ist, auch unterhalb der Roboterkammer 23 erstreckt, wie in Fig.3 und Fig.5 dargestellt. Damit kann auch in der Roboterkammer 3 auf einfachen und direktem Weg auf das darin befindliche Prozessfluid zugegriffen werden, um z.B. damit auch die zusätzliche Reinigungseinrichtung 29 in der Roboterkammer 3 zu betreiben.

[0026] Insbesondere bei einer zur Roboterkammer 3 offenen Prozesskammer 23 ist es aber auch vorteilhaft, wenn sich der Hohlraum 20 auch unterhalb der Roboterkammer 3 erstreckt, da dann wegspritzendes Prozessfluid aus der Prozesskammer 23, das sich in der Roboterkammer sammelt auf einfachem und direktem Weg in den Hohlraum 20 rückgeführt werden kann, z.Z. durch entsprechend geneigte Grundfläche der Roboterkammer, um ein natürliches Gefälle in Richtung Hohlraum 20 zu erzeugen.

[0027] Selbstverständlich ist es auch denkbar, Prozesskammern 4, 5, 23 an beiden Seiten der Roboterkammer 3 anzuordnen, womit weitere Reinigungsprozesse umgesetzt werden könnten. Hierzu können diese weiteren Prozesskammern wiederum auf der Grundplatte 7 und über zugeordneten Hohlräumen darin angeordnet sein.

Ansprüche

1. Reinigungsanlage für industriell gefertigte Bauteile (2) mit zumindest zwei von einander räumlich getrennten Prozesskammern (4, 5, 23) zum Reinigen der Bauteile (2) und einer benachbarten, räumlich davon getrennten Roboterkammer (3) zur Aufnahme eines Roboters zum Handhaben der Bauteile (2) in der Reinigungsanlage, die auf einer gemeinsamen Grundplatte (7) angeordnet sind, wobei für jede Prozesskammer (4, 5, 23) ein eigener Hydraulikkreislauf zur Förderung eines Prozessfluids in die Prozesskammer (4, 5, 23) vorgesehen ist, wobei die Prozesskammern (4, 5, 23) und die Roboterkammer (3) eine gemeinsame Grundfläche (9) bilden und die Grundplatte (7) eine Grundfläche (8) bildet, wobei die Grundfläche (8) der Grundplatte (7) größer ist, als die gemeinsame Grundfläche (9) von Prozesskammern (4, 5, 23) und Roboterkammer (3) und in der Grundplatte (7) zumindest zwei räumlich getrennte Hohlräume (10, 11, 20) zur Aufnahme der Prozessfluide vorgesehen sind, wobei sich die Hohlräume (10, 11, 20) jeweils zumindest teilweise unterhalb der Prozesskammern (4, 5, 23) und zumindest teilweise außerhalb der gemeinsamen Grundfläche (9) von Prozesskammern (4, 5, 23) und Roboterkammer (3) erstrecken und auf der Grundplatte (7) über zumindest einem Hohlraum (10, 11, 20) zumindest eine Hydraulikkomponente eines Hydraulikkreislaufes angeordnet ist.

2. Reinigungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesskammern (4, 5, 23) neben- und übereinander angeordnet sind.

3. Reinigungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesskammern (4, 5, 23) durch eine Doppelwand räumlich voneinander getrennt angeordnet sind.

4. Reinigungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesskammern (4, 5, 23) mit abgerundeten Innenkanten ausgeführt sind.

5. Reinigungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass in der Roboterkammer (3) eine zusätzliche Reinigungseinrichtung (29) angeordnet ist.

6. Reinigungsanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die zusätzliche Reinigungseinrichtung (29) mit einem Hohlraum (10, 11, 20) in Verbindung steht.

