Vakuumpumpe

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe.

[0002] Gemäß dem Stand der Technik (DE 20 2005 019 644 U1) ist es bekannt, eine Vakuumpumpe, beispielsweise eine Turbomolekularpumpe mit einem Rotor, der pumpaktive rotierende Bauteile aufweist, und der auf einer Rotorwelle angeordnet ist, zu versehen. Diese rotierenden pumpaktiven Bauteile stehen stehenden pumpaktiven Bauteilen, dem so genannten Stator gegenüber.

[0003] Aus dem genannten Stand der Technik ist es bekannt, den glockenförmigen Rotor mittels einer Schraube mit der Stirnseite der Rotorwelle zu verbinden. Die Welle weist hierzu eine Ausnehmung auf, mit der ein Zapfen des Rotors in Eingriff steht.

[0004] Diese zum Stand der Technik gehörende Ausführungsform weist den Nachteil auf, dass der Rotor sich gegenüber der Welle verdrehen kann, da die hier gezeigte Lösung ausschließlich auf einem Reibschluss basiert. Aus diesem Grunde kann eine Verdrehung bei Überlastung eintreten. Dies führt zu einem Lösen der Verbindung, so dass die geforderte Sicherheit der Verschraubung nicht gegeben ist.

[0005] Ein Lösen des Rotors im Betrieb führt zu einem Totalschaden der Pumpe.

[0006] Ein Verdrehen des Rotors wird gemäß dem Stand der Technik (WO 2012/077411 A1) vermieden. Gemäß diesem Stand der Technik ist es bekannt, eine formschlüssige Verbindung vorzusehen, bei der der Rotor mit mehreren Schrauben an der Stirnseite der Rotorwelle zu befestigen ist. Hierdurch wird ein Verdrehen des Rotors und damit ein Lösen des Rotors von der Welle vermieden. Diese zum Stand der Technik gehörende Ausführungsform weist jedoch den Nachteil auf, dass die Montage relativ aufwändig ist und dass, da mehrere hochwertige Bauteile in Form von Schrauben benötigt werden, die Pumpe verteuert wird.

[0007] Aus dem Stand der Technik (JP 2000 205183 A) ist eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Gaseintrittsöffnung und wenigstens einer Gasaustrittsöffnung bekannt mit einem Rotor und einer Rotorwelle, bei der der wenigstens eine Rotor und die Rotorwelle zusätzlich zu wenigstens einem Befestigungselement eine Verdrehsicherung aufweist.

[0008] Diese Verdrehsicherung ist in Form eines Stiftes oder einer Schraube ausgeführt und greift in eine Bohrung der Rotorwelle. Diese Ausführungsform ist nachteilig, da durch den dezentral angeordneten Stift eine Unwucht entstehen kann.

[0009] Weiterhin gehört zum Stand der Technik (US 2009/0311113 A1) eine Vakuumpumpe mit einer Rotorwelle, an der wenigstens ein Rotor angeordnet ist, bei der eine Verdrehsicherung vorgesehen ist, indem Vorsprünge in passgenaue Ausnehmungen eingeführt werden. Bei der Ausbildung dieser Vorsprünge und Ausnehmungen muss sehr genau gearbeitet werden, um ein unerwünschtes Spiel zwischen den Vorsprüngen und den Ausnehmungen zu vermeiden.

[0010] Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, eine Vakuumpumpe anzugeben, bei der die genannten Nachteile nicht auftreten.

[0011] Dieses technische Problem wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 gelöst.

[0012] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe mit wenigstens einer Gaseintrittsöffnung und wenigstens einer Gasaustrittsöffnung, wobei die Vakuumpumpe wenigstens eine Rotorwelle aufweist, an der wenigstens ein Rotor mit rotierenden pumpaktiven Bauteilen, welche stehenden pumpaktiven Bauteilen gegenüberstehen, mit wenigstens einem in axialer Richtung zentral in oder an der Rotorwelle angeordneten Befestigungselement befestigt ist, bei der der wenigstens eine Rotor und die Rotorwelle zusätzlich zu dem wenigstens einen Befestigungselement eine Verdrehsicherung aufweisen, zeichnet sich dadurch aus, dass in einer Berührungsfläche zwischen Rotor und Rotorwelle in dem Rotor oder in der Rotorwelle wenigstens ein Vorsprung angeordnet ist, der als ein eine plastische Verformung in dem gegenüberliegenden Bauteil hervorrufender Vorsprung ausgebildet ist.

