MÉTHODE DE POMPAGE DANS UN SYSTÈME DE POMPES À VIDE ET SYSTÈME DE POMPES À VIDE

Description

Domaine technique de l'invention

[0001] La présente invention se rapporte à une méthode de pompage permettant de réduire la consommation d'énergie électrique ainsi qu'augmenter les performances en termes de vide final d'un système de pompage dont la pompe principale est une pompe à vide à palettes lubrifiées. Egalement, la présente invention se rapporte à un système de pompes à vide qui peut être utilisé pour réaliser la méthode selon la présente invention.

Art antérieur

[0002] Les tendances générales d'augmentation des performances des pompes à vide, de réduction des coûts des installations et de la consommation d'énergie dans les industries ont apporté des évolutions significatives en termes de performances, d'économie d'énergie, d'encombrement, dans les entraînements, etc.

[0003] L'état de la technique montre que pour améliorer le vide final et réduire la consommation d'énergie il faut rajouter des étages supplémentaires dans les pompes à vide de type Roots multi-étagées ou Claws multi-étagées. Pour les pompes à vide à vis il faut mettre des tours supplémentaires aux vis, et/ou augmenter le taux de compression interne. Pour les pompes à vide à palettes lubrifiées, il faut typiquement également rajouter un ou plusieurs étages supplémentaires en série afin d'augmenter le taux de compression interne.

[0004] L'état de la technique concernant les systèmes de pompes à vide qui visent l'amélioration du vide final et l'augmentation du débit montre des pompes booster de type Roots agencées en amont des pompes principales à palettes lubrifiées. Ce type de systèmes est encombrant, fonctionne soit avec des clapets by-pass présentant des problèmes de fiabilité, soit en employant des moyens de mesure, contrôle, réglage ou asservissement. Cependant, ces moyens de contrôle, réglage ou asservissement doivent être pilotés d'une manière active, ce qui résulte forcément en une augmentation du nombre de composants du système, de sa complexité et de son coût.

[0005] Le document US 2003/068233 A1 décrit un système de pompage pour évacuer des enceintes à vide de procédés pour le traitement de wafers dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système comprend deux pompes, une principale et une auxiliaire, de types sèches agencées en série ainsi qu'un clapet anti-retour monté dans un conduit d'échappement agencé en paralèlle à la pompe auxiliaire. Ce sytème étant caractérisé par un ratio des volumes des deux pompes de 20 à 130.

[0006] Un système de pompage similaire est aussi divulgué dans les documents DE 88 16 875 U1 et DE 38 42 886 A1. Dans ces derniers les pompes primaire et secondaire sèches sont explicitement des pompes de type roots. Ces documents proposent de résoudre le problème posé par la présence du conduit supplémentaire d'évacuation muni du clapet anti-retour lors de l'évacuation de gaz rares ou dangereux par le remplacement de la pompe auxiliaire sèche de type roots et de fabrication usuelle par une pompe sèche de type roots munie d'un mécanisme de roue libre.

[0007] Le document EP 1 243 795 A1 divulgue quant à lui la combinaison d'une pompe primaire sèche (roots ou claw) multi-étagée et d'une pompe additionnelle sèche (membrane ou piston) et d'un clapet anti-retour. L'effet obtenu par cette combinaison est de réduire le taux de compression dans le dernier étage de la pompe primaire, lorsqu'un certain niveau de vide est déjà atteint dans l'enceinte à évacuer, afin que la température de la pompe n'augmente pas trop et ainsi ne conduise pas à la destruction de celle-ci. C'est un problème qui peut surtout survenir lorsque des gaz à faible coefficient thermique (Xenon, Argon, etc.) sont utilisés.

Résumé de l'invention

[0008] La présente invention a pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant de réduire l'énergie électrique nécessaire pour la mise sous vide d'une enceinte à vide et son maintien, ainsi que la baisse de la température des gaz de sortie.

[0009] La présente invention a aussi pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un débit supérieur à basse pression à celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.

[0010] La présente invention a également pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un meilleur vide que celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.