Claims

1. Cleaning system for industrially manufactured components (2) with at least two process chambers (4, 5, 23) spatially separated from one another for cleaning the components (2) and an adjacent robot chamber (3) spatially separated therefrom to accommodate a robot for handling the components (2) in the cleaning system, said chambers being disposed on a common base plate (7), wherein each process chamber (4, 5, 23) is provided with its own hydraulic circuit for conveying a process fluid into the process chamber (4, 5, 23), wherein the process chambers (4, 5, 23) and the robot chamber (3) form a common base surface (9) and the base plate (7) forms a base surface (8), wherein the base surface (8) of the base plate (7) is greater than the common base surface (9) of the process chambers (4, 5, 23) and the robot chamber (3), and at least two spatially separated hollow spaces (10, 11, 20) to accommodate the process fluids are provided in the base plate (7), wherein the hollow spaces (10, 11, 20) in each case extend at least partially below the process chamber (4, 5, 23) and extend at least partially outside the common base surface (9) of the process chambers (4, 5, 23) and the robot chamber (3), and at least one hydraulic component of a hydraulic circuit is disposed on the base plate (7) above at least one hollow space (10, 11, 20).

2. Cleaning system according to claim 1, characterized in that the process chambers (4, 5, 23) are disposed adjacent to and above one another.

3. Cleaning system according to claim 1 or 2, characterized in that the process chambers (4, 5, 23) are separated from one another spatially by a double wall.

4. Cleaning system according to one of claims 1 to 3, characterized in that the process chambers (4, 5, 23) are designed with rounded inner edges.

5. Cleaning system according to one of claims 1 to 4, characterized in that an additional cleaning device (29) is disposed in the robot chamber (3).

6. Cleaning system according to claim 5, characterized in that the additional cleaning device (29) is connected to a hollow space (10, 11, 20).

Revendications

1. Installation de nettoyage pour pièces de fabrication industrielle (2) comprenant au moins deux chambres de traitement (4, 5, 23) séparées spatialement l'une de l'autre pour le nettoyage des pièces (2) et une chambre de robot adjacente (3) séparée spatialement de celles-ci pour recevoir un robot pour manipuler les pièces (2) dans l'installation de nettoyage, qui sont agencées sur une plaque de base commune (7), dans laquelle il est prévu pour chaque chambre de traitement (4, 5, 23) un circuit hydraulique propre pour acheminer un fluide de traitement dans les chambres de traitement (4, 5, 23), dans laquelle les chambres de traitement (4, 5, 23) et la chambre de robot (3) forment une surface de base commune (9) et la plaque de base (7) forme une surface de base (8), dans laquelle la surface de base (8) de la plaque de base (7) est plus grande que la surface de base commune (9) des chambres de traitement (4, 5, 23) et de la chambre de robot (3) et il est prévu dans la plaque de base (7) au moins deux espaces creux spatialement séparés (11, 11, 20) pour recevoir les fluides de traitement, dans laquelle les espaces creux (10, 11, 20) s'étendent respectivement au moins en partie en dessous des chambres de traitement (4, 5, 23) et au moins en partie à l'extérieur de la surface de base commune (9) des chambres de traitement (4, 5, 23) et de la chambre de robot (3) et au moins un composant hydraulique d'un circuit hydraulique est agencé sur la plaque de base (7) par-dessus au moins un espace creux (10, 11, 20).

2. Installation de nettoyage selon la revendication 1, caractérisée en ce que les chambres de traitement (4, 5, 23) sont agencées à côté ou au-dessus l'une de l'autre.

3. Installation de nettoyage selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que les chambres de traitement (4, 5, 23) sont agencées séparément l'une de l'autre spatialement par une paroi double.

4. Installation de nettoyage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que les chambres de traitement (4, 5, 23) sont réalisées avec des arêtes internes arrondies.

5. Installation de nettoyage selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'un dispositif de nettoyage supplémentaire (29) est agencé dans la chambre de robot (3).

6. Installation de nettoyage selon la revendication 5, caractérisée en ce que le dispositif de nettoyage supplémentaire (29) est en liaison avec un espace creux (10, 11, 20).

Zeichnung