[0013] Die Verdrehsicherung kann in einfachster Art und Weise konstruiert und ausgebildet sein, so dass eine preiswerte Lösung zur Vermeidung der Drehung des Rotors relativ zu der Rotorwelle und damit ein Lösen des wenigstens einen zentral in oder an der Rotorwelle angeordneten Befestigungselementes vermieden wird.

[0014] Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Verdrehsicherung an einem Zentrierzapfen des Rotors angeordnet. Der Zentrierzapfen ist ohnehin für das zentral angeordnete Befestigungselement bei der Montage gut zugänglich, so dass die Anordnung der Verdrehsicherung in dem Zentrierzapfen sinnvoll ist.

[0015] Grundsätzlich besteht die Möglichkeit, dass der Zentrierzapfen an der Rotorwelle angeordnet ist und in einer Bohrung des Rotors eingreift.

[0016] Es besteht auch die Möglichkeit, dass der Zentrierzapfen an dem Rotor angeordnet ist, der dann wiederum in einer entsprechenden Ausnehmung der Rotorwelle eingreift.

[0017] Grundsätzlich besteht auch die Möglichkeit, dass keinerlei Zapfen an Rotor und Welle angeordnet ist. In diesem Fall kann eine Zentrierung durch ein oder mehrere zentrische oder exzentrische Formelemente wie Passstifte oder kombinierte Form- und Befestigungselemente wie Passschrauben erfolgen.

[0018] Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, dass in einer Berührungsfläche zwischen Rotor und Rotorwelle in dem Rotor oder in der Rotorwelle wenigstens ein Vorsprung angeordnet ist, der als ein eine plastische Verformung in dem gegenüberliegenden Bauteil hervorrufender Vorsprung ausgebildet ist. Ein derartiger Vorsprung kann beispielsweise ein so genannter Körnerpunkt sein. Dieser Körnerpunkt wird aus dem Material, beispielsweise des Rotors gebildet. Beim Verpressen des Rotors mit der Rotorwelle durch Anziehen des Befestigungselementes, beispielsweise der Befestigungsschraube erzeugt der Körnerpunkt eine plastische Verformung der anliegenden Fläche. Der Körnerpunkt kann in dem Rotor erzeugt werden und erzeugt dann eine Verformung der Rotorwelle. Es ist auch möglich, den Körnerpunkt in der Rotorwelle zu erzeugen. Der

[0019] Körnerpunkt erzeugt dann eine plastische Verformung in dem Rotor. Bei Ausbildung eines oder mehrerer Körnerpunkte ist es vorteilhaft, wenn der Rotor und die Rotorwelle aus verschiedenen Materialen bestehen. Der Körnerpunkt wird dann in das Material eingebracht, das die höhere Festigkeit aufweist, also eine höhere Streckgrenze R_e. In diesem Fall drückt sich der wenigstens eine Körnerpunkt in das weichere Gegenmaterial.

[0020] Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung, in der mehrere Ausführungsbeispiele einer Rotor/Rotorwelleverbindung nur beispielhaft dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1

einen Längsschnitt durch einen Turbomolekularpumpenrotor und den Antriebsbereich einer Turbomolekularpumpe gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 2a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit einem Stift;

Fig. 2b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 3a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung gemäß einem geänderten Ausführungsbeispiel;

Fig. 3b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 4a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit schräg radial angeordnetem Stift;

Fig. 4b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 5a

einen Schnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung als geändertes Ausführungsbeispiel;

Fig. 5b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 6a

einen Schnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit einem radial angeordneten Stift;

Fig. 6b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 7a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit einem Reibring;

