[0001] Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, insbesondere eine Vakuumpumpe, mit einer
Gerätekomponente und einer elektronischen Einrichtung zur Steuerung und/oder Regelung
der Gerätekomponente. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Identifizieren
einer Gerätekomponente eines solchen Vakuumgeräts mittels der elektronischen Einrichtung
und ein Verfahren zum Individualisieren einer Gerätekomponente des Vakuumgeräts.
[0002] Die Steuerung und/oder Regelung einer Vakuumpumpe oder anderer Vakuumgeräte erfolgt
üblicherweise mittels einer elektronischen Einrichtung, die mit einer oder mehreren
Gerätekomponenten der Vakuumpumpe oder des Vakuumgeräts in Verbindung steht. Da eine
solche elektronische Einrichtung den Antrieb der Vakuumpumpe oder des Vakuumgeräts
steuert bzw. regelt, d.h. in den meisten Fällen einen Elektromotor, wird die elektronische
Einrichtung auch als Antriebsgerät bezeichnet.
[0003] Die Gerätekomponenten einer Vakuumpumpe und die elektronische Einrichtung bzw. das
Antriebsgerät bilden üblicherweise trennbare Einheiten, so dass mehrere verschiedenartige
Typen von Gerätekomponenten mit dem gleichen Typ der elektronischen Einrichtung bzw.
des Antriebsgeräts betrieben werden können. Um eine fehlerhafte Zuordnung der Gerätekomponenten
zu einer elektronischen Einrichtung zu vermeiden, die beispielsweise zu Fehlfunktionen
oder sogar Schäden an einer Vakuumpumpe führen könnten, ist es notwendig, dass die
elektronische Einrichtung den Typ der jeweiligen Gerätekomponente korrekt erkennt,
sobald sie mit der Gerätekomponente in Verbindung steht.
[0004] Wenn die elektronische Einrichtung den Typ einer mit ihr verbundenen Gerätekomponente
ermittelt, erhält die elektronische Einrichtung üblicherweise zusätzliche Informationen
bezüglich der Betriebsparameter der Gerätekomponente. Die elektronische Einrichtung
kann beispielsweise Informationen bezüglich der Drehzahl erhalten, mit der eine Vakuumpumpe
betrieben werden soll, oder sie liest zusätzlich einen internen Parameter der Gerätekomponente
aus, um anhand dieses Parameters eine Kennlinie eindeutig auszuwählen, die für die
Gerätekomponente spezifisch ist.
[0005] Um die automatische Erkennung einer Gerätekomponente durch die elektronische Einrichtung
eines Vakuumgeräts durchzuführen, werden bei bekannten Vakuumgeräten Kennwiderstände
verwendet, die an der Gerätekomponente angebracht sind. Alternativ kann eine spezifische
Kennung einer Gerätekomponente mechanisch an dieser hinterlegt sein, und diese Kennung
kann bei der Verbindung mit der elektronischen Einrichtung eine Zustandsveränderung
an dieser bewirken, welche wiederum die elektrischen Eigenschaften der elektronischen
Einrichtung verändert und dadurch den Typ der Gerätekomponente erkennbar macht.
[0006] In beiden Fällen ist die Herstellung einer eindeutigen Kennung der Gerätekomponente
mit zusätzlichem Aufwand verbunden, wenn beispielsweise Kennwiderstände geeignet gelötet
oder auf andere Weise in die Gerätekomponente eingebunden werden bzw. wenn eine mechanische
Kennung an der Gerätekomponente installiert wird. Ferner sind Kennwiderstände und
mechanische Kennungen nicht gegenüber einer unbeabsichtigten oder beabsichtigten Veränderung
abgesichert. Außerdem sind interne Parameter, die in einer Gerätekomponente hinterlegt
werden, üblicherweise nicht gegenüber einer Manipulation geschützt. Darüber hinaus
ist bei Kennwiderständen und mechanischen Kennungen die Anzahl der möglichen Kombinationen
beispielsweise aufgrund von Bauraumgegebenheiten eingeschränkt.
[0007] Aus der
DE 10 2008 019 451 A1 ist ein Vakuumgerät mit den Merkmalen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein
Verfahren mit den Merkmalen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 7 bekannt.
[0008] Die
EP 2 469 096 A1 beschreibt ein Vakuumgerät und ein Verfahren gemäß einer verwandten Technologie.
[0009] In der
JP 2008 196463 A sind ebenfalls ein Vakuumgerät und ein Verfahren gemäß einer verwandten Technologie
beschrieben.
[0010] Auch die
EP 1 767 790 A2 beschreibt ein Vakuumgerät und ein Verfahren gemäß einer verwandten Technologie,
die jedoch allgemein ein Pumpenerkennungsmittel verwenden, bei dem es sich beispielsweise
um Kennwiderstände handelt, um einen bestimmten Typ einer Vakuumpumpe mittels eines
Steuergeräts erkennen zu können.
[0011] Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Vakuumgerät zu schaffen, bei dem eine
Gerätekomponente auf eine einfache und sichere Weise durch eine elektronische Einrichtung
erkannt werden kann. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein sicheres
Verfahren zum Individualisieren und zum Identifizieren einer Gerätekomponente eines
Vakuumgeräts anzugeben.
[0012] Diese Aufgabe wird durch ein Vakuumgerät mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch
Verfahren mit den Merkmalen der Ansprüche 7 bzw. 10 gelöst.
[0013] Das Vakuumgerät ist beispielsweise eine Vakuumpumpe und umfasst eine Gerätekomponente
sowie eine elektronische Einrichtung zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente.
Die Gerätekomponente weist einen digitalen komponentenspezifischen Datensatz auf.
Ferner ist die elektronische Einrichtung mit der Gerätekomponente verbunden und eingerichtet,
den komponentenspezifischen Datensatz der Gerätekomponente auszulesen.
[0014] Anstelle von Kennwiderständen oder einer mechanischen Kennung wird somit bei dem
erfindungsgemäßen Vakuumgerät ein digitaler Datensatz verwendet, der für die Gerätekomponente
spezifisch ist. Durch die Verwendung des digitalen Datensatzes ist die Herstellung
des Vakuumgeräts einfacher, schneller und somit kostengünstiger, da der komponentenspezifische
Datensatz beispielsweise lediglich in einem ohnehin vorhandenen Speicherelement in
oder an dem Vakuumgerät hinterlegt zu werden braucht und das Löten bzw. Einbinden
von Widerständen oder die Herstellung und Einrichtung einer mechanischen Kennung entfällt.
[0015] Darüber hinaus Ist der digitale komponentenspezifische Datensatz sicherer bezüglich
einer Manipulation als beispielsweise Kennwiderstände, da der Datensatz nach dem Hinterlegen
in oder an der Gerätekomponente nicht ohne weiteres von außen zugänglich ist und Maßnahmen
ergriffen werden können, um den Datensatz gegenüber einem unerwünschten Zugriff in
einem Speicherelement abzusichern. Die Verbindung zwischen der elektronischen Einrichtung
und der Gerätekomponente kann beispielsweise über eine geeignete Schnittstelle hergestellt
werden, und der Datensatz kann mittels einer geeigneten Firmware durch die elektronische
Einrichtung ausgelesen werden. Der Typ und/oder interne Parameter der Gerätekomponente
können beispielsweise ebenfalls mittels einer solchen Firmware anhand des komponentenspezifischen
Datensatzes ermittelt werden.
[0016] Ferner ist der komponentenspezifische Datensatz mittels eines privaten Schlüssels
verschlüsselt, und die elektronische Einrichtung weist einen öffentlichen Schlüssel
auf, der dem privaten Schlüssel zugeordnet ist, um den verschlüsselten komponentenspezifischen
Datensatz vor dem Auslesen zu entschlüsseln.
[0017] Durch die Verschlüsselung ist der komponentenspezifische Datensatz gegenüber einer
beabsichtigten oder unbeabsichtigten Veränderung geschützt, die beispielweise mittels
einer Einrichtung zum Auslesen des komponentenspezifischen Datensatzes erfolgen könnte.