[0011] Ces buts de la présente invention sont atteints à l'aide d'une méthode de pompage qui est réalisée dans le cadre d'un système de pompes à vide dont la configuration consiste essentiellement en une pompe à vide principale à palettes lubrifiées munie d'un orifice d'entrée des gaz reliée à une enceinte à vide et d'un orifice de sortie des gaz donnant dans un conduit qui est muni d'un clapet anti-retour, avant de déboucher dans l'atmosphère ou dans d'autres appareils. L'aspiration d'une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est branchée en parallèle à ce clapet anti-retour, sa sortie allant à l'atmosphère ou rejoignant le conduit de la pompe principale après le clapet anti-retour.

[0012] Une telle méthode de pompage est notamment l'objet de la revendication indépendante 1. Des différents modes de réalisation préférés de l'invention sont en outre l'objet des revendications dépendantes.

[0013] La méthode selon la présente invention consiste donc essentiellement à mettre en marche une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées de manière simultanée à la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et à faire fonctionner la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées en continu tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide par l'orifice d'entrée de gaz, mais aussi tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées maintient une pression définie (p.ex. le vide final) dans l'enceinte en refoulant les gaz remontant par sa sortie.

[0014] Selon un premier aspect, l'invention réside dans le fait que le couplage de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ne nécessite pas de mesures et d'appareils spécifiques (p.ex. de capteurs de pression, de température, de courant, etc.), d'asservissements ou de gestion de données et calcul. Par conséquent, le système de pompes à vide adapté pour la mise en œuvre de la méthode de pompage selon la présente invention comprend un nombre minimal de composants, présente une grande simplicité et coûte nettement moins cher que les systèmes existants.

[0015] Selon une deuxième variante de la méthode de pompage qui ne fait pas partie du cadre de la présente invention, pour répondre à des exigences spécifiques la mise en route de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est pilotée de manière « tout ou rien ». Le pilotage consiste à contrôler un ou plusieurs paramètres et suivant certaines règles mettre en route la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ou l'arrêter. Les paramètres, fournis par des capteurs adéquats, sont p. ex. le courant du moteur de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la température ou la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour, ou une combinaison de ces paramètres.

[0016] Le dimensionnement de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est conditionné par la consommation d'énergie minimale de son moteur. Elle est normalement mono-étagée. Son débit nominal est choisi en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais aussi en prenant en compte la taille du volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour. Ce débit peut être de 1/500 à 1/5 du débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais peut aussi être inférieur ou supérieur à ces valeurs.

[0017] Le clapet anti-retour, placé dans le conduit à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées peut être un élément standard disponible dans le commerce. Il est dimensionné suivant le débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées. En particulier, il est prévu que le clapet anti-retour se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées se situe entre 500 mbar absolu et le vide final (p.ex. à 400 mbar).

[0018] Selon une autre variante, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est multi-étagée.

[0019] Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est multi-étagée.

[0020] La pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est de préférence de petite taille.

[0021] Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.

[0022] Selon encore une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.

[0023] Au départ d'un cycle de vidage de l'enceinte, la pression y est élevée, par exemple égale à la pression atmosphérique. Vu la compression dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la pression des gaz refoulés à sa sortie est plus haute que la pression atmosphérique (si les gaz à la sortie de la pompe principale sont refoulés directement à l'atmosphère) ou plus haute que la pression à l'entrée d'un autre appareil connecté en aval. Cela provoque l'ouverture du clapet anti-retour.

[0024] Quand ce clapet anti-retour est ouvert, l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées sur les paramètres de fonctionnement de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est très faiblement ressentie. En revanche, quand le clapet anti-retour se ferme à une certaine pression (parce que la pression dans l'enceinte a entretemps baissé), l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées provoque une réduction progressive de la différence de pression entre l'enceinte et le conduit après le clapet. La pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées devient celle à l'entrée de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, celle de sa sortie étant toujours la pression dans le conduit après le clapet anti-retour. Plus la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées pompe, plus la pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, dans le volume fermé, limité par le clapet anti-retour, se réduit et par conséquent la différence de pression entre l'enceinte et la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées baisse.

[0025] Cette différence réduite rend les fuites internes dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées plus faibles et engendre une baisse plus importante de la pression dans l'enceinte ce qui améliore le vide final. En plus, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées consomme de moins en moins d'énergie pour la compression et produit de moins en moins de chaleur de compression.