Fig. 7b

einen Rotor, einen Reibring und eine Rotorwelle in nicht verbundenem Zustand in perspektivischer Ansicht;

Fig. 8a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung gemäß der Erfindung mit einem Körnerpunkt;

Fig. 8b

einen Rotor und eine Welle der Rotor/ Rotorwelleverbindung der Abbildung 8a in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 9a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit einer axial geometrischen Sicherung;

Fig. 9b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand;

Fig. 10a

einen Längsschnitt durch eine Rotor/Rotorwelleverbindung mit einer radial geometrischen Sicherung;

Fig. 10b

einen Rotor und eine Welle in perspektivischer Ansicht in nicht verbundenem Zustand.

[0021] Fig. 1 zeigt eine Turbomolekularpumpe. In einem Gehäuseteil 260 sind eine Welle 232, umgebend ein Fanglager 295, eine Radiallagerspule 291, ein Radialsensor 293 und eine Motorspule 261 angeordnet. Die Motorspule 261 wirkt mit dem auf der Welle 232 befindlichen und durch eine Hülse 263 gesicherten Motormagneten 262 zusammen, so dass bei Bestromung der Motorspule 261 die Welle 232 in schnelle Drehung versetzt wird. Der Radialsensor 293 wirkt mit dem wellenseitigen Radialsensortarget 294 zusammen.

[0022] Als ruhende Pumpstrukturen weist die Turbomolekularpumpe dem Vorvakuum zugewandt einen Holweckstator 228 auf, in welchem schraubenlinienartig Kanäle verlaufen, die mit der am Rotor angeordneten Hülse 227 zusammenwirken und zusammen eine Holweckstufe 226 bilden.

[0023] Weitere ruhende Pumpstrukturen sind die mit Schaufelkränzen versehenen Statorscheiben 212, 216, 220 und 224, welche durch zwischen ihnen angeordneten Distanzringen 213, 217, 221 und 225 axial beabstandet sind. In die axialen Zwischenräume zwischen den Statorscheiben 212, 216, 220 und 224 tauchen die als Rotorschaufelkränze 211, 215, 219 und 223 gestalteten Pumpstrukturen ein. Ruhende und rotorseitige Pumpstrukturen wirken paarweise zusammen. Der Rotorschaufelkranz 211 bildet mit der Statorscheibe 212 zusammen die erste der Kammer zugewandte und im Hochvakuum arbeitende Pumpstufe 210. Entsprechend bilden Statorscheibe 216 und Rotorschaufelkranz 215 die nachfolgende zweite Pumpstufe 214, Statorscheibe 220 und Rotorschaufelkranz 219 die dritte Pumpstufe 218 und schließlich Statorscheibe 224 und Rotorschaufelkranz 223 die am Übergabedruck zur Holweckstufe arbeitende vierte Pumpstufe 222. Die Rotorschaufelkränze sind jeweils in voneinander axial beabstandeten Ebenen 250, 251, 252 und 253 angeordnet, der Befestigungsbereich der Rotorhülse bildet die Ebene 254.

[0024] Die rotorseitigen Pumpstrukturen in Form der Rotorschaufelkränze 219 und 223 sind am ersten Rotorteil 201 angeordnet und bilden mit diesem einen einstückigen Körper. Die Rotorhülse 227 ist mit dem ersten Rotorteil verbunden. Das erste Rotorteil weist eine Ausnehmung 230 in ihrem Zentrum auf. Dieser sich axial und radial von der Mitte aus erstreckende Hohlraum nimmt das Fanglager 295 wenigstens teilweise auf.

[0025] Das erste Rotorteil 201 ist mit einem Befestigungselement, im Beispiel einer Schraube 280 mit der Stirnseite 258 der Rotorwelle 232 verbunden. Die Welle 232 weist eine Ausnehmung auf, mit der ein Zapfen 289 des ersten Rotorteiles 201 in Eingriff steht, wodurch die radiale Positionierung vereinfacht wird. Das erste Rotorteil 201 besitzt gemäß dem Ausführungsbeispiel einen Trägerabschnitt 201a. Dieser erstreckt sich vom ersten Rotorteil 201 aus axial in Richtung Hochvakuum, also in die der Welle 232 abgewandten Richtung. Auf diesem Trägerabschnitt ist ein Tragring 208 angeordnet, mit welchem der Rotorschaufelkranz 211 verbunden ist. Ein weiterer Tragring 209 und der Rotorschaufelkranz 215 sind ebenfalls miteinander verbunden. Die Tragringe mit Rotorschaufelkranz sind günstig herstellbar.