Die Verschlüsselung verbessert somit die Betriebssicherheit des Vakuumgeräts, da beispielsweise
auch interne Parameter der Gerätekomponente, die beispielsweise die korrekte Auswahl
einer Kennlinie bewirken, nur mit Kenntnis des öffentlichen Schlüssels lesbar sind.
[0018] Der private Schlüssel kann zuerst durch einen Schlüsselinhaber, d.h. beispielsweise
den Hersteller des Vakuumgeräts, während der Herstellung des Vakuumgeräts oder bei
dessen erster Inbetriebnahme generiert werden. Somit steht der private Schlüssel auch
während des Betriebs des Vakuumgeräts beispielsweise nur dessen Hersteller zur Verfügung.
Der öffentliche Schlüssel hingegen kann in der Firmware der elektronischen Einrichtung
enthalten sein. Somit ist die Verschlüsselung des komponentenspezifischen Datensatzes
asymmetrisch, da der verschlüsselte komponentenspezifische Datensatz durch die elektronische
Einrichtung entschlüsselt werden kann, aber durch diese nicht in der Gerätekomponente
veränderbar ist.
[0019] Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der nachstehenden
Beschreibung und in den Figuren angegeben.
[0020] Der komponentenspezifische Datensatz umfasst bevorzugt eine komponentenspezifische
Kennung, die mittels des privaten Schlüssels signiert ist. Durch die Signierung der
komponentenspezifischen Kennung wird diese zusätzlich gegenüber einer Manipulation
abgesichert. Die Kennung kann beispielsweise einer Artikelnummer, einer Versionsnummer
oder auch einer Seriennummer der Gerätekomponente zugeordnet sein. Anhand der Artikelnummer,
der Versionsnummer, der Seriennummer oder auch einer beliebigen Kombination solcher
Kennungen kann die elektronische Einrichtung die Gerätekomponente auf eindeutige Weise
identifizieren.
[0021] Die Gerätekomponente kann Speicherelemente enthalten oder aus solchen bestehen, die
sowohl nur lesbare als auch im späteren Einsatz ein- oder mehrmalig veränderbare,
also beschreibbare Speicherelemente umfassen können. Während der Herstellung können
die Gerätekomponenten oder Speicherelemente dauerhaft mit komponentenspezifischen
Kennungen versehen, die dadurch gegen jegliche spätere Veränderung geschützt sind.
[0022] Die Artikelnummer ermöglicht die eindeutige Zuordnung der Gerätekomponente zu einer
unbestimmten Menge von bauartgleichen Gerätekomponenten, die von einer unbestimmten
Anzahl von Herstellern auf Grundlage der gleichen Spezifikation in Serie hergestellt
werden können. Die Versionsnummer bezeichnet hingegen eine eindeutige Ausführungsversion
einer Gerätekomponente, die gegenüber weiteren Gerätekomponenten mit anderen Versionsnummern
zumindest geringe funktionale Unterschiede aufweist, die im Betrieb der Gerätekomponente
berücksichtigt werden müssen. Die Seriennummer wird bevorzugt einmalig vergeben und
ermöglicht eine eindeutige Identifikation jeder einzelnen Gerätekomponente aus einer
unbestimmten Menge von Gerätekomponenten.
[0023] Wird der komponentenspezifische Datensatz beispielsweise auf Grundlage einer Seriennummer
der Gerätekomponente zusätzlich gegen Manipulation geschützt, so ist dieser Datensatz
nur mit dieser Gerätekomponente korrekt entschlüsselbar und für einen Gerätebetrieb
verfügbar. Wird der Datensatz stattdessen auf eine andere bauartgleiche Gerätekomponente,
zum Beispiel mit der gleichen Artikelnummer, übertragen, ist der Datensatz durch die
abweichende Seriennummer der Gerätekomponente nicht entschlüsselbar und damit nicht
für einen Gerätebetrieb auslesbar.
[0024] Ferner kann der komponentenspezifische Datensatz Betriebsparameter und/oder Betriebsvorgaben
der Gerätekomponente umfassen. Die Betriebsparameter und/oder Betriebsvorgaben sind
beispielsweise Grenzwerte und/oder Kennlinien für den Betrieb der Gerätekomponente
des Vakuumgeräts. Wenn der komponentenspezifische Datensatz mittels des privaten Schlüssels
verschlüsselt ist, sind bei dieser Ausführungsform auch die Betriebsparameter und/oder
Betriebsvorgaben der Gerätekomponente aufgrund der Verschlüsselung gegenüber einer
beabsichtigten oder unbeabsichtigten Manipulation geschützt.
[0025] Bei einer weiteren Ausführungsform ist die elektronische Einrichtung ferner eingerichtet,
Betriebsdaten für die Gerätekomponente mittels des öffentlichen Schlüssels zu verschlüsseln
und an die Gerätekomponente zu übertragen. Dabei sind die verschlüsselten Betriebsdaten
für die Gerätekomponente nur mittels des privaten Schlüssels entschlüsselbar. Die
Betriebsdaten, die von der elektronischen Einrichtung an die Gerätekomponente übertragen
werden, können eine Teilmenge der Betriebsparameter und/oder Betriebsvorgaben sein,
die in dem komponentenspezifischen Datensatz enthalten sind. Da die übertragenen Betriebsdaten
für die Gerätekomponente jedoch nur mittels des privaten Schlüssels entschlüsselbar
sind, der wiederum nur dem Schlüsselinhaber bzw. Hersteller des Vakuumgeräts bekannt
ist, kann eine Entschlüsselung der Betriebsdaten und damit eine Veränderung eines
Teils der Betriebsparameter und/oder Betriebsvorgaben der Gerätekomponente nur mit
der Einwilligung des Inhabers des privaten Schlüssels erfolgen. Die Möglichkeit, Betriebsdaten
für die Gerätekomponente mittels der elektronischen Einrichtung zu übertragen, verbessert
jedoch die Flexibilität für den Betrieb des Vakuumgeräts, wobei die Anpassung der
Betriebsdaten aber durch die Verschlüsselung abgesichert ist.
[0026] Der komponentenspezifische Datensatz ist bevorzugt auf einem Chip der Gerätekomponente
gespeichert. Wenn ein solcher Chip ohnehin an oder in der Gerätekomponente vorhanden
ist, entfällt ein zusätzlicher Aufwand zum Installieren eines Speicherelements, auf
dem der digitale komponentenspezifische Datensatz abgelegt wird. Alternativ kann der
komponentenspezifische Datensatz jedoch auf einem externen Speicherelement der Gerätekomponente
gespeichert sein. Ein solches externes Speicherelement ist beispielsweise eine Platine
als Vakuumdurchführung, mit der die Verbindung zwischen der Gerätekomponente und der
elektronischen Einrichtung hergestellt wird.
[0027] Weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Identifizieren einer Gerätekomponente
eines Vakuumgeräts mittels einer elektronischen Einrichtung zur Steuerung und/oder
Regelung der Gerätekomponente. Die Gerätekomponente weist dabei einen digitalen komponentenspezifischen
Datensatz auf. Gemäß dem Verfahren wird bei Aktivierung der elektronischen Einrichtung
der komponentenspezifische Datensatz der Gerätekomponente von der elektronischen Einrichtung
ausgelesen. Anhand des komponentenspezifischen Datensatzes wird die Gerätekomponente
eindeutig identifiziert.
[0028] Beim Auslesen des komponentenspezifischen Datensatzes sind die Gerätekomponente und
die elektronische Einrichtung beispielsweise über eine Schnittstelle miteinander verbunden.
Da die eindeutige Identifikation der Gerätekomponente mittels des digitalen komponentenspezifischen
Datensatzes erfolgt, ist der Aufwand zum Identifizieren der Gerätekomponente geringer
als beispielsweise bei der Identifikation von Kennwiderständen und mechanischen Kennungen.