[0026] Selon la deuxième variante de la méthode de pompage qui ne fait pas partie du cadre, c'est-à-dire dans le cas de pilotage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, il existe une position initiale de démarrage du système de pompage quand les capteurs sont dans un état défini ou bien donnent des valeurs initiales. Au fur et à mesure que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz de l'enceinte à vide, les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Cela provoque la mise en marche de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées. Quand ces paramètres repassent dans les plages initiales (hors consignes) avec une temporisation, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est arrêtée.

[0027] D'un autre côté, il est aussi évident que l'étude du concept mécanique cherche à réduire le volume entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et le clapet anti-retour dans le but de pouvoir y faire baisser la pression plus vite.

Brève description des dessins

[0028] Les particularités et les avantages de la présente invention apparaîtront avec plus de détails dans le cadre de la description qui suit avec des exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins ci-annexés qui représentent :

• la figure 1 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation de la présente invention ; et
• la figure 2 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation ne faisant pas partie de la présente invention.

Description détaillée des modes de réalisation de l'invention

[0029] Figure 1 représente un système de pompes à vide SP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation de la présente invention.

[0030] Ce système de pompes à vide SP comporte une enceinte 1, laquelle est reliée à l'orifice d'aspiration 2 d'une pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3. L'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 est relié au conduit 5. Un clapet anti-retour de refoulement 6 est placé dans le conduit 5, qui après ce clapet anti-retour continue en conduit de sortie des gaz 8. Le clapet anti-retour 6, lorsqu'il est fermé, permet la formation d'un volume 4, compris entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale 3 et lui-même.

[0031] Le système de pompes à vide SP comporte aussi une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7, branchée en parallèle au clapet anti-retour 6. L'orifice d'aspiration 9 de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est relié au volume 4 du conduit 5 et son orifice de refoulement 10 est relié au conduit 8.

[0032] Dès la mise en route de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est elle aussi mise en route. La pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 aspire les gaz dans l'enceinte 1 par le conduit 2 branché à son entrée et les comprime pour les refouler par la suite à sa sortie dans le conduit 5 et par la suite par le clapet anti-retour 6. Lorsque la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 est atteinte, il se ferme. A partir de ce moment, le pompage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 fait baisser progressivement la pression dans le volume 4 jusqu'à sa pression limite. En parallèle, la puissance consommée par la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 baisse progressivement. Cela se produit en un court laps de temps, par exemple pour un certain cycle en 5 à 10 secondes.

[0033] Avec un ajustement judicieux du débit de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 et de la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 et le volume de l'enceinte 1, il est en outre possible de réduire le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6 par rapport à la durée du cycle de vidage et donc réduire l'énergie électrique du moteur de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 pendant le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6. En revanche, l'avantage de la simplicité crédite une excellente fiabilité du système ainsi qu'un prix inférieur en comparaison avec des pompes similaires équipées d'automate programmable et ou de variateur, vannes pilotées, capteurs, etc.

[0034] Figure 2 représente un système de pompes à vide SPP adapté pour la mise en oeuvre d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation ne faisant pas partie de la présente invention.

[0035] Par rapport au système montré à la figure 1, le système représenté à la figure 2 représente le système de pompage « piloté » SPP, qui comprend en outre des capteurs adéquats 11, 12, 13 qui contrôlent soit le courant du moteur (capteur 11) de la pompe principale à vide à palettes lubrifiées 3, soit la pression (capteur 13) des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit la température (capteur 12) des gaz dans le volume du conduit à sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit une combinaison de ces paramètres.

[0036] En effet, quand la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 commence à pomper les gaz de l'enceinte à vide 1, les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie 4 commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Pour le courant du moteur, la valeur de seuil peut être un pourcentage de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire (p. ex. 75%). Pour la température des gaz, mesurée à un endroit bien défini dans le volume du conduit de sortie 4 la valeur de seuil peut être un pourcentage (p. ex. 80%) de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire. Pour la pression des gaz, la valeur de seuil (p. ex. 100 mbar) est définie en fonction du rapport des débits des deux pompes, la principale et l'auxiliaire. Après des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la mise en marche de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est déclenchée. Quand ces paramètres repassent dans des plages initiales (hors consignes) avec des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est arrêtée. Certainement, la présente invention est sujette à de nombreuses variations quant à sa mise en œuvre. Bien que divers modes de réalisation aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Toutes ces modifications font partie des connaissances communes d'un homme du métier dans le domaine de la technologie du vide.