[0026] In dem stirnseitigen Trägerabschnitt 201a sind Wuchtbohrungen 270 vorgesehen, in die Wuchtgewichte 271 eingesetzt werden können. In den Rotorschaufelkränzen 219 und 223 können in Wuchtbohrungen 272 Wuchtgewichte 273 angeordnet werden.

[0027] Um eine Verdrehung des ersten Rotorteiles 201 gegenüber der Welle 232 zu verhindern, ist ein Stift 281 als Verdrehsicherung vorgesehen, der mit einem Ende in dem Rotorteil 201 angeordnet ist und mit seinem anderen Ende in der Welle 232. Da er radial beabstandet von der zentral angeordneten Schraube 280 angeordnet ist, verhindert er das Verdrehen des Rotorteiles 201 gegenüber der Welle 232.

[0028] Fig. 2a zeigt die Rotorwelle 232, an der mittels der Schraube 280 ein Rotorteil 201 befestigt ist. Der Stift 281 verhindert das Verdrehen des Rotorteiles 201 gegenüber der Rotorwelle 232.

[0029] Gemäß der Fig. 2b ist in dem Zentrierzapfen 289 eine axiale Bohrung 300 angeordnet. In der Welle 232 ist ebenfalls eine Bohrung 301 vorgesehen. Der Stift 281, der in Fig. 2b nicht dargestellt ist, greift mit seinen Enden in die Bohrungen 300 und 301.

[0030] Die Fig. 3a und 3b zeigen die Rotorwelle 232, in der wiederum die Bohrung 301 angeordnet ist. Der Zentrierzapfen 289 des Rotors 201 weist an Stelle der Bohrung jedoch eine Nut 302 auf. Der Stift 281 ist mit einem Ende in der Bohrung 301 der Rotorwelle 232 und mit seinem anderen Ende in der Nut 302 des Zentrierzapfens 289 angeordnet.

[0031] Die Ausführung mit der Nut 302 weist gegenüber der Ausführungsform mit der Bohrung den Vorteil auf, dass die Nut 302 es ermöglicht, ohne Einhaltung sehr genauer Toleranzen ein statisch bestimmtes Passungssystem aufzubauen. Die radiale Zentrierung des Rotors 201 und der Rotorwelle 232 wird von dem Zentrierzapfen 289 übernommen. Zwei weitere Bohrungen mit Stift, die fluchten müssten, würden diese Lösung je nach den vorhandenen Toleranzen und Spielen verspannen und negativ beeinflussen.

[0032] Die Nut 302 sorgt dafür, dass der Stift 281 alleine den rotatorischen Freiheitsgrad sichert und die beiden radialen Freiheitsgrade, welche durch den Zentrierzapfen 289 gesichert werden, nicht beeinflusst.

[0033] Gemäß den Fig. 4a und 4b ist der Stift 281 schräg radial in einer Nut 303 des Zentrierzapfens 289 des Rotorteiles 201 angeordnet sowie in einer radial angeordneten Bohrung 304 der Welle 232.

[0034] Bei dieser Ausführungsform wird der Stift 281 durch die Fliehkraft sicher fixiert.

[0035] Gemäß den Fig. 5a und 5b ist der Stift 281 in einer Bohrung 305 des Rotors 201 radial beabstandet außerhalb des Bereiches des Zentrierzapfens 289 angeordnet. Die entsprechende Gegenbohrung 306 ist in der Welle 232 angeordnet. Die Bohrung 305 ist in der äußeren Anlagefläche der Welle 232 an dem Rotor 201 angeordnet.