[0029] Ferner ist der komponentenspezifische Datensatz mittels eines privaten Schlüssels
verschlüsselt, und der verschlüsselte komponentenspezifische Datensatz wird vor dem
Auslesen durch die elektronische Einrichtung mit einem öffentlichen Schlüssel entschlüsselt,
der dem privaten Schlüssel zugeordnet ist. Die Verschlüsselung des komponentenspezifischen
Datensatzes verbessert die Sicherheit bei dem Identifizieren der Gerätekomponente,
da die für das Identifizieren relevanten Daten nur mittels des privaten Schlüssels,
aber nicht mittels des öffentlichen Schlüssels verändert werden können.
[0030] Der komponentenspezifische Datensatz kann eine komponentenspezifische Kennung umfassen,
die mittels des privaten Schlüssels signiert ist. Die Gerätekomponente kann durch
Auslesen der komponentenspezifischen Kennung eindeutig identifiziert werden. Die komponentenspezifische
Kennung kann beispielsweise einer Artikelnummer, Versionsnummer oder Seriennummer
der Gerätekomponente zugeordnet sein. Durch die Signierung mittels des privaten Schlüssels
werden die komponentenspezifische Kennung und damit die eindeutige Identifizierung
der Gerätekomponente besonders abgesichert.
[0031] Gemäß einer weiteren Ausführungsform können Betriebsdaten für die Gerätekomponente
durch die elektronische Einrichtung mittels des öffentlichen Schlüssels verschlüsselt
und an die Gerätekomponente übertragen werden. Die verschlüsselten Betriebsdaten für
die Gerätekomponente sind nur mittels des privaten Schlüssels entschlüsselbar. Durch
die Übertragung der Betriebsdaten kann der Betrieb der Gerätekomponente flexibel modifiziert
werden, wobei jedoch eine Einwilligung bzw. Zustimmung durch einen Inhaber des privaten
Schlüssels erfolgen muss.
[0032] Weiterer Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zum Individualisieren
einer Gerätekomponente eines Vakuumgeräts. Dabei werden ein privater Schlüssel und
ein öffentlicher Schlüssel, der dem privaten Schlüssel zugeordnet ist, generiert.
Ein digitaler Datensatz, der für die Gerätekomponente spezifisch ist, wird ebenso
generiert und mittels des privaten Schlüssels verschlüsselt. Anschließend wird der
verschlüsselte digitale Datensatz derart an die Gerätekomponente übertragen, dass
der verschlüsselte digitale Datensatz für eine elektronische Einrichtung zur Steuerung
und/oder Regelung der Gerätekomponente zugreifbar ist. Ferner wird der öffentliche
Schlüssel an die elektronische Einrichtung übertragen.
[0033] Der private und der öffentliche Schlüssel sowie der digitale Datensatz können nur
durch einen Inhaber des privaten Schlüssels generiert werden. Dies erfolgt beispielsweise
mittels einer elektronischen Erzeugungseinrichtung für die beiden Schüssel und den
digitalen Datensatz während der Herstellung des Vakuumgeräts, wobei diese elektronische
Erzeugungseinrichtung eine Zertifizierungsautorität für die beiden Schlüssel darstellt.
Der für die Gerätekomponente spezifische Datensatz kann neben Daten, die eine Identifizierung
der Gerätekomponente erlauben, einen oder mehrere interne Parameter enthalten, die
für den Betrieb der Gerätekomponente relevant sind und beispielsweise eine eindeutige
Auswahl einer Kennlinie ermöglichen. Somit wird die Gerätekomponente nicht nur durch
eine verschlüsselte Typenkennung, sondern auch durch die Festlegung eines oder mehrerer
interner Parameter "individualisiert", so dass sich die Gerätekomponente im Betrieb
von typengleichen Gerätekomponenten unterscheidet.
[0034] Gemäß einer Ausführungsform umfasst der digitale Datensatz eine für die Gerätekomponente
spezifische Kennung, die mittels des privaten Schlüssels signiert wird, um die Gerätekomponente
zu individualisieren. Die für die Gerätekomponente spezifische Kennung kann dabei
eine Artikelnummer, Versionsnummer oder Seriennummer der Gerätekomponente zugeordnet
sein. Eine solche Individualisierung ermöglicht während des Betriebs des Vakuumgeräts
eine eindeutige Identifizierung einer bestimmten Gerätekomponente.
[0035] Der digitale Datensatz kann während einer Inbetriebnahme des Vakuumgeräts mittels
des privaten Schlüssels verschlüsselt werden. In diesem Fall wird der private Schlüssel
bei einer Initialisierungsprozedur des Vakuumgeräts auf den vorhandenen Datensatz
in der Gerätekomponente angewendet, um dadurch einen verschlüsselten komponentenspezifischen
Datensatz in der Gerätekomponente zu erzeugen.
[0036] Gemäß einer weiteren Ausführungsform werden verschlüsselte Betriebsdaten für die
Gerätekomponente, die durch die elektronische Einrichtung mittels des öffentlichen
Schlüssels verschlüsselt und an die Gerätekomponente übertragen werden, mittels des
privaten Schlüssels entschlüsselt. Die Betriebsdaten für die Gerätekomponente können
somit nur mit Kenntnis des privaten Schlüssels entschlüsselt und der Gerätekomponente
für deren Betrieb bereitgestellt werden. Es kann beispielsweise in einer Firmware
der elektronischen Einrichtung eine Funktionalität zur Übertragung verschlüsselter
Betriebsdaten vorgesehen sein, welche zur Eingabe des privaten Schlüssels auffordert.
[0037] Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen
unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:
- Fig. 1
- eine perspektivische Ansicht einer Turbomolekularpumpe,
- Fig. 2
- eine Ansicht der Unterseite der Turbomolekularpumpe von Fig. 1,
- Fig. 3
- einen Querschnitt der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie
A-A,
- Fig. 4
- eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie
B-B,
- Fig. 5
- eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie
C-C,
- Fig. 6
- eine Darstellung einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumgeräts,
und
- Fig. 7
- eine Darstellung einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumgeräts.
[0038] Die in Fig. 1 gezeigte Turbomolekularpumpe 111 umfasst einen von einem Einlassflansch
113 umgebenen Pumpeneinlass 115, an welchen in an sich bekannter Weise ein nicht dargestellter
Rezipient angeschlossen werden kann. Das Gas aus dem Rezipienten kann über den Pumpeneinlass
115 aus dem Rezipienten gesaugt und durch die Pumpe hindurch zu einem Pumpenauslass
117 gefördert werden, an den eine Vorvakuumpumpe, wie etwa eine Drehschieberpumpe,
angeschlossen sein kann.
[0039] Der Einlassflansch 113 bildet bei der Ausrichtung der Vakuumpumpe gemäß Fig. 1 das
obere Ende des Gehäuses 119 der Vakuumpumpe 111. Das Gehäuse 119 umfasst ein Unterteil
121, an welchem seitlich ein Elektronikgehäuse 123 angeordnet ist. In dem Elektronikgehäuse
123 sind elektrische und/oder elektronische Komponenten der Vakuumpumpe 111 untergebracht,
z.B. zum Betreiben eines in der Vakuumpumpe angeordneten Elektromotors 125. Am Elektronikgehäuse
123 sind mehrere Anschlüsse 127 für Zubehör vorgesehen. Außerdem sind eine Datenschnittstelle
129, z.B. gemäß dem RS485-Standard, und ein Stromversorgungsanschluss 131 am Elektronikgehäuse
123 angeordnet.
[0040] Am Gehäuse 119 der Turbomolekularpumpe 111 ist ein Fluteinlass 133, insbesondere
in Form eines Flutventils, vorgesehen, über den die Vakuumpumpe 111 geflutet werden
kann. Im Bereich des Unterteils 121 ist ferner noch ein Sperrgasanschluss 135, der
auch als Spülgasanschluss bezeichnet wird, angeordnet, über welchen Spülgas zum Schutz
des Elektromotors 125 (siehe z.B. Fig. 3) vor dem von der Pumpe geförderten Gas in
den Motorraum 137, in welchem der Elektromotor 125 in der Vakuumpumpe 111 untergebracht
ist, gebracht werden kann. Im Unterteil 121 sind ferner noch zwei Kühlmittelanschlüsse
139 angeordnet, wobei einer der Kühlmittelanschlüsse als Einlass und der andere Kühlmittelanschluss
als Auslass für Kühlmittel vorgesehen ist, das zu Kühlzwecken in die Vakuumpumpe geleitet
werden kann.