Revendications

1. Méthode de pompage dans un système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant:

- une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),

- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et

- une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) qui a son moteur et qui est branchée en parallèle au clapet anti-retour (6),

la méthode étant caractérisée en ce que
la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) par l'orifice de sortie des gaz (4) ;
de manière simultanée, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mise en marche ; et
la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) continue de fonctionner tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).

2. Méthode de pompage selon la revendication 1, caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).

3. Méthode de pompage selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.

4. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.

5. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.

6. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).

7. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).

8. Système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant :

- une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),

- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et

- une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) qui a son moteur et qui est branchée en parallèle au clapet anti-retour (6),

le système de pompes à vide (SP, SPP) étant caractérisé en ce que
la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est agencée pour se mettre en marche de manière simultanée avec la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) et pour rester en marche tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).

9. Système de pompes à vide selon la revendication 8, caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).

10. Système de pompes à vide selon la revendication 8 ou 9, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.

11. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 10 caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.

12. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.

13. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).

14. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).

Ansprüche

1. Verfahren zum Pumpen in einem System aus Vakuumpumpen (SP, SPP), umfassend:

- eine geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) mit einer Gaseinlassöffnung (2), welche mit einer Vakuumkammer (1) verbunden ist und einer Gasauslassöffnung (4), welche in eine Leitung (5) vor Austreten aus dem Gasauslass (8) des Systems aus Vakuumpumpen (SP, SPP) führt,

- ein Rückschlagventil (6), angeordnet in der Leitung (5) zwischen der Gasauslassöffnung (4) und dem Gasauslass (8), und

- eine geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7), welche ihren Motor aufweist und welche parallel zu dem Rückschlagventil (6) verbunden ist,

das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass
die geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) aktiviert wird, um die in der Vakuumkammer (1) enthaltenen Gase durch die Gasauslassöffnung (4) zu pumpen;
gleichzeitig die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) aktiviert wird; und
die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) während der ganzen Zeit weiter arbeitet, während die geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) die in der Vakuumkammer (1) enthaltenen Gase pumpt und/oder während der ganzen Zeit während die geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) einen definierten Druck in der Vakuumkammer (1) aufrechterhält.

2. Verfahren zum Pumpen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslass der geschmierten Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) in den Gasauslass (8) nach dem Rückschlagventil (6) mündet.

3. Verfahren zum Pumpen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) dimensioniert ist, um einen minimalen Energieverbrauch ihres Motors aufzuweisen.

4. Verfahren zum Pumpen nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) einstufig oder mehrstufig ist.

5. Verfahren zum Pumpen nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Rückschlagventil (6) schliesst, wenn der Druck an der Saugseite der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) zwischen 500 mbar und dem Endvakuum ist.

6. Verfahren zum Pumpen nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) die Gase in einen Ölabscheider der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) entlässt.

7. Verfahren zum Pumpen nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) in dem Ölabscheider der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) integriert ist.

8. System aus Vakuumpumpen (SP, SPP), umfassend:

- eine geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) mit einer Gaseinlassöffnung (2), welche mit einer Vakuumkammer (1) verbunden ist und einer Gasauslassöffnung (4), welche in eine Leitung (5) vor Austreten aus einem Gasauslass (8) des Systems von Pumpen (SP, SPP) führt,

- ein Rückschlagventil (6), welches in der Leitung (5) zwischen der Gasauslassöffnung (4) und dem Gasauslass (8) positioniert ist, und

- eine geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7), welche ihren Motor hat und welche parallel zu dem Rückschlagventil (6) verbunden ist,

das System von Vakuumpumpen (SP, SPP) ist dadurch gekennzeichnet, dass
die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) ausgebildet ist, um gleichzeitig mit der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) in Betrieb zu gehen und während der ganzen Zeit in Betrieb zu bleiben, während die geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) die in der Vakuumkammer (1) enthaltenen Gase pumpt und/oder während der ganzen Zeit während die geschmierte Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) einen definierten Druck in der Vakuumkammer (1) aufrechthält.