[0036] Die Fig. 6a und 6b zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel. Der Stift 281 ist radial in den Rotorzentrierzapfen 289 gesteckt und ist damit in der Bohrung 307 des Zentrierzapfens 289 angeordnet. Das andere Ende des Stiftes 281 greift in eine Nut 308 der Welle 232.

[0037] Die Fig. 7a und 7b zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist zwischen den Zentrierzapfen 289 und einer Stirnseite 258 der Welle 232 ein Reibring 309 angeordnet. Durch die Schraube 280 wird das Rotorteil 200 mit der Welle 232 verpresst. Der Reibring 309 verhindert ein Verdrehen des Rotorteiles 201 relativ zu der Welle 232.

[0038] Gemäß dem einzigen Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung; welches in den Fig. 8a und 8b dargestellt ist, ist auf einer Anlagefläche 310 der Welle 232 ein Körnerpunkt 311 gebildet. Der Körnerpunkt 311 liegt auf einer Anlagefläche 312 des Rotorteiles 201 an. Die Welle 232 ist aus einem festeren Material gebildet, als das Rotorteil 201. Beim Verschrauben des Rotorteiles 201 mit der Welle 232 mittels der Schraube 280 tritt durch den Körnerpunkt 311 eine plastische Verformung der Anlagefläche 312 des Rotors 201 auf. Durch die Verzahnung zwischen Körnerpunkt 311 und der plastischen Verformung wird ebenfalls ein Formschluss erzielt, der ein Verdrehen des Rotorteiles 201 relativ zu der Welle 232 verhindert. Es ist auch möglich, mehrere Körnerpunkte 311 vorzusehen.

[0039] Gemäß den Fig. 9a und 9b weist die Welle 232 an ihrem Ende eine in axialer Richtung hervorstehend geformte, geometrische Sicherung 313 auf, deren Gegenstück 314 in dem Rotorteil 201 angeordnet ist. Die in axialer Richtung hervorstehend geformte, geometrische Sicherung 313 weist zwei Erhebungen 315a, 315b auf, die in entsprechende Vertiefungen 316a, 316b angeordnet sind. Durch den Formschluss der Teile 313 und 314 wird eine Verdrehsicherung zwischen dem Rotorteil 201 und der Rotorwelle 232 erreicht.

[0040] Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 10a und 10b dargestellt. Der Zentrierzapfen 289 weist einen in radialer Richtung hervorstehend geformten Vorsprung 317 auf, der in einer Nut 318 der Rotorwelle 232 angeordnet wird. In der Nut 318 der Rotorwelle 232 ist ein Anschlag (nicht dargestellt) vorgesehen, so dass eine Drehung des Rotorteiles 201 relativ zu der Welle 232 vermieden wird.

[0041] Es ist möglich, die in den Fig. 1 bis 10 dargestellten Ausführungsformen miteinander zu kombinieren.

Bezugszahlen

[0042] 