[0041] Die untere Seite 141 der Vakuumpumpe kann als Standfläche dienen, sodass die Vakuumpumpe
111 auf der Unterseite 141 stehend betrieben werden kann. Die Vakuumpumpe 111 kann
aber auch über den Einlassflansch 113 an einem Rezipienten befestigt werden und somit
gewissermaßen hängend betrieben werden. Außerdem kann die Vakuumpumpe 111 so gestaltet
sein, dass sie auch in Betrieb genommen werden kann, wenn sie auf andere Weise ausgerichtet
ist als in Fig. 1 gezeigt ist. Es lassen sich auch Ausführungsformen der Vakuumpumpe
realisieren, bei der die Unterseite 141 nicht nach unten, sondern zur Seite gewandt
oder nach oben gerichtet angeordnet werden kann.
[0042] An der Unterseite 141, die in Fig. 2 dargestellt ist, sind noch diverse Schrauben
143 angeordnet, mittels denen hier nicht weiter spezifizierte Bauteile der Vakuumpumpe
aneinander befestigt sind. Beispielsweise ist ein Lagerdeckel 145 an der Unterseite
141 befestigt.
[0043] An der Unterseite 141 sind außerdem Befestigungsbohrungen 147 angeordnet, über welche
die Pumpe 111 beispielsweise an einer Auflagefläche befestigt werden kann.
[0044] In den Figuren 2 bis 5 ist eine Kühlmittelleitung 148 dargestellt, in welcher das
über die Kühlmittelanschlüsse 139 ein- und ausgeleitete Kühlmittel zirkulieren kann.
[0045] Wie die Schnittdarstellungen der Figuren 3 bis 5 zeigen, umfasst die Vakuumpumpe
mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 115 anstehenden
Prozessgases zu dem Pumpenauslass 117.
[0046] In dem Gehäuse 119 ist ein Rotor 149 angeordnet, der eine um eine Rotationsachse
151 drehbare Rotorwelle 153 aufweist.
[0047] Die Turbomolekularpumpe 111 umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete
turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 153 befestigten radialen
Rotorscheiben 155 und zwischen den Rotorscheiben 155 angeordneten und in dem Gehäuse
119 festgelegten Statorscheiben 157. Dabei bilden eine Rotorscheibe 155 und eine benachbarte
Statorscheibe 157 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe. Die Statorscheiben 157 sind
durch Abstandsringe 159 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.
[0048] Die Vakuumpumpe umfasst außerdem in radialer Richtung ineinander angeordnete und
pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweck-Pumpstufen. Der Rotor der Holweck-Pumpstufen
umfasst eine an der Rotorwelle 153 angeordnete Rotornabe 161 und zwei an der Rotornabe
161 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweck-Rotorhülsen
163, 165, die koaxial zur Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung ineinander
geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweck-Statorhülsen 167,
169 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 151 orientiert und in
radialer Richtung gesehen ineinander geschachtelt sind.
[0049] Die pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Pumpstufen sind durch die Mantelflächen,
also durch die radialen Innen- und/oder Außenflächen, der Holweck-Rotorhülsen 163,
165 und der Holweck-Statorhülsen 167, 169 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren
Holweck-Statorhülse 167 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse
163 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 171 gegenüber und bildet mit dieser
die der Turbomolekularpumpen nachfolgende erste Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche
der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Statorhülse
169 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 173 gegenüber und bildet mit dieser
eine zweite Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweck-Statorhülse
169 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Rotorhülse 165 unter Ausbildung
eines radialen Holweck-Spalts 175 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweck-Pumpstufe.
[0050] Am unteren Ende der Holweck-Rotorhülse 163 kann ein radial verlaufender Kanal vorgesehen
sein, über den der radial außenliegende Holweck-Spalt 171 mit dem mittleren Holweck-Spalt
173 verbunden ist. Außerdem kann am oberen Ende der inneren Holweck-Statorhülse 169
ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der mittlere Holweck-Spalt
173 mit dem radial innenliegenden Holweck-Spalt 175 verbunden ist. Dadurch werden
die ineinander geschachtelten Holweck-Pumpstufen in Serie miteinander geschaltet.
Am unteren Ende der radial innenliegenden Holweck-Rotorhülse 165 kann ferner ein Verbindungskanal
179 zum Auslass 117 vorgesehen sein.
[0051] Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Statorhülsen 163, 165
weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 151 herum in axialer Richtung
verlaufende Holweck-Nuten auf, während die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweck-Rotorhülsen
163, 165 glatt ausgebildet sind und das Gas zum Betrieb der Vakuumpumpe 111 in den
Holweck-Nuten vorantreiben.
[0052] Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 153 sind ein Wälzlager 181 im Bereich des Pumpenauslasses
117 und ein Permanentmagnetlager 183 im Bereich des Pumpeneinlasses 115 vorgesehen.
[0053] Im Bereich des Wälzlagers 181 ist an der Rotorwelle 153 eine konische Spritzmutter
185 mit einem zu dem Wälzlager 181 hinzunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die
Spritzmutter 185 steht mit mindestens einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers
in gleitendem Kontakt. Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte
saugfähige Scheiben 187, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 181, z.B.
mit einem Schmiermittel, getränkt sind.
[0054] Im Betrieb der Vakuumpumpe 111 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von
dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 185
übertragen und in Folge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 185 in Richtung
des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 185 zu dem Wälzlager 181 hin
gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 181 und der
Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 189 und den Lagerdeckel
145 in der Vakuumpumpe eingefasst.
[0055] Das Permanentmagnetlager 183 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 191 und eine statorseitige
Lagerhälfte 193, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung
aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 195, 197 umfassen. Die Ringmagnete
195, 197 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 199 gegenüber,
wobei die rotorseitigen Ringmagnete 195 radial außen und die statorseitigen Ringmagnete
197 radial innen angeordnet sind. Das in dem Lagerspalt 199 vorhandene magnetische
Feld ruft magnetische Abstoßungskräfte zwischen den Ringmagneten 195, 197 hervor,
welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 153 bewirken. Die rotorseitigen Ringmagnete
195 sind von einem Trägerabschnitt 201 der Rotorwelle 153 getragen, welcher die Ringmagnete
195 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind von einem statorseitigen
Trägerabschnitt 203 getragen, welcher sich durch die Ringmagnete 197 hindurch erstreckt
und an radialen Streben 205 des Gehäuses 119 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse
151 sind die rotorseitigen Ringmagnete 195 durch ein mit dem Trägerabschnitt 203 gekoppeltes
Deckelelement 207 festgelegt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind parallel zu
der Rotationsachse 151 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 203
verbundenen Befestigungsring 209 sowie einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen
Befestigungsring 211 festgelegt. Zwischen dem Befestigungsring 211 und den Ringmagneten
197 kann außerdem eine Tellerfeder 213 vorgesehen sein.
[0056] Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 215 vorgesehen, welches im
normalen Betrieb der Vakuumpumpe 111 ohne Berührung leer läuft und erst bei einer
übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 149 relativ zu dem Stator in Eingriff gelangt,
um einen radialen Anschlag für den Rotor 149 zu bilden, da eine Kollision der rotorseitigen
Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert wird. Das Fanglager 215 ist
als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 149 und/oder dem
Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 215 im normalen Pumpbetrieb
außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 215 in Eingriff
gelangt, ist groß genug bemessen, sodass das Fanglager 215 im normalen Betrieb der
Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, sodass eine Kollision
der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen
verhindert wird.