9. System von Vakuumpumpen nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslass der geschmierten Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) in den Gasauslass (8) nach dem Rückschlagventil (6) mündet.

10. System von Vakuumpumpen nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) dimensioniert ist, so dass ihr Motor einen minimalen Energieverbrauch aufweist.

11. System von Vakuumpumpen nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) einstufig oder mehrstufig ist.

12. System von Vakuumpumpen nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Rückschlagventil (6) schliesst, wenn der Druck an der Saugseite der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) zwischen 500 mbar absolut und dem Endvakuum ist.

13. System von Vakuumpumpen nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) die Gase in den Ölabscheider der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) entlässt.

14. System von Vakuumpumpen nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die geschmierte Hilfsdrehschiebervakuumpumpe (7) in dem Ölabscheider der geschmierten Hauptdrehschiebervakuumpumpe (3) integriert ist.

Claims

1. Pumping method in a system of vacuum pumps (SP, SPP) comprising:

- a main lubricated rotary vane vacuum pump (3) with a gas inlet port (2) connected to a vacuum chamber (1) and a gas outlet port (4) leading into a conduit (5) before coming out into the gas outlet (8) of the system of vacuum pumps (SP, SPP),

- a non-return valve (6) positioned in the conduit (5) between the gas outlet port (4) and the gas outlet (8), and

- an auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) which has its motor and which is connected in parallel to the non-return valve (6),

the method being characterized in that
the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) is activated in order to pump the gases contained in the vacuum chamber (1) through the gas outlet port (4);
simultaneously the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is activated; and
the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) continues to operate all the while that the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) pumps the gases contained in the vacuum chamber (1) and/or all the while that the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) maintains a defined pressure in the vacuum chamber (1).

2. Pumping method according to claim 1, characterized in that the outlet of the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) rejoins the gas outlet (8) after the non-return valve (6).

3. Pumping method according to claim 1 or 2, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is dimensioned so as to have a minimal consumption of energy by its motor.

4. Pumping method according to any one of the claims 1 to 3, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is single-staged or multi-staged.

5. Pumping method according to any one of the claims 1 to 4, characterized in that the non-return valve (6) closes when the pressure at the suction end of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) is between 500 mbar absolute and the final vacuum.

6. Pumping method according to any one of the claims 1 to 5, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) discharges the gases into the oil separator of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3).

7. Pumping method according to any one of the claims 1 to 6, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is integrated in the oil separator of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3).

8. System of vacuum pumps (SP, SPP) comprising:

- a main lubricated rotary vane vacuum pump (3) with a gas inlet port (2) connected to a vacuum chamber (1) and a gas outlet port (4) leading into a conduit (5) before coming out into the gas outlet (8) of the system of vacuum pumps (SP, SPP),

- a non-return valve (6) positioned in the conduit (5) between the gas outlet port (4) and the gas outlet (8), and

- an auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) which has its motor and which is connected in parallel to the non-return valve (6),

the system of vacuum pumps (SP, SPP) being characterized in that
the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is designed to go into operation at the same time with the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) and to remain in operation all the while that the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) pumps the gases contained in the vacuum chamber (1) and/or all the while that the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) maintains a defined pressure in the vacuum chamber (1).

9. System of vacuum pumps according to claim 8, characterized in that the outlet of the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) rejoins the gas outlet (8) after the non-return valve (6).

10. System of vacuum pumps according to claim 8 or 9, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is dimensioned so as to have a minimal consumption of energy by its motor.

11. System of vacuum pumps according to any one of the claims 8 to 10, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is single-staged or multi-staged.

12. System of vacuum pumps according to any one of the claims 8 to 11, characterized in that the non-return valve (6) closes when the pressure at the suction end of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3) is between 500 mbar absolute and the final vacuum.

13. System of vacuum pumps according to any one of the claims 8 to 12, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) discharges the gases into the oil separator of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3).

14. System of vacuum pumps according to any one of the claims 8 to 13, characterized in that the auxiliary lubricated rotary vane vacuum pump (7) is integrated in the oil separator of the main lubricated rotary vane vacuum pump (3).

Dessins