201

Rotorteil

201a

Trägerabschnitt

208

Tragring

209

Tragring

210

Pumpstufe

211

Rotorschaufelkranz

212

Statorscheibe

213

Distanzring

214

Pumpstufe

215

Rotorschaufelkranz

216

Statorscheibe

217

Distanzring

218

Pumpstufe

219

Rotorschaufelkranz

220

Statorscheibe

221

Distanzring

222

Pumpstufe

223

Rotorschaufelkranz

224

Statorscheibe

225

Distanzring

226

Holweckstufe

227

Hülse

228

Holweckstator

230

Ausnehmung

232

Rotorwelle

250

Ebene

251

Ebene

252

Ebene

254

Ebene

258

Stirnseite der Welle 232

260

Gehäuseteil

261

Motorspule

262

Motormagnet

263

Hülse

270

Wuchtbohrung

271

Wuchtgewicht

272

Wuchtbohrung

273

Wuchtgewicht

280

Schraube

281

Stift

289

Zapfen

291

Radiallagerspule

292

Radiallagertarget

293

Radialsensor

294

Radialsensortarget

295

Hanglager

300

Bohrung

301

Bohrung

302

Nut

303

Nut

304

radiale Bohrung

305

Bohrung

306

Bohrung

307

Bohrung

308

Nut

309

Reibring

310

Anlagefläche Stator

311

Körnerpunkt

312

Anlagefläche des Rotorteiles 201

313

axial geometrische Sicherung

314

Teil der axial geometrischen Sicherung

315a

Erhebung

315b

Erhebung

316a

Vertiefung

316b

Vertiefung

317

Vorsprung

318

Nut

Ansprüche

1. Vakuumpumpe mit wenigstens einer Gaseintrittsöffnung und wenigstens einer Gasaustrittsöffnung, wobei die Vakuumpumpe wenigstens eine Rotorwelle aufweist, an der wenigstens ein Rotor mit rotierenden pumpaktiven Bauteilen, welche stehenden pumpaktiven Bauteilen gegenüberstehen, mit wenigstens einem in axialer Richtung zentral in oder an der Rotorwelle angeordneten Befestigungselement befestigt ist, bei der der wenigstens eine Rotor (201) und die Rotorwelle (232) zusätzlich zu dem wenigstens einen Befestigungselement (280) eine Verdrehsicherung (281; 309; 311; 313, 314; 317, 318) aufweisen,
dadurch gekennzeichnet, dass in einer Berührungsfläche (310, 312) zwischen Rotor (201) und Rotorwelle (232) in dem Rotor (201) oder in der Rotorwelle (232) wenigstens ein Vorsprung (311) angeordnet ist, der als ein eine plastische Verformung in dem gegenüberliegenden Bauteil (201, 232) hervorrufender Vorsprung (311) ausgebildet ist.

2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdrehsicherung (281; 309; 311; 313, 314; 317, 318) an einem Zentrierzapfen (289) des Rotors (201) oder der Rotorwelle (232) angeordnet ist.

Claims

1. A vacuum pump with at least one gas inlet opening and at least one gas outlet opening, wherein the vacuum pump comprises at least one rotor shaft, to which there is fixed, with at least one fixing element arranged centrally in axial direction in or on the rotor shaft, at least one rotor with rotating pump-active components, which oppose static pump-active components, in which the at least one rotor (201) and the rotor shaft (232), in addition to the at least one fixing element (280) have an arrangement (281; 309; 311; 313, 314; 317, 318) preventing rotation,
characterised in that there is arranged in a contact surface (310, 312) between rotor (201) and rotor shaft (232) in the rotor (201) or in the rotor shaft (232) a projection (311), which is formed as a projection (311) causing a plastic deformation in the opposing component (201, 232).

2. A vacuum pump according to claim 1 characterised in that the arrangement (281; 309; 311; 313, 314; 317, 318) preventing rotation is arranged on a centering pin (289) of the rotor (201) or the rotor shaft (232).

Revendications

1. Pompe à vide comprenant au moins une ouverture d'entrée de gaz et au moins une ouverture de sortie de gaz, la pompe à vide présentant au moins un arbre de rotor sur lequel est fixé au moins un rotor avec des composants actifs de pompe rotatifs qui sont opposés à des composants actifs de pompe fixes, avec au moins un élément de fixation disposé dans la direction axiale centralement dans ou sur l'arbre de rotor, dans laquelle l'au moins un rotor (201) et l'arbre de rotor (232) présentent, en plus de l'au moins un élément de fixation (280), une fixation en rotation (281 ; 309 ; 311 ; 313, 314 ; 317, 318),
caractérisée en ce que dans une surface de contact (310, 312) entre le rotor (201) et l'arbre de rotor (232), au moins une saillie (311) est disposée dans le rotor (201) ou dans l'arbre de rotor (232), laquelle est réalisée sous forme de saillie (311) provoquant une déformation plastique dans le composant opposé (201, 232).

2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que la fixation en rotation (281 ; 309 ; 311 ; 313, 314 ; 317, 318) est disposée au niveau d'un tourillon de centrage (289) du rotor (201) ou de l'arbre de rotor (232).

Zeichnung