[0057] Die Vakuumpumpe 111 umfasst den Elektromotor 125 zum drehenden Antreiben des Rotors
149. Der Anker des Elektromotors 125 ist durch den Rotor 149 gebildet, dessen Rotorwelle
153 sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckt. Auf den sich durch den Motorstator
217 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 153 kann radial außenseitig oder
eingebettet eine Permanentmagnetanordnung angeordnet sein. Zwischen dem Motorstator
217 und dem sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors
149 ist ein Zwischenraum 219 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst,
über den sich der Motorstator 217 und die Permanentmagnetanordnung zur Übertragung
des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen können.
[0058] Der Motorstator 217 ist in dem Gehäuse innerhalb des für den Elektromotor 125 vorgesehenen
Motorraums 137 festgelegt. Über den Sperrgasanschluss 135 kann ein Sperrgas, das auch
als Spülgas bezeichnet wird, und bei dem es sich beispielsweise um Luft oder um Stickstoff
handeln kann, in den Motorraum 137 gelangen. Über das Sperrgas kann der Elektromotor
125 vor Prozessgas, z.B. vor korrosiv wirkenden Anteilen des Prozessgases, geschützt
werden. Der Motorraum 137 kann auch über den Pumpenauslass 117 evakuiert werden, d.h.
im Motorraum 137 herrscht zumindest annäherungsweise der von der am Pumpenauslass
117 angeschlossenen Vorvakuumpumpe bewirkte Vakuumdruck.
[0059] Zwischen der Rotornabe 161 und einer den Motorraum 137 begrenzenden Wandung 221 kann
außerdem eine sog. und an sich bekannte Labyrinthdichtung 223 vorgesehen sein, insbesondere
um eine bessere Abdichtung des Motorraums 217 gegenüber den radial außerhalb liegenden
Holweck-Pumpstufen zu erreichen.
[0060] Fig. 6 zeigt eine schematische Darstellung der Turbomolekularpumpe 111 als erste
Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumgeräts. Die Turbomolekularpumpe 111
umfasst eine Gerätekomponente 301, die sämtliche Komponenten der Turbomolekularpumpe
111 aufweist, die in dem Gehäuse 119 und in dem Unterteil 121 untergebracht und vorstehend
beschrieben sind (vgl. Fig. 1 bis 3). Rein schematisch ist in Fig. 6 der Rotor 149
der Turbomolekularpumpe 111 angedeutet. Die Gerätekomponente 301 umfasst ferner einen
Pumpenchip 303.
[0061] Die Turbomolekularpumpe 111 weist ferner eine elektronische Einrichtung 305 zur Steuerung
und/oder Regelung der Gerätekomponente 301 auf. Die elektronische Einrichtung 305
ist in dem Elektronikgehäuse 123 (vgl. auch Fig. 1 bis 3) untergebracht.
[0062] Auf dem Pumpenchip 303 ist ein digitaler komponentenspezifischer Datensatz 307 gespeichert,
der eine komponentenspezifische Kennung 309 und Betriebsdaten 311 für die Gerätekomponente
301 umfasst. Die Betriebsdaten 311 sind eine Teilmenge von Parametern und/oder Betriebsvorgaben
der Gerätekomponente 301, welche in dem komponentenspezifischen Datensatz 307 enthalten
sind.
[0063] Die elektronische Einrichtung 305 umfasst ebenfalls gespeicherte Daten 313, die auf
einem nicht dargestellten Speichermedium abgelegt sind. Die gespeicherten Daten 313
umfassen einerseits eine Firmware 315, die zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente
301 ausgeführt wird. Darüber hinaus umfassen die gespeicherten Daten 313 Kennlinien
317, die für die Gerätekomponente 301 vorgesehen sind.
[0064] Der komponentenspezifische Datensatz 307 ist nicht in einem allgemein lesbaren Format
auf dem Pumpenchip 303 abgelegt, sondern in einer verschlüsselten Form. Während der
Herstellungsphase der Turbomolekularpumpe 111 wird der komponentenspezifische Datensatz
307 durch Anwendung eines privaten Schlüssels 321 verschlüsselt, der durch eine Erzeugungseinrichtung
323 generiert wird. Die Erzeugungseinrichtung 323 generiert ebenso einen öffentlichen
Schlüssel 325, der dem privaten Schlüssel 321 zugeordnet ist. Daten, die mittels des
privaten Schlüssels 321 verschlüsselt werden, können unter Verwendung des öffentlichen
Schlüssels 325 entschlüsselt und somit ausgelesen, aber nicht auf dem Speichermedium
modifiziert werden, auf dem die verschlüsselten Daten abgelegt sind. Der auf dem Pumpenchip
303 abgelegte komponentenspezifische Datensatz 307 kann somit ohne Kenntnis des privaten
Schlüssels 321 nicht modifiziert werden. Während der Herstellungsphase der Turbomolekularpumpe
111 wird der von der Erzeugungseinrichtung 123 generierte öffentliche Schlüssel 325
an die elektronische Einrichtung 305 übertragen und ist anschließend ein Teil der
gespeicherten Daten 313.
[0065] Fig. 7 zeigt eine weitere Turbomolekularpumpe 111 als zweite Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Vakuumgeräts. Die Turbomolekularpumpe 111 von Fig. 7 unterscheidet
sich von derjenigen, die in Fig. 6 dargestellt ist, lediglich dadurch, dass anstelle
des Pumpenchips 303 eine Platine 333 als Vakuumdurchführung vorgesehen ist, auf welcher
der digitale komponentenspezifische Datensatz 307 gespeichert ist. Der Pumpenchip
303 von Fig. 6 kann als internes Speichermedium der Gerätekomponente 301 bezeichnet
werden, während die Platine 333 von Fig. 7 als externes Speichermedium der Gerätekomponente
301 angesehen werden kann. Die vorstehende Beschreibung der weiteren Komponenten der
Turbomolekularpumpe 111 sowie die nachstehende Beschreibung der Funktionsweise des
erfindungsgemäßen Vakuumgeräts gelten somit nicht nur für die in Fig. 6 dargestellte
erste Ausführungsform, sondern auch für die zweite Ausführungsform von Fig. 7.
[0066] Die Turbomolekularpumpe 111 ist zwar in Fig. 1 derart dargestellt, dass das Gehäuse
119, das Unterteil 121 und das Elektronikgehäuse 123 als eine Einheit miteinander
verbunden sind. Dennoch sind die Gerätekomponente 301 und die elektronische Einrichtung
305 separate Einheiten, die in dem jeweiligen Gehäuse 119 und Unterteil 121 oder in
dem Elektronikgehäuse 123 unabhängig voneinander ausgeliefert werden können. Beispielsweise
kann eine elektronische Einrichtung 305 als Ersatzteil einer bestehenden elektronischen
Einrichtung verwendet werden, während die entsprechende Gerätekomponente 301, die
in dem Gehäuse 119 und in dem Unterteil 121 untergebracht ist, weiterhin an dem Einlassflansch
113 mit einem Rezipienten einer Vakuumanlage verbunden ist und nicht ausgetauscht
wird.
[0067] Sowohl bei einer ersten Inbetriebnahme der Turbomolekularpumpe 111 als auch bei einem
Austausch der Gerätekomponente 301 oder der elektronischen Einrichtung 305 ist es
notwendig, dass die spezifische Gerätekomponente 301 bei einer Aktivierung der elektronischen
Einrichtung 305 durch diese korrekt erkannt bzw. eindeutig identifiziert wird. Nur
dann kann ein korrekter Betrieb der Turbomolekularpumpe 111 sichergestellt werden,
bei dem unter anderem für die Gerätekomponente 301 spezifische Kennlinien 317 ausgewählt
und verwendet werden müssen.
[0068] Bei der Aktivierung der elektronischen Einrichtung 305 wird daher der komponentenspezifische
Datensatz 307 durch die elektronische Einrichtung 305 ausgelesen. Da der komponentenspezifische
Datensatz 307 jedoch mittels des privaten Schüssels 321 verschlüsselt ist, verwendet
die elektronische Einrichtung 305 zu diesem Zweck den öffentlichen Schlüssel 325,
der dem privaten Schlüssel 321 zugeordnet ist. Die elektronische Einrichtung 305 liest
dabei unter Verwendung des öffentlichen Schlüssels 325 die komponentenspezifische
Kennung 309 aus, die mit dem privaten Schlüssel 321 signiert ist. Die komponentenspezifische
Kennung 309 umfasst üblicherweise eine Artikelnummer der Gerätekomponente 301, so
dass die elektronische Einrichtung 305 die spezifische Gerätekomponente 301 durch
Auslesen der komponentenspezifischen Kennung 309 eindeutig identifiziert.
[0069] Zusätzlich liest die elektronische Einrichtung 305 einen oder mehrere interne Parameter
der Gerätekomponente 301 aus, die ebenfalls in dem komponentenspezifischen Datensatz
307 enthalten sind. Die internen Parameter legen einerseits fest, welche von mehreren
Kennlinien 317 für den Betrieb der spezifischen Gerätekomponente 301 zu verwenden
ist bzw. sind. Darüber hinaus legen die internen Parameter spezifische Grenzwerte
für die Gerätekomponente 301 fest, beispielsweise eine Maximaldrehzahl des Rotors
149 oder eine maximale Betriebstemperatur der Gerätekomponente 301.
[0070] Durch die Verwendung des privaten Schlüssels 321 und des öffentlichen Schlüssels
325, die einander zugeordnet sind, wird sichergestellt, dass eine korrekte und sichere
Zuordnung der spezifischen Gerätekomponente 301 zu der für diese vorgesehenen elektronischen
Einrichtung 305 erfolgt. Umgekehrt ist durch die Verwendung des privaten und des öffentlichen
Schlüssels 321, 325 ausgeschlossen, dass die Gerätekomponente 301 mit einer solchen
elektronischen Einrichtung 305 betrieben wird, die sich zwar an die Gerätekomponente
301 anschließen lässt, aber nicht zu dieser passt. Nur mit dem korrekten öffentlichen
Schlüssel 325 kann die elektronische Einrichtung 305 den komponentenspezifischen Datensatz
307 auslesen und die Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente 301 ausführen.
Darüber hinaus ist eine Manipulation des komponentenspezifischen Datensatzes 307 durch
die elektronische Einrichtung 305 oder eine ähnliche Einrichtung ausgeschlossen, die
sich mit der Gerätekomponente 301 verbinden lässt, solange diesen Einrichtungen nur
der öffentliche Schlüssel 325 bekannt ist. Dadurch ist beispielsweise eine unbeabsichtigte
Veränderung der komponentenspezifischen Kennung 309 ausgeschlossen, die zu einer fehlerhaften
Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente 301 führen würde.
[0071] Es ist jedoch möglich, dass die elektronische Einrichtung 305 Daten an die Gerätekomponente
301 überträgt, die mittels des öffentlichen Schlüssels 325 verschlüsselt sind und
beispielsweise einen Teil der Betriebsdaten 311 darstellen. Zum Auslesen und Verwenden
dieser Daten in der Gerätekomponente 301 ist jedoch die Kenntnis des privaten Schlüssels
321 erforderlich. Beispielsweise kann die Ausführung der Firmware 315 eine Aufforderung
umfassen, zum Speichern und Verwenden von Daten, welche die elektronische Einrichtung
305 mit dem öffentlichen Schüssel 325 verschlüsselt und an die Gerätekomponente 301
übertragen hat, den privaten Schlüssel 321 einzugeben. Dadurch ist auch in diesem
Fall eine korrekte Zuordnung der mit dem öffentlichen Schlüssel 325 verschlüsselten
Daten zur korrekten Gerätekomponente 301 sichergestellt, welcher der private Schlüssel
321 zugeordnet ist.
[0072] Da nur die Gerätekomponente 301 mit einem privaten Schlüssel 321 versehen wird, wird
die vorliegende Verschlüsselung als asymmetrisch bezeichnet. Die Erzeugungseinrichtung
323, mit welcher der private Schlüssel 321 und der zugeordnete öffentliche Schlüssel
325 generiert werden, ist beispielsweise ein Modul eines Endprüfsystems für die Turbomolekularpumpe
111, mit welchem die Turbomolekularpumpe 111 vor ihrer Auslieferung überprüft wird.
Alternativ kann die Erzeugungseinrichtung 323 auch ein Hardwaremodul sein, das ausschließlich
zur Verschlüsselung für die Gerätekomponente 301 und die elektronische Einrichtung
305 vorgesehen ist.
[0073] Die Verschlüsselung des komponentenspezifischen Datensatzes 307 mit dem privaten
Schlüssel 321 kann dann, wenn eine Platine 333 als Vakuumdurchführung verwendet wird,
bereits bei der Herstellung der Platine 333 erfolgen. Alternativ kann die Gerätekomponente
301 erst bei einer ersten Inbetriebnahme der Gerätekomponente 301 mittels der Verschlüsselung
individualisiert werden, indem der vorhandene komponentenspezifische Datensatz 307
mit dem privaten Schlüssel 321 versehen und sozusagen "angereichert" wird. Informationen
bezüglich des privaten Schlüssels 321, die zur Anreicherung des Schlüssels und somit
zum Individualisieren der Gerätekomponente 301 erforderlich sind, müssen jedoch auf
dem Pumpenchip 303 oder auf der Platine 333 an geeigneter Stelle vorhanden sein. Im
Falle des Pumpenchips 303 kann beispielsweise eine Chip-Seriennummer als Schlüsselanreicherung,
d.h. als privater Schlüssel 321, verwendet werden.
Bezugszeichenliste
[0074]
- 111
- Turbomolekularpumpe
- 113
- Einlassflansch
- 115
- Pumpeneinlass
- 117
- Pumpenauslass
- 119
- Gehäuse
- 121
- Unterteil
- 123
- Elektronikgehäuse
- 125
- Elektromotor
- 127
- Zubehöranschluss
- 129
- Datenschnittstelle
- 131
- Stromversorgungsanschluss
- 133
- Fluteinlass
- 135
- Sperrgasanschluss
- 137
- Motorraum
- 139
- Kühlmittelanschluss
- 141
- Unterseite
- 143
- Schraube
- 145
- Lagerdeckel
- 147
- Befestigungsbohrung
- 148
- Kühlmittelleitung
- 149
- Rotor
- 151
- Rotationsachse
- 153
- Rotorwelle
- 155
- Rotorscheibe
- 157
- Statorscheibe
- 159
- Abstandsring
- 161
- Rotornabe
- 163
- Holweck-Rotorhülse
- 165
- Holweck-Rotorhülse
- 167
- Holweck-Statorhülse
- 169
- Holweck-Statorhülse
- 171
- Holweck-Spalt
- 173
- Holweck-Spalt
- 175
- Holweck-Spalt
- 179
- Verbindungskanal
- 181
- Wälzlager
- 183
- Permanentmagnetlager
- 185
- Spritzmutter
- 187
- Scheibe
- 189
- Einsatz
- 191
- rotorseitige Lagerhälfte
- 193
- statorseitige Lagerhälfte
- 195
- Ringmagnet
- 197
- Ringmagnet
- 199
- Lagerspalt
- 201
- Trägerabschnitt
- 203
- Trägerabschnitt
- 205
- radiale Strebe
- 207
- Deckelelement
- 209
- Stützring
- 211
- Befestigungsring
- 213
- Tellerfeder
- 215
- Not- bzw. Fanglager
- 217
- Motorstator
- 219
- Zwischenraum
- 221
- Wandung
- 223
- Labyrinthdichtung
- 301
- Gerätekomponente
- 303
- Pumpenchip
- 305
- elektronische Einrichtung
- 307
- digitaler komponentenspezifischer Datensatz
- 309
- komponentenspezifische Kennung
- 311
- Betriebsdaten
- 313
- gespeicherte Daten
- 315
- Firmware
- 317
- Kennlinien
- 321
- privater Schlüssel
- 323
- Erzeugungseinrichtung
- 325
- öffentlicher Schlüssel
- 333
- Platine als Vakuumdurchführung
1. Vakuumgerät (111), insbesondere Vakuumpumpe, mit
einer Gerätekomponente (301) und
einer elektronischen Einrichtung (305) zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente
(301),
wobei die Gerätekomponente (301) einen digitalen komponentenspezifischen Datensatz
(307) aufweist und
wobei die elektronische Einrichtung (305) mit der Gerätekomponente (301) verbunden
und eingerichtet ist, den komponentenspezifischen Datensatz (307) der Gerätekomponente
(301) auszulesen,
dadurch gekennzeichnet, dass
der komponentenspezifische Datensatz (307) mittels eines privaten Schlüssels (321)
verschlüsselt ist und
die elektronische Einrichtung (305) einen öffentlichen Schlüssel (325) aufweist, der
dem privaten Schlüssel (321) zugeordnet ist, um den verschlüsselten komponentenspezifischen
Datensatz (307) vor dem Auslesen zu entschlüsseln.
2. Vakuumgerät (111) nach Anspruch 1,
wobei der komponentenspezifische Datensatz (307) eine komponentenspezifische Kennung
(309) umfasst, die mittels des privaten Schlüssels (321) signiert ist, wobei insbesondere
die komponentenspezifische Kennung (309) einer Artikelnummer, einer Versionsnummer
oder einer Seriennummer zugeordnet ist.
3. Vakuumgerät (111) nach Anspruch 1 oder 2,
wobei der komponentenspezifische Datensatz (307) Betriebsparameter und/oder Betriebsvorgaben
der Gerätekomponente (301) umfasst.
4. Vakuumgerät (111) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die elektronische Einrichtung (305) ferner eingerichtet ist, Betriebsdaten (311)
für die Gerätekomponente (301) mittels des öffentlichen Schlüssels (325) zu verschlüsseln
und an die Gerätekomponente (301) zu übertragen, und
wobei die verschlüsselten Betriebsdaten (311) für die Gerätekomponente (301) nur mittels
des privaten Schlüssels (321) entschlüsselbar sind.
5. Vakuumgerät (111) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der komponentenspezifische Datensatz (307) auf einem Chip (303) der Gerätekomponente
(301) gespeichert ist.
6. Vakuumgerät (111) nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
wobei der komponentenspezifische Datensatz (307) auf einem externen Speicherelement
(333) der Gerätekomponente (301) gespeichert ist.
7. Verfahren zum Identifizieren einer Gerätekomponente (301) eines Vakuumgeräts (111)
mittels einer elektronischen Einrichtung (305) zur Steuerung und/oder Regelung der
Gerätekomponente (301),
wobei die Gerätekomponente (301) einen digitalen komponentenspezifischen Datensatz
(307) aufweist,
wobei das Verfahren umfasst, dass
bei Aktivierung der elektronischen Einrichtung (305) der komponentenspezifische Datensatz
(307) der Gerätekomponente (301) von der elektronischen Einrichtung (305) ausgelesen
wird, und
die Gerätekomponente (301) anhand des komponentenspezifischen Datensatzes (307) eindeutig
identifiziert wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
der komponentenspezifische Datensatz (307) mittels eines privaten Schlüssels (321)
verschlüsselt ist und
das Verfahren ferner umfasst, dass der verschlüsselte komponentenspezifische Datensatz
(307) vor dem Auslesen durch die elektronische Einrichtung (305) mit einem öffentlichen
Schlüssel (325) entschlüsselt wird, der dem privaten Schlüssel (321) zugeordnet ist.
8. Verfahren nach Anspruch 7,
wobei der komponentenspezifische Datensatz (307) eine komponentenspezifische Kennung
(309) umfasst, die mittels des privaten Schlüssels (321) signiert ist, wobei insbesondere
die komponentenspezifische Kennung (309) einer Artikelnummer, einer Versionsnummer
oder einer Seriennummer zugeordnet ist, und
wobei das Verfahren ferner umfasst, dass die Gerätekomponente (301) durch Auslesen
der komponentenspezifischen Kennung (309) eindeutig identifiziert wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, ferner umfassend, dass
Betriebsdaten (311) für die Gerätekomponente (301) durch die elektronische Einrichtung
(305) mittels des öffentlichen Schlüssels (325) verschlüsselt und an die Gerätekomponente
(301) übertragen werden,
wobei die verschlüsselten Betriebsdaten (311) für die Gerätekomponente (301) nur mittels
des privaten Schlüssels (321) entschlüsselbar sind.
10. Verfahren zum Individualisieren einer Gerätekomponente (301) eines Vakuumgeräts (111),
insbesondere einer Vakuumpumpe, umfassend, dass:
ein privater Schlüssel (321) und ein öffentlicher Schlüssel (325), der dem privaten
Schlüssel (321) zugeordnet ist, generiert werden,
ein digitaler Datensatz (307), der für die Gerätekomponente (301) spezifisch ist,
generiert und mittels des privaten Schlüssels (321) verschlüsselt wird,
der verschlüsselte digitale Datensatz (307) derart an die Gerätekomponente (301) übertragen
wird, dass der verschlüsselte digitale Datensatz (307) für eine elektronische Einrichtung
(305) zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente (301) zugreifbar ist, und
der öffentliche Schlüssel (325) an die elektronische Einrichtung (305) übertragen
wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, ferner umfassend, dass der digitale Datensatz (307) eine
für die Gerätekomponente (301) spezifische Kennung (309) umfasst, die mittels des
privaten Schlüssels (321) signiert wird, um die Gerätekomponente (301) zu individualisieren,
wobei insbesondere die komponentenspezifische Kennung (309) einer Artikelnummer, einer
Versionsnummer oder einer Seriennummer zugeordnet ist.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, ferner umfassend, dass der digitale Datensatz
(307) während einer Inbetriebnahme des Vakuumgeräts (111) mittels des privaten Schlüssels
(321) verschlüsselt wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, ferner umfassend, dass verschlüsselte
Betriebsdaten (311) für die Gerätekomponente (301), die durch die elektronische Einrichtung
(305) mittels des öffentlichen Schlüssels (325) verschlüsselt und an die Gerätekomponente
(301) übertragen werden, mittels des privaten Schlüssels (321) entschlüsselt werden.
1. A vacuum device, in particular a vacuum pump, comprising
a device component (301); and
an electronic device (305) for controlling and/or regulating the device component
(301),
wherein the device component (301) has a digital component-specific data set (307),
and
wherein the electronic device (305) is connected to the device component (301) and
is configured to read the component-specific data set (307) of the device component
(301),
characterized in that
the component-specific data set (307) is encrypted by means of a private key (321);
and
the electronic device (305) has a public key (325), which is associated with the private
key (321), to decrypt the encrypted component-specific data set (307) prior to the
reading.
2. A vacuum device (111) in accordance with claim 1,
wherein the component-specific data set (307) comprises a component-specific identifier
(309) which is signed by means of the private key (321), wherein in particular the
component-specific identifier (309) is associated with an article number, a version
number or a serial number.
3. A vacuum device (111) in accordance with claim 1 or claim 2,
wherein the component-specific data set (307) comprises operating parameters and/or
operating specifications of the device component (301).
4. A vacuum device (111) in accordance with any one of the preceding claims,
wherein the electronic device (305) is further configured to encrypt operating data
(311) for the device component (301) by means of the public key (325) and to transmit
them to the device component (301), and
wherein the encrypted operating data (311) for the device component (301) can only
be decrypted by means of the private key (321).
5. A vacuum device (111) in accordance any one of the preceding claims,
wherein the component-specific data set (307) is stored on a chip (303) of the device
component (301).
6. A vacuum device (111) in accordance with any one of the claims 1 to 4,
wherein the component-specific data set (307) is stored on an external storage element
(333) of the device component (301).
7. A method of identifying a device component (301) of a vacuum device (111) by means
of an electronic device (305) for controlling and/or regulating the device component
(301),
wherein the device component (301) has a digital component-specific data set (307),
wherein the method comprises
the component-specific data set (307) of the device component (301) being read by
the electronic device (305) on an activation of the electronic device (305); and
the device component (301) being uniquely identified by means of the component-specific
data set (307),
characterized in that
the component-specific data set (307) is encrypted by means of a private key (321);
and
the method further comprises decrypting the encrypted component-specific data set
(307) using a public key (325), which is associated with the private key (321), prior
to the reading by the electronic device (305).
8. A method in accordance with claim 7,
wherein the component-specific data set (307) comprises a component-specific identifier
(309) which is signed by means of the private key (321), wherein in particular the
component-specific identifier (309) is associated with an article number, a version
number or a serial number, and
wherein the method further comprises uniquely identifying the device component (301)
by reading the component-specific identifier (309).
9. A method in accordance with claim 7 or claim 8, further comprising,
operating data (311) for the device component (301) being encrypted by the electronic
device (305) by means of the public key (325) and being transmitted to the device
component (301) by the electronic device (305),
wherein the encrypted operating data (311) for the device component (301) are only
decrypted by means of the private key (321).
10. A method of individualizing a device component (301) of a vacuum device (111), in
particular of a vacuum pump, comprising:
a private key (321) and a public key (325), which is associated with the private key
(321), being generated;
a digital data set (307), which is specific to the device component (301), being generated
and encrypted by means of the private key (321);
the encrypted digital data set (307) being transmitted to the device component (301)
such that the encrypted digital data set (307) is accessible for an electronic device
(305) for controlling and/or regulating the device component (301); and
the public key (325) being transmitted to the electronic device (305).
11. A method in accordance with claim 10, further comprising the digital data set (307)
comprising an identifier (309), which is specific to the device component (301) and
which is signed by means of the private key (321), in order to individualize the device
component (301), wherein in particular the component-specific identifier (309) is
associated with an article number, a version number or a serial number.
12. A method in accordance with claim 10 or claim 11, further comprising the digital data
set (307) being encrypted by means of the private key (321) during a putting into
operation of the vacuum device (111).
13. A method in accordance with any one of the claims 10 to 12, further comprising encrypted
operating data (311) for the device component (301), which are encrypted by the electronic
device (305) by means of the public key (325) and transmitted to the device component
(301) by the electronic device (305), being decrypted by means the private key (321).
1. Appareil à vide (111), en particulier pompe à vide, comportant
un composant d'appareil (301) et
un dispositif électronique (305) destiné à commander et/ou réguler le composant d'appareil
(301),
le composant d'appareil (301) comprenant un ensemble de données numérique (307) spécifique
au composant, et
le dispositif électronique (305) étant connecté au composant d'appareil (301) et étant
conçu pour lire l'ensemble de données (307), spécifique au composant, du composant
d'appareil (301),
caractérisé en ce que
l'ensemble de données (307) spécifique au composant est crypté à l'aide d'une clé
privée (321), et
le dispositif électronique (305) comprend une clé publique (325) associée à la clé
privée (321), pour décrypter l'ensemble de données crypté (308), spécifique au composant,
avant la lecture.
2. Appareil à vide (111) selon la revendication 1,
dans lequel l'ensemble de données (307) spécifique au composant comprend un identifiant
(309) spécifique au composant, qui est signé à l'aide de la clé privée (321), en particulier
l'identifiant (309) spécifique au composant étant associé à un numéro d'article, à
un numéro de version ou à un numéro de série.
3. Appareil à vide (111) selon la revendication 1 ou 2,
dans lequel l'ensemble de données (307) spécifique au composant comprend des paramètres
de fonctionnement et/ou des spécifications de fonctionnement du composant d'appareil
(301).
4. Appareil à vide (111) selon l'une des revendications précédentes,
dans lequel le dispositif électronique (305) est en outre conçu pour crypter des données
de fonctionnement (311) pour le composant d'appareil (301) à l'aide de la clé publique
(325) et pour les transmettre au composant d'appareil (301), et
les données de fonctionnement cryptées (311) pour le composant d'appareil (301) ne
peuvent être décryptées qu'à l'aide de la clé privée (321).
5. Appareil à vide (111) selon l'une des revendications précédentes,
dans lequel l'ensemble de données (307) spécifique au composant est stocké sur une
puce (303) du composant d'appareil (301).
6. Appareil à vide (111) selon l'une des revendications 1 à 4,
dans lequel l'ensemble de données (307) spécifique au composant est stocké sur un
élément de stockage externe (333) du composant d'appareil (301).
7. Procédé pour identifier un composant d'appareil (301) d'un appareil à vide (111) à
l'aide d'un dispositif électronique (305) destiné à commander et/ou réguler le composant
d'appareil (301),
dans lequel le composant d'appareil (301) comprend un ensemble de données (307) numérique
spécifique au composant,
le procédé consistant à
lire l'ensemble de données (307), spécifique au composant, du composant d'appareil
(301) par le dispositif électronique (305), lors de l'activation du dispositif électronique
(305), et
identifier de manière univoque le composant d'appareil (301) sur la base de l'ensemble
de données (307) spécifique au composant,
caractérisé en ce que
l'ensemble de données (307) spécifique au composant est crypté à l'aide d'une clé
privée (321), et
le procédé consiste en outre à décrypter, avant la lecture par le dispositif électronique
(305), l'ensemble de données crypté (307), spécifique au composant, à l'aide d'une
clé publique (325) associée à la clé privée (321).
8. Procédé selon la revendication 7,
dans lequel l'ensemble de données (307) spécifique aux composant comprend un identifiant
(309) spécifique au composant, qui est signé à l'aide de la clé privée (321), en particulier
l'identifiant (309) spécifique aux composant étant associé à un numéro d'article,
à un numéro de version ou à un numéro de série, et
le procédé consiste en outre à identifier de façon univoque le composant d'appareil
(301) en lisant l'identifiant (309) spécifique au composant.
9. Procédé selon la revendication 7 ou 8, consistant en outre à
crypter des données de fonctionnement (311) pour le composant d'appareil (301) par
le dispositif électronique (305) à l'aide de la clé publique (325) et à les transmettre
au composant d'appareil (301),
les données de fonctionnement cryptées (311) pour le composant d'appareil (301) ne
pouvant être décryptées qu'à l'aide de la clé privée (321).
10. Procédé d'individualisation d'un composant d'appareil (301) d'un appareil à vide (111),
en particulier d'une pompe à vide, consistant à :
générer une clé privée (321) et une clé publique (325) associée à la clé privée (321),
générer un ensemble de données numérique (307) spécifique au composant d'appareil
(301) et le crypter à l'aide de la clé privée (321),
transmettre l'ensemble de données numérique crypté (307) au composant d'appareil (301)
de telle sorte que l'ensemble de données numérique crypté (307) est accessible à un
dispositif électronique (305) destiné à commander et/ou réguler le composant d'appareil
(301), et
transmettre la clé publique (325) au dispositif électronique (305).
11. Procédé selon la revendication 10, comprenant en outre que l'ensemble de données numérique
(307) comprend un identifiant (309) spécifique au composant d'appareil (301), qui
est signé à l'aide de la clé privée (321) afin d'individualiser le composant d'appareil
(301), en particulier l'identifiant (309) spécifique au composant étant associé à
un numéro d'article, à un numéro de version ou à un numéro de série.
12. Procédé selon la revendication 10 ou 11, consistant en outre à crypter l'ensemble
de données numérique (307) à l'aide de la clé privée (321) pendant une mise en service
de l'appareil à vide (111).
13. Procédé selon l'une des revendications 10 à 12, consistant en outre à décrypter, à
l'aide de la clé privée (321), des données de fonctionnement cryptées (311) pour le
composant d'appareil (301), qui sont cryptées par le dispositif électronique (305)
à l'aide de la clé publique (325) et qui sont transmises au composant d'appareil (301).